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1. 发明专利

TW201728892A 用於區域可調適之缺陷偵測的系統及方法审中-公开
简体标题：用于区域可调适之缺陷侦测的系统及方法
公开(公告)号：TW201728892A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105137757
申请日：2016-11-18
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：馬希爾克里斯多夫 , MAHER, CHRISTOPHER , 布拉爾伯裘恩 , BRAUER, BJORN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 羅森高斯伊利薩 , ROSENGAUS, ELIEZER , 喬丹約翰R 三世 , JORDAN, JOHN R. III , 米勒洛尼 , MILLER, RONI
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/88 , G06T7/00
CPC分类号： G06T7/001 , G06K9/6202 , G06K9/6212 , G06K9/74 , G06T7/11 , G06T2207/20182 , G06T2207/30148
摘要：本發明揭示一種缺陷偵測方法，其包含獲取一參考影像；選擇該參考影像之一目標區域；基於一匹配度量識別對應於該目標區域之該參考影像之一或多個比較區域；獲取一測試影像；使用該參考影像之該目標區域及該參考影像之該一或多個比較區域遮蔽該測試影像；基於該測試影像中之該一或多個比較區域定義該測試影像中之該目標區域之一缺陷臨限值；及基於該缺陷臨限值判定該測試影像之該目標區域是否含有一缺陷。
简体摘要：本发明揭示一种缺陷侦测方法，其包含获取一参考影像；选择该参考影像之一目标区域；基于一匹配度量识别对应于该目标区域之该参考影像之一或多个比较区域；获取一测试影像；使用该参考影像之该目标区域及该参考影像之该一或多个比较区域屏蔽该测试影像；基于该测试影像中之该一或多个比较区域定义该测试影像中之该目标区域之一缺陷临限值；及基于该缺陷临限值判定该测试影像之该目标区域是否含有一缺陷。

2. 发明专利

TWI581118B 在設計資料空間中判定檢測系統輸出之一位置有权
简体标题：在设计数据空间中判定检测系统输出之一位置
公开(公告)号：TWI581118B
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW103100513
申请日：2014-01-07
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G06F17/50
CPC分类号： G01N21/9501

3. 发明专利

TW201625915A 用於程序窗特徵化之虛擬檢測系統审中-公开
简体标题：用于进程窗特征化之虚拟检测系统
公开(公告)号：TW201625915A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104138824
申请日：2015-11-23
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 瓦格納馬克 , WAGNER, MARK , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G01M11/02 , G01N21/88
CPC分类号： H04L65/403 , G06F17/30867 , G06T1/0007 , G06T7/0006 , G06T2207/10144 , G06T2207/30148 , H04L67/306 , H04N7/181
摘要：本發明提供用於偵測一樣品上之缺陷之方法及系統。一系統包含經組態以儲存藉由一檢測系統產生之一樣品之一實體版本之影像之一儲存媒體。使用對該樣品執行之一製造程序之一或多個參數之不同值在該樣品上形成至少兩個晶粒。該系統亦包含(若干)電腦子系統，其(等)經組態以比較在該樣品上使用該等不同值之至少兩者形成具有相同如所設計之特性之圖案之位置處產生之經儲存影像之部分。經比較之該等經儲存影像之該等部分未受該等晶粒在該樣品上之位置、該等圖案在該等晶粒內之位置或該等圖案在該樣品上之位置約束。該(等)電腦子系統亦經組態以基於該比較之結果偵測該等位置處之缺陷。
简体摘要：本发明提供用于侦测一样品上之缺陷之方法及系统。一系统包含经组态以存储借由一检测系统产生之一样品之一实体版本之影像之一存储媒体。使用对该样品运行之一制造进程之一或多个参数之不同值在该样品上形成至少两个晶粒。该系统亦包含(若干)电脑子系统，其(等)经组态以比较在该样品上使用该等不同值之至少两者形成具有相同如所设计之特性之图案之位置处产生之经存储影像之部分。经比较之该等经存储影像之该等部分未受该等晶粒在该样品上之位置、该等图案在该等晶粒内之位置或该等图案在该样品上之位置约束。该(等)电脑子系统亦经组态以基于该比较之结果侦测该等位置处之缺陷。

