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1. 发明专利

TWI701427B 經組態以偵測一樣品上之缺陷之系統、用於偵測一樣品上之缺陷之方法及其非暫時性電腦可讀媒體有权
简体标题：经组态以侦测一样品上之缺陷之系统、用于侦测一样品上之缺陷之方法及其非暂时性电脑可读媒体
公开(公告)号：TWI701427B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW104138824
申请日：2015-11-23
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 瓦格納馬克 , WAGNER, MARK , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G01M11/02 , G01N21/88

2. 发明专利

TWI699521B 用於區域可調適之缺陷偵測的系統及方法有权
简体标题：用于区域可调适之缺陷侦测的系统及方法
公开(公告)号：TWI699521B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW105137757
申请日：2016-11-18
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：馬希爾克里斯多夫 , MAHER, CHRISTOPHER , 布拉爾伯裘恩 , BRAUER, BJORN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 羅森高斯伊利薩 , ROSENGAUS, ELIEZER , 喬丹約翰R 三世 , JORDAN, JOHN R. III , 米勒洛尼 , MILLER, RONI
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/88 , G06T7/00

3. 发明专利

TW201734955A 為樣品產生模擬輸出审中-公开
简体标题：为样品产生仿真输出
公开(公告)号：TW201734955A
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW106100883
申请日：2017-01-11
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 張晶 , ZHANG, JING , 陳葛瑞斯淑玲 , CHEN, GRACE HSIU-LING , 庫爾卡尼艾斯霍克 , KULKARNI, ASHOK , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT
IPC分类号： G06T7/50
CPC分类号： G06T7/0006 , G03F1/84 , G03F1/86 , G03F7/7065 , G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/20081 , G06T2207/30148
摘要：本發明提供用於為一樣品產生模擬輸出之方法及系統。一種方法包含使用一或多個電腦系統獲取針對一樣品之資訊。該資訊包含該樣品之一實際光學影像、該樣品之一實際電子束影像及針對該樣品之設計資料之至少一者。該方法亦包含將針對該樣品之該資訊輸入至一基於學習之模型中。該基於學習之模型包含於由一或多個電腦系統實行之一或多個組件中。該基於學習之模型經組態以映射光學影像、電子束影像與設計資料之間之一三角關係，且該基於學習之模型將該三角關係應用至該輸入以藉此為該樣品產生模擬影像。
简体摘要：本发明提供用于为一样品产生仿真输出之方法及系统。一种方法包含使用一或多个电脑系统获取针对一样品之信息。该信息包含该样品之一实际光学影像、该样品之一实际电子束影像及针对该样品之设计数据之至少一者。该方法亦包含将针对该样品之该信息输入至一基于学习之模型中。该基于学习之模型包含于由一或多个电脑系统实行之一或多个组件中。该基于学习之模型经组态以映射光学影像、电子束影像与设计数据之间之一三角关系，且该基于学习之模型将该三角关系应用至该输入以借此为该样品产生仿真影像。

4. 发明专利

TW201511154A 以運行時設計資料之使用偵測晶圓上之缺陷审中-公开
简体标题：以运行时设计数据之使用侦测晶圆上之缺陷
公开(公告)号：TW201511154A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW103121274
申请日：2014-06-19
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/956 , G06F17/30
CPC分类号： G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
摘要：本發明提供用於偵測一晶圓上之缺陷之方法及系統。一種方法包含針對一晶圓之一設計建立一可搜尋資料庫，此包含基於該設計之不同部分中之圖案而將值指派至該設計之該等不同部分且將該等所指派值儲存於該可搜尋資料庫中。給該設計之實質上具有相同圖案之不同部分指派該可搜尋資料庫中之相同值。該可搜尋資料庫經組態以使得對該資料庫之搜尋可與由一晶圓檢驗系統之一或多個偵測器產生該晶圓之輸出同步。因此，在掃描該晶圓時，可與產生該輸出一樣快地判定該輸出之設計資訊，此達成多個期望之基於設計之檢驗能力。
简体摘要：本发明提供用于侦测一晶圆上之缺陷之方法及系统。一种方法包含针对一晶圆之一设计创建一可搜索数据库，此包含基于该设计之不同部分中之图案而将值指派至该设计之该等不同部分且将该等所指派值存储于该可搜索数据库中。给该设计之实质上具有相同图案之不同部分指派该可搜索数据库中之相同值。该可搜索数据库经组态以使得对该数据库之搜索可与由一晶圆检验系统之一或多个侦测器产生该晶圆之输出同步。因此，在扫描该晶圆时，可与产生该输出一样快地判定该输出之设计信息，此达成多个期望之基于设计之检验能力。

