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31. 发明专利

TW201232656A 液體氣化機审中-公开
简体标题：液体气化机
公开(公告)号：TW201232656A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：TW100133176
申请日：2011-09-15
申请人： CKD股份有限公司
发明人：纐纈雅之 , 板藤寬
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/00 , B01B1/005 , B01D1/14 , B01F3/022 , C23C14/24 , H01L21/67017
摘要：本發明提供一種使從藥液供給口供給之藥液氣化,以使之混合於媒體氣體之液體氣化機。液體氣化機包含有具有混合氣體生成空間之氣化機本體及配置於混合氣體生成空間內部之氣化部。氣化部具有形成有氣化面之氣化部本體及藉將線材有規則地編成網眼狀,而形成面狀之網狀體。網狀體形成有以線材包圍,並於網狀體之面內方向有規則地排列之複數網眼空間,氣化部形成有藉網狀體與氣化面相互抵接,而以線材與氣化面包圍,並於網狀體之面內方向有規則地排列之複數藥液供給空間。
简体摘要：本发明提供一种使从药液供给口供给之药液气化,以使之混合于媒体气体之液体气化机。液体气化机包含有具有混合气体生成空间之气化机本体及配置于混合气体生成空间内部之气化部。气化部具有形成有气化面之气化部本体及藉将线材有守则地编成网眼状,而形成面状之网状体。网状体形成有以线材包围,并于网状体之面内方向有守则地排列之复数网眼空间,气化部形成有藉网状体与气化面相互抵接,而以线材与气化面包围,并于网状体之面内方向有守则地排列之复数药液供给空间。

32. 发明专利

TWI358508B 氣體供給單元及氣體供給系統失效
简体标题：气体供给单元及气体供给系统
公开(公告)号：TWI358508B
公开(公告)日：2012-02-21
申请号：TW095119656
申请日：2006-06-02
申请人： CKD股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：守谷修司 , 長岡秀樹 , 岡部庸之 , 板藤寬 , 土居廣樹 , 伊藤稔
IPC分类号： F17C , H01L
摘要：提供一種小型且低價的氣體供給單元及氣體供給系統，配設於作用氣體輸送管路上，複數個流體控制機器2~6、9經由流路塊12~17連通而控制作用氣體，該氣體供給單元11A包括將複數個流體控制機器中的入口開閉閥4安裝於其一側面的第一流路塊14，以及將複數個流體控制機器中的排氣閥9安裝於其一側面的第二流路塊17，該第一流路塊14與該第二流路塊17相對於作用氣體搬運方向以垂直方向堆疊，入口開閉閥4與排氣閥9係配設於設於作用氣體搬運管路上的質量流量控制器5與安裝氣體供給單元11A的安裝面之間。
简体摘要：提供一种小型且低价的气体供给单元及气体供给系统，配设于作用气体输送管路上，复数个流体控制机器2~6、9经由流路块12~17连通而控制作用气体，该气体供给单元11A包括将复数个流体控制机器中的入口开闭阀4安装於其一侧面的第一流路块14，以及将复数个流体控制机器中的排气阀9安装於其一侧面的第二流路块17，该第一流路块14与该第二流路块17相对于作用气体搬运方向以垂直方向堆栈，入口开闭阀4与排气阀9系配设于设于作用气体搬运管路上的质量流量控制器5与安装气体供给单元11A的安装面之间。

