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    • 4. 发明专利
    • 脆性材料基板之割斷方法
    • 脆性材料基板之割断方法
    • TW201325797A
    • 2013-07-01
    • TW100148572
    • 2011-12-26
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 清水政二SHIMIZU, SEIJI
    • B23K26/38H01L21/304
    • [課題]於使用雷射在互相交差之2方向將脆性材料基板割斷之場合抑制交點部分之破裂之發生。[解決手段]藉由雷射光束LB之照射與來自冷卻噴嘴37之冷卻媒體之吹送來形成由垂直裂痕53a構成之第1刻劃線52a、由垂直裂痕53b構成之第2刻劃線52b。之後對第2刻劃線52b再度照射雷射光束LB使垂直裂痕53b伸展,以第2刻劃線52b將脆性材料基板50割斷。其次,將割斷線54與第1刻劃線52a之交點區域以玻璃板61或水滴62覆蓋。之後,除了交點區域外對第1刻劃線52a再度照射雷射光束LB使垂直裂痕53a伸展,以第1刻劃線52a將脆性材料基板50割斷。
    • [课题]于使用激光在互相交差之2方向将脆性材料基板割断之场合抑制交点部分之破裂之发生。[解决手段]借由激光光束LB之照射与来自冷却喷嘴37之冷却媒体之吹送来形成由垂直裂痕53a构成之第1刻划线52a、由垂直裂痕53b构成之第2刻划线52b。之后对第2刻划线52b再度照射激光光束LB使垂直裂痕53b伸展,以第2刻划线52b将脆性材料基板50割断。其次,将割断线54与第1刻划线52a之交点区域以玻璃板61或水滴62覆盖。之后,除了交点区域外对第1刻划线52a再度照射激光光束LB使垂直裂痕53a伸展,以第1刻划线52a将脆性材料基板50割断。