5. 发明专利

TW201734888A 使用基於學習之模型加速半導體相關計算审中-公开
简体标题：使用基于学习之模型加速半导体相关计算
公开(公告)号：TW201734888A
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW106100890
申请日：2017-01-11
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 楊史考特 , YOUNG, SCOTT , 勞羅馬克 , ROULO, MARK , 張晶 , ZHANG, JING , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 馬哈迪文摩漢 , MAHADEVAN, MOHAN , 布拉爾伯裘恩 , BRAUER, BJORN
IPC分类号： G06K9/62 , G06K9/66 , G06T7/00
CPC分类号： G06T7/001 , G06K9/6256 , G06K9/627 , G06K9/66 , G06T7/0004 , G06T2207/10004 , G06T2207/20081 , G06T2207/20084 , G06T2207/30148
摘要：本發明提供用於使用針對一樣本模擬之輸出執行針對該樣本之一或多個功能之方法及系統。一系統包含經組態以用於由包含於一工具中之一或多個偵測器獲取針對一樣本產生之輸出之一或多個電腦子系統，該工具經組態以在該樣本上執行一程序。該系統亦包含由該一或多個電腦子系統執行之一或多個組件。該一或多個組件包含一基於學習之模型，其經組態以用於使用所獲取之輸出作為輸入執行一或多個第一功能以藉此產生針對該樣本之模擬輸出。該一或多個電腦子系統亦經組態以用於使用該模擬輸出針對該樣本執行一或多個第二功能。
简体摘要：本发明提供用于使用针对一样本仿真之输出运行针对该样本之一或多个功能之方法及系统。一系统包含经组态以用于由包含于一工具中之一或多个侦测器获取针对一样本产生之输出之一或多个电脑子系统，该工具经组态以在该样本上运行一进程。该系统亦包含由该一或多个电脑子系统运行之一或多个组件。该一或多个组件包含一基于学习之模型，其经组态以用于使用所获取之输出作为输入运行一或多个第一功能以借此产生针对该样本之仿真输出。该一或多个电脑子系统亦经组态以用于使用该仿真输出针对该样本运行一或多个第二功能。

6. 发明专利

TW201728892A 用於區域可調適之缺陷偵測的系統及方法审中-公开
简体标题：用于区域可调适之缺陷侦测的系统及方法
公开(公告)号：TW201728892A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105137757
申请日：2016-11-18
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：馬希爾克里斯多夫 , MAHER, CHRISTOPHER , 布拉爾伯裘恩 , BRAUER, BJORN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 羅森高斯伊利薩 , ROSENGAUS, ELIEZER , 喬丹約翰R 三世 , JORDAN, JOHN R. III , 米勒洛尼 , MILLER, RONI
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/88 , G06T7/00
CPC分类号： G06T7/001 , G06K9/6202 , G06K9/6212 , G06K9/74 , G06T7/11 , G06T2207/20182 , G06T2207/30148
摘要：本發明揭示一種缺陷偵測方法，其包含獲取一參考影像；選擇該參考影像之一目標區域；基於一匹配度量識別對應於該目標區域之該參考影像之一或多個比較區域；獲取一測試影像；使用該參考影像之該目標區域及該參考影像之該一或多個比較區域遮蔽該測試影像；基於該測試影像中之該一或多個比較區域定義該測試影像中之該目標區域之一缺陷臨限值；及基於該缺陷臨限值判定該測試影像之該目標區域是否含有一缺陷。
简体摘要：本发明揭示一种缺陷侦测方法，其包含获取一参考影像；选择该参考影像之一目标区域；基于一匹配度量识别对应于该目标区域之该参考影像之一或多个比较区域；获取一测试影像；使用该参考影像之该目标区域及该参考影像之该一或多个比较区域屏蔽该测试影像；基于该测试影像中之该一或多个比较区域定义该测试影像中之该目标区域之一缺陷临限值；及基于该缺陷临限值判定该测试影像之该目标区域是否含有一缺陷。

7. 发明专利

TW201903391A 基於輪廓之缺陷偵測审中-公开
简体标题：基于轮廓之缺陷侦测
公开(公告)号：TW201903391A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107111562
申请日：2018-04-02
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：古普傑艾潔 , GUPTA, AJAY , 馬哈迪文摩漢 , MAHADEVAN, MOHAN , 梵卡泰若曼桑卡 , VENKATARAMAN, SANKAR , 楊海東 , YANG, HEDONG , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 卡蒙耶爾 , CARMON, YAIR , 布爾基奇諾各 , BULLKICH, NOGA , 丹尼諾烏迪 , DANINO, UDY
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G06N3/08
摘要：本發明提供用於偵測形成於一樣品上之圖案中之缺陷之方法及系統。一個系統包含藉由一或多個電腦子系統執行之一或多個組件，且該(等)組件包含第一基於學習之模型及第二基於學習之模型。該第一基於學習之模型基於該樣品之一設計產生該等圖案之模擬輪廓，且該等模擬輪廓係藉由一成像子系統產生之該樣品之影像中之該等圖案之一無缺陷版本之預期輪廓。該第二基於學習之模型經組態用於產生形成於該樣品上之該等圖案之至少一個所獲取影像中之該等圖案之實際輪廓。該(等)電腦子系統經組態用於比較該等實際輪廓與該等模擬輪廓且基於該比較之結果偵測形成於該樣品上之該等圖案中之缺陷。
简体摘要：本发明提供用于侦测形成于一样品上之图案中之缺陷之方法及系统。一个系统包含借由一或多个电脑子系统运行之一或多个组件，且该(等)组件包含第一基于学习之模型及第二基于学习之模型。该第一基于学习之模型基于该样品之一设计产生该等图案之仿真轮廓，且该等仿真轮廓系借由一成像子系统产生之该样品之影像中之该等图案之一无缺陷版本之预期轮廓。该第二基于学习之模型经组态用于产生形成于该样品上之该等图案之至少一个所获取影像中之该等图案之实际轮廓。该(等)电脑子系统经组态用于比较该等实际轮廓与该等仿真轮廓且基于该比较之结果侦测形成于该样品上之该等图案中之缺陷。