33. 发明专利

TWI354096B 氣體流量檢定裝置有权
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TWI354096B
公开(公告)日：2011-12-11
申请号：TW096106678
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司
发明人：小澤幸生 , 伊藤稔 , 土居廣樹 , 中田明子
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
摘要：本發明為了提供可提高對於流量檢定之可靠性的氣體流量檢定裝置，作成一種氣體流量檢定裝置，具有：第一關斷閥12，和流量控制器10連接，並輸入氣體；第二關斷閥13，輸出氣體；連通構件18，使第一關斷閥12和第二關斷閥13連通；壓力感測器14，檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之壓力；溫度檢測器15，檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之溫度；以及控制手段16，使用壓力感測器14所檢測之壓力檢測結果和溫度檢測器15所檢測的溫度檢測結果，檢定在流量控制器10流動之氣體的流量，使由第一關斷閥12之閥座22至第二關斷閥13的閥座28為止之體積Vk小於由流量控制器10的出口至第一關斷閥12之閥座22為止的體積Ve。
简体摘要：本发明为了提供可提高对于流量检定之可靠性的气体流量检定设备，作成一种气体流量检定设备，具有：第一关断阀12，和流量控制器10连接，并输入气体；第二关断阀13，输出气体；连通构件18，使第一关断阀12和第二关断阀13连通；压力传感器14，检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之压力；温度检测器15，检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之温度；以及控制手段16，使用压力传感器14所检测之压力检测结果和温度检测器15所检测的温度检测结果，检定在流量控制器10流动之气体的流量，使由第一关断阀12之阀座22至第二关断阀13的阀座28为止之体积Vk小于由流量控制器10的出口至第一关断阀12之阀座22为止的体积Ve。

34. 发明专利

TW201140271A 流量控制器及比例電磁閥 FLOW RATE CONTROLLER AND PROPORTIONAL ELECTROMAGNETIC VALVE 审中-公开
简体标题：流量控制器及比例电磁阀 FLOW RATE CONTROLLER AND PROPORTIONAL ELECTROMAGNETIC VALVE
公开(公告)号：TW201140271A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：TW099143444
申请日：2010-12-13
申请人： CKD股份有限公司
发明人：西村康典
IPC分类号： G05D , F16K
CPC分类号： F16K31/0655 , F16K1/42 , G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要：流量控制器(1)構成為控制電路(4)以流量感測器(3)之檢測流量成為目標流量的方式控制比例電磁閥(2)。比例電磁閥(2)包括支架(24)所支撐之線圈(21)、捲線軸(22)及固定鐵心(23)、設置於可動鐵心(25)的閥體(26)與板片彈簧(27)、以及設置於本體(28)的閥座(30)、引入通路(31)、引出通路(32)及孔口(33)。藉由線圈(21)的激磁所造成之固定鐵心(23)的吸力與板片彈簧(27)的偏壓力平衡,使可動鐵心(25)位移,而調整閥體(26)相對閥座(30)的位置,以調整流體的流量。孔口(33)的內徑被設定為

「1mm以上」的値,孔口(33)之軸長相對於內徑的比被設定成「0.1以上0.6以下」的値,引出通路(32)的內徑被設定成比孔口(33)的內徑更大。
简体摘要：流量控制器(1)构成为控制电路(4)以流量传感器(3)之检测流量成为目标流量的方式控制比例电磁阀(2)。比例电磁阀(2)包括支架(24)所支撑之线圈(21)、卷线轴(22)及固定铁心(23)、设置于可动铁心(25)的阀体(26)与板片弹簧(27)、以及设置于本体(28)的阀座(30)、引入通路(31)、引出通路(32)及孔口(33)。借由线圈(21)的激磁所造成之固定铁心(23)的吸力与板片弹簧(27)的偏压力平衡,使可动铁心(25)位移,而调整阀体(26)相对阀座(30)的位置,以调整流体的流量。孔口(33)的内径被设置为 “1mm以上”的値,孔口(33)之轴长相对于内径的比被设置成“0.1以上0.6以下”的値,引出通路(32)的内径被设置成比孔口(33)的内径更大。

