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1. 发明专利

TWI698936B 熱處理方法及熱處理裝置有权
简体标题：热处理方法及热处理设备
公开(公告)号：TWI698936B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW108136572
申请日：2016-07-07
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：青山敬幸 , AOYAMA, TAKAYUKI
IPC分类号： H01L21/324 , H01J61/16

2. 发明专利

TWI693975B 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWI693975B
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：TW107122118
申请日：2016-03-11
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO,. LTD.
发明人：秋月佑介 , AKIZUKI, YUSUKE
IPC分类号： B05C11/10 , B05D3/00 , H01L21/67

3. 发明专利

TWI690990B 基板處理方法及基板處理裝置有权
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TWI690990B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW104131792
申请日：2015-09-25
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO,. LTD.
发明人：奧田次郎 , OKUDA, JIRO , 林豐秀 , HAYASHI, TOYOHIDE , 吉原彥 , YOSHIHARA, NAOHIKO
IPC分类号： H01L21/306 , H01L21/67

4. 发明专利

TW201835975A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201835975A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW107119690
申请日：2016-07-13
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：稲垣幸彥 , INAGAKI,YUKIHIKO
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/677 , B65G49/06
摘要：本發明之基板處理裝置具備前部熱處理區塊、前部中繼區塊及液體處理區塊。前部熱處理區塊具備熱處理單元及主搬送機構。前部中繼區塊具備載置部及搬送機構。液體處理區塊具備液體處理單元及液體處理用搬送機構。前部熱處理區塊與前部中繼區塊連接，且能夠相互搬送基板。前部中繼區塊與液體處理區塊連接，且能夠相互搬送基板。前部中繼區塊係配置於液體處理區塊與前部熱處理區塊之間。
简体摘要：本发明之基板处理设备具备前部热处理区块、前部中继区块及液体处理区块。前部热处理区块具备热处理单元及主搬送机构。前部中继区块具备载置部及搬送机构。液体处理区块具备液体处理单元及液体处理用搬送机构。前部热处理区块与前部中继区块连接，且能够相互搬送基板。前部中继区块与液体处理区块连接，且能够相互搬送基板。前部中继区块系配置于液体处理区块与前部热处理区块之间。

5. 发明专利

TW201809917A 顯影方法审中-公开
简体标题：显影方法
公开(公告)号：TW201809917A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106144209
申请日：2016-01-06
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：田中裕二 , TANAKA, YUJI , 宮城聰 , MIYAGI, TADASHI , 春本將彥 , HARUMOTO, MASAHIKO , 金山幸司 , KANEYAMA, KOJI
IPC分类号： G03F7/30
CPC分类号： G03F7/3021 , H01L21/6715
摘要：於顯影方法中，對繞中心部旋轉之基板上且偏離中心部之預先設定之位置，藉由顯影噴嘴開始進行顯影液之吐出。藉此，可自吐出開始後立刻於離心力較小之中心部產生顯影液之液流。因此，相較於對中心部開始進行顯影液之吐出之情形，可效率佳地將光阻之溶解生成物排出至基板外。而且，可抑制吐出開始後立刻產生之藉由顯影噴嘴直接被吐出之顯影液之抵達位置會分散之情形，尤其能抑制光阻圖案在基板之中心部變細之情形，從而抑制處理的不均。
简体摘要：于显影方法中，对绕中心部旋转之基板上且偏离中心部之预先设置之位置，借由显影喷嘴开始进行显影液之吐出。借此，可自吐出开始后立刻于离心力较小之中心部产生显影液之液流。因此，相较于对中心部开始进行显影液之吐出之情形，可效率佳地将光阻之溶解生成物排出至基板外。而且，可抑制吐出开始后立刻产生之借由显影喷嘴直接被吐出之显影液之抵达位置会分散之情形，尤其能抑制光阻图案在基板之中心部变细之情形，从而抑制处理的不均。