4. 发明专利

TWI683997B 用於在檢測工具上之動態看護區域產生的系統及方法有权
简体标题：用于在检测工具上之动态看护区域产生的系统及方法
公开(公告)号：TWI683997B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW105116916
申请日：2016-05-30
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 珊娜帕拉拉維庫瑪 , SANAPALA, RAVIKUMAR , 亞納桑維狄亞薩吉爾 , ANANTHA, VIDYASAGAR , 米梭爾菲利普 , MEASOR, PHILIP , 馬尼帕里拉傑希 , MANEPALLI, RAJESH , 方晶 , FANG, JUNG
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/956 , G01M11/02

5. 发明专利

TW201533442A 高準確性基於設計之分類审中-公开
简体标题：高准确性基于设计之分类
公开(公告)号：TW201533442A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103113261
申请日：2014-04-10
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88 , H01L21/66
CPC分类号： G06T7/0004 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
摘要：本發明提供用於分類一晶圓上之缺陷之系統及方法。一種方法包含與最接近於一晶圓上之一缺陷位置之一熱點之一所關注圖案(POI)之一寬度及高度成比例地在兩個維度上擴展環繞該缺陷位置之一延伸定界框(EBB)。該方法亦包含判定該POI中之多邊形是否匹配該經擴展定界框中之多邊形。若該POI中之該等多邊形不匹配該經擴展定界框中之該等多邊形，則將該缺陷分類為一非熱點缺陷。若該POI中之該等多邊形匹配該經擴展定界框中之該等多邊形，則若該EBB之區域相交於與該熱點相關聯之所關注區域則將該缺陷分類為一熱點缺陷，且若該EBB區域不相交於該所關注區域則將該缺陷分類為一非熱點缺陷。
简体摘要：本发明提供用于分类一晶圆上之缺陷之系统及方法。一种方法包含与最接近于一晶圆上之一缺陷位置之一热点之一所关注图案(POI)之一宽度及高度成比例地在两个维度上扩展环绕该缺陷位置之一延伸定界框(EBB)。该方法亦包含判定该POI中之多边形是否匹配该经扩展定界框中之多边形。若该POI中之该等多边形不匹配该经扩展定界框中之该等多边形，则将该缺陷分类为一非热点缺陷。若该POI中之该等多边形匹配该经扩展定界框中之该等多边形，则若该EBB之区域相交于与该热点相关联之所关注区域则将该缺陷分类为一热点缺陷，且若该EBB区域不相交于该所关注区域则将该缺陷分类为一非热点缺陷。

6. 发明专利

TWI701427B 經組態以偵測一樣品上之缺陷之系統、用於偵測一樣品上之缺陷之方法及其非暫時性電腦可讀媒體有权
简体标题：经组态以侦测一样品上之缺陷之系统、用于侦测一样品上之缺陷之方法及其非暂时性电脑可读媒体
公开(公告)号：TWI701427B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW104138824
申请日：2015-11-23
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 瓦格納馬克 , WAGNER, MARK , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G01M11/02 , G01N21/88

7. 发明专利

TWI699521B 用於區域可調適之缺陷偵測的系統及方法有权
简体标题：用于区域可调适之缺陷侦测的系统及方法
公开(公告)号：TWI699521B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW105137757
申请日：2016-11-18
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：馬希爾克里斯多夫 , MAHER, CHRISTOPHER , 布拉爾伯裘恩 , BRAUER, BJORN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 羅森高斯伊利薩 , ROSENGAUS, ELIEZER , 喬丹約翰R 三世 , JORDAN, JOHN R. III , 米勒洛尼 , MILLER, RONI
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/88 , G06T7/00