35. 发明专利

TWI346384B 汽化器之原料液供給單元 LIQUID RAW MATERIAL SUPPLY UNIT FOR VAPORIZER 有权
简体标题：汽化器之原料液供给单元 LIQUID RAW MATERIAL SUPPLY UNIT FOR VAPORIZER
公开(公告)号：TWI346384B
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：TW096121714
申请日：2007-06-15
申请人： CKD股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：岡部庸之 , 大倉成幸 , 土居廣樹 , 伊藤稔 , 森洋司 , 西村康典
IPC分类号： H01L , C23C
CPC分类号： F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
摘要：在對使原料液變成汽化之汽化器供給該原料液的汽化器之原料液供給單元，具有在內部形成流路之岐管、及被安裝於該岐管的複數流體控制閥，該複數流體控制閥包含有控制對該流路之原料液的供給之原料液控制閥、控制對該流路之清潔液的供給之清潔液控制閥、控制對該流路之沖洗氣體的供給之沖洗氣體控制閥、以及控制在該流路流動之流體往該汽化器的引入之汽化器引入控制閥，從該岐管之上游側，按照該沖洗氣體控制閥、該清潔液控制閥、該原料液控制閥、以及該汽化器引入控制閥的順序安裝於該岐管，該流路和與該複數流體控制閥各自所具備之各閥孔連通的閥孔口連接，作成從該沖洗氣體控制閥所供給之沖洗氣體直接流入配置於比該沖洗氣體控制閥更下游側的該清潔液控制閥及該原料液控制閥之各閥孔口內的形狀。
简体摘要：在对使原料液变成汽化之汽化器供给该原料液的汽化器之原料液供给单元，具有在内部形成流路之岐管、及被安装于该岐管的复数流体控制阀，该复数流体控制阀包含有控制对该流路之原料液的供给之原料液控制阀、控制对该流路之清洁液的供给之清洁液控制阀、控制对该流路之冲洗气体的供给之冲洗气体控制阀、以及控制在该流路流动之流体往该汽化器的引入之汽化器引入控制阀，从该岐管之上游侧，按照该冲洗气体控制阀、该清洁液控制阀、该原料液控制阀、以及该汽化器引入控制阀的顺序安装于该岐管，该流路和与该复数流体控制阀各自所具备之各阀孔连通的阀孔口连接，作成从该冲洗气体控制阀所供给之冲洗气体直接流入配置于比该冲洗气体控制阀更下游侧的该清洁液控制阀及该原料液控制阀之各阀孔口内的形状。

36. 发明专利

TWI343464B 氣體供給集合單元有权
简体标题：气体供给集合单元
公开(公告)号：TWI343464B
公开(公告)日：2011-06-11
申请号：TW094112680
申请日：2005-04-21
申请人： CKD股份有限公司
发明人：武市昭宏 , 青山達人 , 三輪敏一 , 井上貴史
IPC分类号： F23N
CPC分类号： C23C16/45561 , C23C16/455 , F17D1/04 , Y02E60/34
摘要：為了提供一種在常溫常壓下一邊加熱保一邊供給容易液化之製程氣體的氣體供給集合單元，本發明的構造為，包括：設置於出口流路的第一手動閥22、設置於連通該第一手動閥22和製程氣體共通流路44之位置的氣動閥26、設置於連通該第一手動閥22和氣提氣體共通流路43之位置的第二手動閥25及複數個藉由流路區塊46及單元固定板15連結成一整個直列的氣體單元，其特徵在於包括：支持構件18，其剖面為ㄇ字型且嵌合上述流路區塊46及單元固定板15；及平面加熱器16，其以夾在上述支持構件18、上述流路區塊46及上述單元固定板15之間的方式來固定。
简体摘要：为了提供一种在常温常压下一边加热保一边供给容易液化之制程气体的气体供给集合单元，本发明的构造为，包括：设置于出口流路的第一手动阀22、设置于连通该第一手动阀22和制程气体共通流路44之位置的气动阀26、设置于连通该第一手动阀22和气提气体共通流路43之位置的第二手动阀25及复数个借由流路区块46及单元固定板15链接成一整个直列的气体单元，其特征在于包括：支持构件18，其剖面为ㄇ字体且嵌合上述流路区块46及单元固定板15；及平面加热器16，其以夹在上述支持构件18、上述流路区块46及上述单元固定板15之间的方式来固定。