6. 发明专利

TW202030790A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW202030790A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109105739
申请日：2016-02-17
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：小林健司 , KOBAYASHI, KENJI , 澤島隼 , SAWASHIMA, JUN , 西村優大 , NISHIMURA, YUTA , 波多野章人 , HATANO, AKITO , 島井基行 , SHIMAI, MOTOYUKI , 林豊秀 , HAYASHI, TOYOHIDE
IPC分类号： H01L21/306 , B08B3/02 , B08B3/10
摘要：供給流路係分歧為複數之上游流路。複數之上游流路包含分歧為複數之下游流路之分歧上游流路。複數之吐出口，係分別配置於離旋轉軸線之距離不同之複數個位置，將經由複數之上游流路供給之處理液朝保持於基板保持單元之基板之上表面吐出。
简体摘要：供给流路系分歧为复数之上游流路。复数之上游流路包含分歧为复数之下游流路之分歧上游流路。复数之吐出口，系分别配置于离旋转轴线之距离不同之复数个位置，将经由复数之上游流路供给之处理液朝保持于基板保持单元之基板之上表面吐出。

7. 发明专利

TWI689983B 基板處理方法及基板處理裝置有权
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TWI689983B
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：TW105103471
申请日：2016-02-03
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：太田喬 , OTA, TAKASHI , 日野出大輝 , HINODE, TAIKI
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/308 , H01L21/02

8. 发明专利

TWI688005B 熱處理方法及熱處理裝置有权
简体标题：热处理方法及热处理设备
公开(公告)号：TWI688005B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW106145087
申请日：2016-07-25
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：青山敬幸 , AOYAMA,TAKAYUKI , 河原崎光 , KAWARAZAKI,HIKARU , 古川雅志 , FURUKAWA,MASASHI , 布施和彥 , FUSE,KAZUHIKO , 谷村英昭 , TANIMURA,HIDEAKI , 加藤慎一 , KATO,SHINICHI
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/477

9. 发明专利

TW201827250A 印刷方法及印刷裝置审中-公开
简体标题：印刷方法及印刷设备
公开(公告)号：TW201827250A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106145150
申请日：2016-07-15
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：西川貴之 , NISHIKAWA,TAKAYUKI
IPC分类号： B41M1/10
摘要：本發明之課題在於縮短使用平板狀之凹版對平板狀之基材進行印刷所需之時間、亦即節拍時間，並藉由下述之印刷方法解決上述課題。該印刷方法具備：充填工序，其將印刷材料充填至形成於平板狀之凹版之表面的凹部；受理工序，其使充填於凹部之印刷材料受理至轉印部；及轉印工序，其將轉印部所受理之印刷材料轉印至平板狀之基材；且執行充填工序、受理工序及轉印工序而進行將印刷材料印刷在第1基材之第1印刷動作，並且在與對第1基材之轉印工序以至少一部分並行之方式進行充填工序之後，執行受理工序及轉印工序而進行將印刷材料印刷在與第1基材不同之第2基材之第2印刷動作。
简体摘要：本发明之课题在于缩短使用平板状之凹版对平板状之基材进行印刷所需之时间、亦即节拍时间，并借由下述之印刷方法解决上述课题。该印刷方法具备：充填工序，其将印刷材料充填至形成于平板状之凹版之表面的凹部；受理工序，其使充填于凹部之印刷材料受理至转印部；及转印工序，其将转印部所受理之印刷材料转印至平板状之基材；且运行充填工序、受理工序及转印工序而进行将印刷材料印刷在第1基材之第1印刷动作，并且在与对第1基材之转印工序以至少一部分并行之方式进行充填工序之后，运行受理工序及转印工序而进行将印刷材料印刷在与第1基材不同之第2基材之第2印刷动作。

10. 发明专利

TWI698933B 熱處理方法及熱處理裝置有权
简体标题：热处理方法及热处理设备
公开(公告)号：TWI698933B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW107110255
申请日：2016-01-07
申请人：日商思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：河原崎光 , KAWARAZAKI,HIKARU
IPC分类号： H01L21/324

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