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热词
    • 1. 发明专利
    • 刻劃裝置
    • 刻划设备
    • TW201321322A
    • 2013-06-01
    • TW101123414
    • 2012-06-29
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 蘇宇航SU, YUHANG池田剛史IKEDA, TAKESHI山本幸司YAMAMOTO, KOJI
    • C03B33/10B23K26/04
    • 本發明係提供一種於前一次刻劃後,下一次刻劃時不受殘留冷媒影響之刻劃裝置。本發明之刻劃裝置A係具備工作台1、刻劃頭9、及使刻劃頭9相對工作台1移動之移動機構6、8、M;刻劃頭9具備雷射照射部10,其對工作台1上之脆性材料基板W照射雷射光束,形成作為加熱區域之雷射點;及冷媒噴射部11,其朝向雷射點之移動方向之後方位置噴射包含液體之冷媒,形成作為冷卻區域之冷卻點;沿著基板W假定之刻劃預定線使雷射點及冷卻點依序移動,形成熱應力之刻劃線;刻劃頭9進一步具備朝向雷射點之移動方向前方位置噴射氣體之氣體噴射部12。
    • 本发明系提供一种于前一次刻划后,下一次刻划时不受残留冷媒影响之刻划设备。本发明之刻划设备A系具备工作台1、刻划头9、及使刻划头9相对工作台1移动之移动机构6、8、M;刻划头9具备激光照射部10,其对工作台1上之脆性材料基板W照射激光光束,形成作为加热区域之激光点;及冷媒喷射部11,其朝向激光点之移动方向之后方位置喷射包含液体之冷媒,形成作为冷却区域之冷却点;沿着基板W假定之刻划预定线使激光点及冷却点依序移动,形成热应力之刻划线;刻划头9进一步具备朝向激光点之移动方向前方位置喷射气体之气体喷射部12。