8. 发明专利

TWI615910B 以運行時設計資料之使用偵測晶圓上之缺陷有权
简体标题：以运行时设计数据之使用侦测晶圆上之缺陷
公开(公告)号：TWI615910B
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：TW103121274
申请日：2014-06-19
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/956 , G06F17/30
CPC分类号： G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148

9. 发明专利

TW201625915A 用於程序窗特徵化之虛擬檢測系統审中-公开
简体标题：用于进程窗特征化之虚拟检测系统
公开(公告)号：TW201625915A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104138824
申请日：2015-11-23
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 瓦格納馬克 , WAGNER, MARK , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR
IPC分类号： G01M11/02 , G01N21/88
CPC分类号： H04L65/403 , G06F17/30867 , G06T1/0007 , G06T7/0006 , G06T2207/10144 , G06T2207/30148 , H04L67/306 , H04N7/181
摘要：本發明提供用於偵測一樣品上之缺陷之方法及系統。一系統包含經組態以儲存藉由一檢測系統產生之一樣品之一實體版本之影像之一儲存媒體。使用對該樣品執行之一製造程序之一或多個參數之不同值在該樣品上形成至少兩個晶粒。該系統亦包含(若干)電腦子系統，其(等)經組態以比較在該樣品上使用該等不同值之至少兩者形成具有相同如所設計之特性之圖案之位置處產生之經儲存影像之部分。經比較之該等經儲存影像之該等部分未受該等晶粒在該樣品上之位置、該等圖案在該等晶粒內之位置或該等圖案在該樣品上之位置約束。該(等)電腦子系統亦經組態以基於該比較之結果偵測該等位置處之缺陷。
简体摘要：本发明提供用于侦测一样品上之缺陷之方法及系统。一系统包含经组态以存储借由一检测系统产生之一样品之一实体版本之影像之一存储媒体。使用对该样品运行之一制造进程之一或多个参数之不同值在该样品上形成至少两个晶粒。该系统亦包含(若干)电脑子系统，其(等)经组态以比较在该样品上使用该等不同值之至少两者形成具有相同如所设计之特性之图案之位置处产生之经存储影像之部分。经比较之该等经存储影像之该等部分未受该等晶粒在该样品上之位置、该等图案在该等晶粒内之位置或该等图案在该样品上之位置约束。该(等)电脑子系统亦经组态以基于该比较之结果侦测该等位置处之缺陷。

10. 发明专利

TW201734825A 用於半導體應用之以機器學習之模型為基礎之加速訓練审中-公开
简体标题：用于半导体应用之以机器学习之模型为基础之加速训练
公开(公告)号：TW201734825A
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW105144317
申请日：2016-12-30
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：畢海斯卡克里斯 , BHASKAR, KRIS , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 楊史考特 , YOUNG, SCOTT , 馬哈迪文摩漢 , MAHADEVAN, MOHAN , 張晶 , ZHANG, JING , 杜菲布萊恩 , DUFFY, BRIAN , 賀力 , HE, LI , 應華俊 , YING, HUAJUN , 聶紅 , NIEN, HUNG , 梵卡泰若曼桑卡 , VENKATARAMAN, SANKAR
IPC分类号： G06F15/08 , G06F17/50
CPC分类号： G06F17/5009 , G06N3/0454
摘要：本發明提供用於半導體應用之基於機器學習之模型之加速訓練之方法及系統。一種用於訓練一基於機器學習之模型之方法包含獲取在其上執行一程序之(若干)樣品之非標稱例項之資訊。該基於機器學習之模型經組態以針對該等樣品執行(若干)模擬。僅使用(若干)額外樣品之標稱例項之資訊訓練該基於機器學習之模型。該方法亦包含使用該(等)樣品之該等非標稱例項之該資訊重新訓練該基於機器學習之模型，藉此執行該(等)樣品之該等非標稱例項之該資訊至該基於機器學習之模型之轉移學習。
简体摘要：本发明提供用于半导体应用之基于机器学习之模型之加速训练之方法及系统。一种用于训练一基于机器学习之模型之方法包含获取在其上运行一进程之(若干)样品之非标称实例之信息。该基于机器学习之模型经组态以针对该等样品运行(若干)仿真。仅使用(若干)额外样品之标称实例之信息训练该基于机器学习之模型。该方法亦包含使用该(等)样品之该等非标称实例之该信息重新训练该基于机器学习之模型，借此运行该(等)样品之该等非标称实例之该信息至该基于机器学习之模型之转移学习。

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