8. 发明专利

TWI603078B 高準確性基於設計之分類有权
简体标题：高准确性基于设计之分类
公开(公告)号：TWI603078B
公开(公告)日：2017-10-21
申请号：TW103113261
申请日：2014-04-10
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88 , H01L21/66
CPC分类号： G06T7/0004 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148

9. 发明专利

TW201706590A 用於在檢測工具上之動態看護區域產生的系統及方法审中-公开
简体标题：用于在检测工具上之动态看护区域产生的系统及方法
公开(公告)号：TW201706590A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105116916
申请日：2016-05-30
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 珊娜帕拉拉維庫瑪 , SANAPALA, RAVIKUMAR , 亞納桑維狄亞薩吉爾 , ANANTHA, VIDYASAGAR , 米梭爾菲利普 , MEASOR, PHILIP , 馬尼帕里拉傑希 , MANEPALLI, RAJESH , 方晶 , FANG, JUNG
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/956 , G01M11/02
摘要：本發明揭示一種缺陷檢測系統，其包含一檢測子系統及通信耦合至偵測器之一控制器。該檢測子系統包含：一照明源，其經組態以產生一照明束；一組照明光學器件，其用以將該照明束引導至一樣本；及一偵測器，其經組態以收集從該樣本發出之照明。該控制器包含一記憶體裝置及經組態以執行程式指令之一或多個處理器。該控制器經組態以：判定對應於該樣本上之一或多個特徵之一或多個目標圖案；基於該一或多個目標圖案及儲存在該控制器之該記憶體裝置內之該樣本之設計資料而界定該樣本上之一或多個看護區域；及基於藉由該偵測器收集之該照明而識別該樣本之該一或多個看護區域內之一或多個缺陷。
简体摘要：本发明揭示一种缺陷检测系统，其包含一检测子系统及通信耦合至侦测器之一控制器。该检测子系统包含：一照明源，其经组态以产生一照明束；一组照明光学器件，其用以将该照明束引导至一样本；及一侦测器，其经组态以收集从该样本发出之照明。该控制器包含一内存设备及经组态以运行进程指令之一或多个处理器。该控制器经组态以：判定对应于该样本上之一或多个特征之一或多个目标图案；基于该一或多个目标图案及存储在该控制器之该内存设备内之该样本之设计数据而界定该样本上之一或多个看护区域；及基于借由该侦测器收集之该照明而识别该样本之该一或多个看护区域内之一或多个缺陷。

10. 发明专利

TW201443678A 在設計資料空間中判定檢測系統輸出之一位置审中-公开
简体标题：在设计数据空间中判定检测系统输出之一位置
公开(公告)号：TW201443678A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW103100513
申请日：2014-01-07
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G06F17/50
CPC分类号： G01N21/9501
摘要：本發明提供用於在設計資料空間中判定一檢測系統之輸出之一位置之系統及方法。一種方法包含將一晶圓之設計資料中之一個以上特徵合併成具有囊括被合併之所有該等特徵之一周邊之一單個特徵。該方法亦包含儲存該單個特徵之資訊而不儲存被合併之該等特徵之該設計資料。該資訊包含在設計資料空間中該單個特徵之一位置。該方法進一步包含將一檢測系統針對該晶圓之輸出對準至該單個特徵之該資訊，以使得可基於該單個特徵之該設計資料空間位置而判定在該設計資料空間中該輸出之位置。
简体摘要：本发明提供用于在设计数据空间中判定一检测系统之输出之一位置之系统及方法。一种方法包含将一晶圆之设计数据中之一个以上特征合并成具有囊括被合并之所有该等特征之一周边之一单个特征。该方法亦包含存储该单个特征之信息而不存储被合并之该等特征之该设计数据。该信息包含在设计数据空间中该单个特征之一位置。该方法进一步包含将一检测系统针对该晶圆之输出对准至该单个特征之该信息，以使得可基于该单个特征之该设计数据空间位置而判定在该设计数据空间中该输出之位置。

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