37. 发明专利

TW201040422A 回轉型切換閥 ROTARY SWITCHING VALVE 审中-公开
简体标题：回转型切换阀 ROTARY SWITCHING VALVE
公开(公告)号：TW201040422A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：TW099105606
申请日：2010-02-26
申请人： CKD股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：小澤幸生 , 矢島孝視 , 岡部庸之 , 大倉成幸
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K11/0856 , Y10T137/4358 , Y10T137/85954 , Y10T137/86863 , Y10T137/86871
摘要：【課題】防止主流體從間隙部洩漏。【解決手段】一種轉動式切換閥(1)，其具有形成處理氣體所流動的室連通路(24)和排出主流體之通氣連通路(25)的閥本體(2)、及由閥本體(2)保持成可轉動並在內部形成主流體所流動之主流路(31)的圓筒閥體(3)，藉由使圓筒閥體(3)轉動，而可將主流路(31)切換至室連通路(24)和通氣連通路(25)，在該轉動式切換閥(1)，具有用以使沖洗氣體流向閥本體(2)和圓筒閥體(3)之間之間隙部(11)的沖洗氣體流路(22a、22b、22c、22d、22e)，並藉由使沖洗氣體流向間隙部(11)，而防止主流體從主流路(31)洩漏。
简体摘要：【课题】防止主流体从间隙部泄漏。【解决手段】一种转动式切换阀(1)，其具有形成处理气体所流动的室连通路(24)和排出主流体之通气连通路(25)的阀本体(2)、及由阀本体(2)保持成可转动并在内部形成主流体所流动之主流路(31)的圆筒阀体(3)，借由使圆筒阀体(3)转动，而可将主流路(31)切换至室连通路(24)和通气连通路(25)，在该转动式切换阀(1)，具有用以使冲洗气体流向阀本体(2)和圆筒阀体(3)之间之间隙部(11)的冲洗气体流路(22a、22b、22c、22d、22e)，并借由使冲洗气体流向间隙部(11)，而防止主流体从主流路(31)泄漏。

38. 发明专利

TW201033579A 三次元計測裝置 THREE DIMENSIONAL MEASURING DEVICE 审中-公开
简体标题：三次元计测设备 THREE DIMENSIONAL MEASURING DEVICE
公开(公告)号：TW201033579A
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：TW099100624
申请日：2010-01-12
申请人： CKD股份有限公司
发明人：石垣裕之
IPC分类号： G01B , G01N
CPC分类号： G01B11/25 , G01B21/045 , G06T7/521
摘要：【課題】提供一種三維測量裝置，其不採用遠心光學系，而可達成測量精度的提昇。【解決機構】具備三維測量裝置的基板檢查裝置包括：照射裝置(4)，其對印刷有焊錫膏之印刷基板的表面，照射條紋狀光圖案；CCD照相機(5)，其用來對印刷基板上之已照射的部分進行拍攝；以及控制裝置，其根據藉由CCD照相機(5)拍攝的影像資料，進行印刷基板上之各座標位置的高度測量。另外，控制裝置依據CCD照相機(5)的高度(Lco)、與對印刷基板照射之光圖案的照射角(α)，對因CCD照相機(5)之透鏡(5a)的視角所產生之測量資料的偏差進行補正。
简体摘要：【课题】提供一种三维测量设备，其不采用远心光学系，而可达成测量精度的提升。【解决机构】具备三维测量设备的基板检查设备包括：照射设备(4)，其对印刷有焊锡膏之印刷基板的表面，照射条纹状光图案；CCD照相机(5)，其用来对印刷基板上之已照射的部分进行拍摄；以及控制设备，其根据借由CCD照相机(5)拍摄的影像数据，进行印刷基板上之各座标位置的高度测量。另外，控制设备依据CCD照相机(5)的高度(Lco)、与对印刷基板照射之光图案的照射角(α)，对因CCD照相机(5)之透镜(5a)的视角所产生之测量数据的偏差进行补正。

