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1. 发明专利

TW201514468A 基於相位控制模型之覆疊量測系統及方法审中-公开
简体标题：基于相位控制模型之覆叠量测系统及方法
公开(公告)号：TW201514468A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103127375
申请日：2014-08-08
申请人： JSMSW科技有限公司 , JSMSW TECHNOLOGY LLC
发明人：鄭桓宙 , JEONG, HWAN J.
IPC分类号： G01N21/84 , G01B11/00 , G03F7/20
CPC分类号： G06K9/6202 , G01N21/956 , G03F7/70633 , G06K9/74 , G06T7/001 , G06T2207/30148
摘要：本發明揭示覆疊量測系統及方法，其控制經散射之光分量與鏡面反射光分量之間的相對相位以在偵測之前放大微弱光學信號。甚至在存在圖案間干涉之情況下，該等系統及方法亦利用基於模型之回歸影像處理來準確地判定覆疊誤差。
简体摘要：本发明揭示复叠量测系统及方法，其控制经散射之光分量与镜面反射光分量之间的相对相位以在侦测之前放大微弱光学信号。甚至在存在图案间干涉之情况下，该等系统及方法亦利用基于模型之回归影像处理来准确地判定覆叠误差。

2. 发明专利

TWI394151B 用於全像儲存之灰階權重重心法有权
简体标题：用于全像存储之灰阶权重重心法
公开(公告)号：TWI394151B
公开(公告)日：2013-04-21
申请号：TW099101760
申请日：2010-01-22
申请人：國立交通大學 , NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY
发明人：歐陽盟 , 陳昱達
IPC分类号： G11B7/0065
CPC分类号： G06K9/74 , G11B7/0065 , G11B20/10046 , G11B2220/2504

3. 发明专利

TW201728892A 用於區域可調適之缺陷偵測的系統及方法审中-公开
简体标题：用于区域可调适之缺陷侦测的系统及方法
公开(公告)号：TW201728892A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105137757
申请日：2016-11-18
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：馬希爾克里斯多夫 , MAHER, CHRISTOPHER , 布拉爾伯裘恩 , BRAUER, BJORN , 瑞瑪錢德倫維賈亞柯馬 , RAMACHANDRAN, VIJAYAKUMAR , 卡森堤勞倫特 , KARSENTI, LAURENT , 羅森高斯伊利薩 , ROSENGAUS, ELIEZER , 喬丹約翰R 三世 , JORDAN, JOHN R. III , 米勒洛尼 , MILLER, RONI
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/88 , G06T7/00
CPC分类号： G06T7/001 , G06K9/6202 , G06K9/6212 , G06K9/74 , G06T7/11 , G06T2207/20182 , G06T2207/30148
摘要：本發明揭示一種缺陷偵測方法，其包含獲取一參考影像；選擇該參考影像之一目標區域；基於一匹配度量識別對應於該目標區域之該參考影像之一或多個比較區域；獲取一測試影像；使用該參考影像之該目標區域及該參考影像之該一或多個比較區域遮蔽該測試影像；基於該測試影像中之該一或多個比較區域定義該測試影像中之該目標區域之一缺陷臨限值；及基於該缺陷臨限值判定該測試影像之該目標區域是否含有一缺陷。
简体摘要：本发明揭示一种缺陷侦测方法，其包含获取一参考影像；选择该参考影像之一目标区域；基于一匹配度量识别对应于该目标区域之该参考影像之一或多个比较区域；获取一测试影像；使用该参考影像之该目标区域及该参考影像之该一或多个比较区域屏蔽该测试影像；基于该测试影像中之该一或多个比较区域定义该测试影像中之该目标区域之一缺陷临限值；及基于该缺陷临限值判定该测试影像之该目标区域是否含有一缺陷。

4. 发明专利

TWI525315B 基於相位控制模型之覆疊量測系統及方法有权
简体标题：基于相位控制模型之覆叠量测系统及方法
公开(公告)号：TWI525315B
公开(公告)日：2016-03-11
申请号：TW103127375
申请日：2014-08-08
申请人： JSMSW科技有限公司 , JSMSW TECHNOLOGY LLC
发明人：鄭桓宙 , JEONG, HWAN J.
IPC分类号： G01N21/84 , G01B11/00 , G03F7/20
CPC分类号： G06K9/6202 , G01N21/956 , G03F7/70633 , G06K9/74 , G06T7/001 , G06T2207/30148

5. 发明专利

TW201126519A 用於全像儲存之灰階權重重心法审中-公开
简体标题：用于全像存储之灰阶权重重心法
公开(公告)号：TW201126519A
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：TW099101760
申请日：2010-01-22
申请人：歐陽盟
发明人：歐陽盟 , 陳昱達
IPC分类号： G11B
CPC分类号： G06K9/74 , G11B7/0065 , G11B20/10046 , G11B2220/2504
摘要：本發明係揭露用於全像儲存之灰階權重重心法,首先接收一具有複數區塊之第一灰階影像。接著利用一權重矩陣與上述影像進行卷積運算,以得到一具有複數區塊之第二灰階影像,且每一區塊具有一灰階値。再來根據一閥値將灰階値劃分成亮、暗灰階値,以轉換第二灰階影像成二値化影像,並從影像中找出亮灰階値對應之區塊的邊界位置。接著將邊界位置對應於第一灰階影像上,以找出邊界位置包圍之區塊,並以此作為重心區塊,最後對重心區塊進行運算,即得到重心點。本發明可找到二維感測器上每一個位元定位的中心,以避免影像產生扭曲或失焦。
简体摘要：本发明系揭露用于全像存储之灰阶权重重心法,首先接收一具有复数区块之第一灰阶影像。接着利用一权重矩阵与上述影像进行卷积运算,以得到一具有复数区块之第二灰阶影像,且每一区块具有一灰阶値。再来根据一阀値将灰阶値划分成亮、暗灰阶値,以转换第二灰阶影像成二値化影像,并从影像中找出亮灰阶値对应之区块的边界位置。接着将边界位置对应于第一灰阶影像上,以找出边界位置包围之区块,并以此作为重心区块,最后对重心区块进行运算,即得到重心点。本发明可找到二维传感器上每一个比特定位的中心,以避免影像产生扭曲或失焦。

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