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    • 47. 发明专利
    • 原料氣化供應裝置
    • 原料气化供应设备
    • TW201441412A
    • 2014-11-01
    • TW102143011
    • 2013-11-26
    • 富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 日高敦志HIDAKA, ATSUSHI永瀬正明NAGASE, MASAAKI山下哲YAMASHITA, SATORU西野功二NISHINO, KOUJI池田信一IKEDA, NOBUKAZU
    • C23C16/455C23C16/52
    • C23C16/4485C23C16/4481C23C16/4482C23C16/52F17C9/02F22B1/284F22B1/285
    • 本發明係無論是固體原料或液體原料,都能讓大多數的原料氣體不引起熱分解地成為期望之高溫、高蒸氣壓的原料氣體,藉此可將高純度且期望濃度的原料氣體以高精度進行流量控制的同時,穩定供應給處理室。本發明之原料氣體供應裝置,係具備:原料接收槽、將從液體接收槽壓送來的液體加以氣化的氣化器、來自氣化器之原料氣體流量加以調整的流量控制裝置、以及用來加熱氣化器和高溫型壓力式流量控制裝置和與此等連接之流路的期望部分的加熱裝置,而且至少對將前述原料接收槽和氣化器和流量控制裝置和前述各機器裝置間加以連結的流路及將介設在流路的開關閥中任一者之金屬表面的各液體接觸部或氣體接觸部,進行Al2O3鈍化處理或Cr2O3鈍化處理或FeF2鈍化處理。
    • 本发明系无论是固体原料或液体原料,都能让大多数的原料气体不引起热分解地成为期望之高温、高蒸气压的原料气体,借此可将高纯度且期望浓度的原料气体以高精度进行流量控制的同时,稳定供应给处理室。本发明之原料气体供应设备,系具备:原料接收槽、将从液体接收槽压送来的液体加以气化的气化器、来自气化器之原料气体流量加以调整的流量控制设备、以及用来加热气化器和高温型压力式流量控制设备和与此等连接之流路的期望部分的加热设备,而且至少对将前述原料接收槽和气化器和流量控制设备和前述各机器设备间加以链接的流路及将介设在流路的开关阀中任一者之金属表面的各液体接触部或气体接触部,进行Al2O3钝化处理或Cr2O3钝化处理或FeF2钝化处理。