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    • 2. 发明专利
    • 半導體裝置之製造方法
    • 半导体设备之制造方法
    • TW541618B
    • 2003-07-11
    • TW091107414
    • 2002-04-12
    • 三菱電機股份有限公司
    • 新谷賢治津田睦谷村純二丸山隆弘吉福良一
    • H01L
    • H01L21/32137H01L21/28123
    • 本發明係提供一種半導體裝置之製造方法,可防止於使用HBr/O2系氣體之高選擇性過度蝕刻過程時形成問題之閘電極端部形狀錐化。
      在蝕刻形成於半導體晶圓上絕緣膜上之電極及配線之過程時,繼主蝕刻過程後之使用HBr/O2系氣體之過度蝕刻過程分割為多數行程之同時,由於使第一段過度蝕刻過程之O2添加量較少於第二段過度蝕刻過程之O2添加量,即可減低在過度蝕刻過程初期自槽壁所供給附著物之釋出量,藉此附著於閘電極側壁之薄膜生成物量減少,得以實現異方性蝕刻形狀。另,可蝕刻電極及配線而不致損傷襯底之絕緣膜,得以實現高選擇性過度蝕刻過程。
    • 本发明系提供一种半导体设备之制造方法,可防止于使用HBr/O2系气体之高选择性过度蚀刻过程时形成问题之闸电极端部形状锥化。 在蚀刻形成于半导体晶圆上绝缘膜上之电极及配线之过程时,继主蚀刻过程后之使用HBr/O2系气体之过度蚀刻过程分割为多数行程之同时,由于使第一段过度蚀刻过程之O2添加量较少于第二段过度蚀刻过程之O2添加量,即可减低在过度蚀刻过程初期自槽壁所供给附着物之发佈量,借此附着于闸电极侧壁之薄膜生成物量减少,得以实现异方性蚀刻形状。另,可蚀刻电极及配线而不致损伤衬底之绝缘膜,得以实现高选择性过度蚀刻过程。
    • 5. 发明专利
    • 半導體裝置的製法
    • 半导体设备的制法
    • TW544984B
    • 2003-08-01
    • TW091112060
    • 2002-06-05
    • 三菱電機股份有限公司
    • 谷村純二田代賀久阿部真司笠井信之西口晴美大倉裕二八木哲哉
    • H01LH01S
    • 本發明提供一種半導體裝置的製法,係包含有:在半導體基板1上設置第1半導體層2的步驟;在該第1半導體層2上設置量子井層180的步驟;在該量子井層180上設置合計膜厚小於500nm的第2半導體層6的步驟;在該第2半導體層6上設置SiO膜7的步驟;以使至少由前述第2半導體層6到前述量子井層180為止的區域中的Si峰值濃度值小於l×1019cm-3的方式,進行由前述SiO膜7上注入Si離子的步驟;以及在進行離子注入步驟之後,進行熱退火,而將位於膜厚方向的量子井層180的部分或是全部無序化的步驟。即使在其有任意的層構造,且上覆蓋層的厚度小於500nm的半導體裝置中,也能夠控制結晶缺陷的產生,並實現量子井層的無序化。
    • 本发明提供一种半导体设备的制法,系包含有:在半导体基板1上设置第1半导体层2的步骤;在该第1半导体层2上设置量子井层180的步骤;在该量子井层180上设置合计膜厚小于500nm的第2半导体层6的步骤;在该第2半导体层6上设置SiO膜7的步骤;以使至少由前述第2半导体层6到前述量子井层180为止的区域中的Si峰值浓度值小于l×1019cm-3的方式,进行由前述SiO膜7上注入Si离子的步骤;以及在进行离子注入步骤之后,进行热退火,而将位于膜厚方向的量子井层180的部分或是全部无序化的步骤。即使在其有任意的层构造,且上覆盖层的厚度小于500nm的半导体设备中,也能够控制结晶缺陷的产生,并实现量子井层的无序化。