39. 发明专利

TW201030308A 三次元計測裝置审中-公开
简体标题：三次元计测设备
公开(公告)号：TW201030308A
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：TW099101205
申请日：2010-01-18
申请人： CKD股份有限公司
发明人：梅村信行 , 石垣裕之
IPC分类号： G01B
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B11/03
摘要：【課題】提供一種三維測量裝置，使得在進行利用移相法的三維測量時，可以更短的時間進行更高精度的測量。【解決機構】具有三維測量裝置的基板檢查裝置包括：照射裝置，其對印刷有焊錫膏的印刷基板照射條紋狀的光圖案；CCD照相機，其用來對印刷基板上之已照射的部分進行拍攝；以及控制裝置，其依據利用上述方式拍攝的影像資料進行三維測量。控制裝置依據在第1位置照射週期為2μm的第1光圖案而獲得的影像資料，計算每個畫素的第1高度資料。又，依據在斜移半畫素間距的第2位置照射週期為4μm的第2光圖案而獲得的影像資料，計算每個畫素的第2高度資料。接著，根據第2高度資料特定各第1高度資料的條紋數，將該第1高度資料的值置換成考量有條紋數的值。
简体摘要：【课题】提供一种三维测量设备，使得在进行利用移相法的三维测量时，可以更短的时间进行更高精度的测量。【解决机构】具有三维测量设备的基板检查设备包括：照射设备，其对印刷有焊锡膏的印刷基板照射条纹状的光图案；CCD照相机，其用来对印刷基板上之已照射的部分进行拍摄；以及控制设备，其依据利用上述方式拍摄的影像数据进行三维测量。控制设备依据在第1位置照射周期为2μm的第1光图案而获得的影像数据，计算每个像素的第1高度数据。又，依据在斜移半像素间距的第2位置照射周期为4μm的第2光图案而获得的影像数据，计算每个像素的第2高度数据。接着，根据第2高度数据特定各第1高度数据的条纹数，将该第1高度数据的值置换成考量有条纹数的值。

40. 发明专利

TW201020534A 空氣操作閥診斷方法、空氣操作閥診斷裝置以及空氣操作閥审中-公开
简体标题：空气操作阀诊断方法、空气操作阀诊断设备以及空气操作阀
公开(公告)号：TW201020534A
公开(公告)日：2010-06-01
申请号：TW098134917
申请日：2009-10-15
申请人：關東化學股份有限公司 , 日曹工程股份有限公司 , CKD股份有限公司
发明人：西郡和弘 , 小宮三男 , 吉田啟幸 , 田村元 , 宮下路生 , 國立善弘 , 飯田裕樹
IPC分类号： G01M
摘要： [課題]確認空氣操作閥的動作狀態。[解決手段]一種空氣操作閥的診斷方法,用於確認空氣操作閥10的動作狀態,包括:一前置工程,在空氣操作閥10的初期狀態中,使AE感測器2抵接於空氣操作閥10,在操作流體供給於空氣操作閥10的操作埠7時,或者是在操作流體做排氣時,量測、紀錄在開閉時所發出的聲音;一第一工程,在反覆空氣操作閥10的動作後,使AE感測器2抵接於空氣操作閥10,在操作流體供給於空氣操作閥10的操作埠7時,或者是在操作流體做排氣時,量測、紀錄在開閉時所發出的聲音;以及一確認工程,比較第一工程中所量測的値及前置工程所量測的値,而確認空氣操作閥10的動作狀態的變化。
简体摘要： [课题]确认空气操作阀的动作状态。[解决手段]一种空气操作阀的诊断方法,用于确认空气操作阀10的动作状态,包括:一前置工程,在空气操作阀10的初期状态中,使AE传感器2抵接于空气操作阀10,在操作流体供给于空气操作阀10的操作端口7时,或者是在操作流体做排气时,量测、纪录在开闭时所发出的声音;一第一工程,在反复空气操作阀10的动作后,使AE传感器2抵接于空气操作阀10,在操作流体供给于空气操作阀10的操作端口7时,或者是在操作流体做排气时,量测、纪录在开闭时所发出的声音;以及一确认工程,比较第一工程中所量测的値及前置工程所量测的値,而确认空气操作阀10的动作状态的变化。

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