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1. 发明专利

TWI358508B 氣體供給單元及氣體供給系統失效
简体标题：气体供给单元及气体供给系统
公开(公告)号：TWI358508B
公开(公告)日：2012-02-21
申请号：TW095119656
申请日：2006-06-02
申请人： CKD股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：守谷修司 , 長岡秀樹 , 岡部庸之 , 板藤寬 , 土居廣樹 , 伊藤稔
IPC分类号： F17C , H01L
摘要：提供一種小型且低價的氣體供給單元及氣體供給系統，配設於作用氣體輸送管路上，複數個流體控制機器2~6、9經由流路塊12~17連通而控制作用氣體，該氣體供給單元11A包括將複數個流體控制機器中的入口開閉閥4安裝於其一側面的第一流路塊14，以及將複數個流體控制機器中的排氣閥9安裝於其一側面的第二流路塊17，該第一流路塊14與該第二流路塊17相對於作用氣體搬運方向以垂直方向堆疊，入口開閉閥4與排氣閥9係配設於設於作用氣體搬運管路上的質量流量控制器5與安裝氣體供給單元11A的安裝面之間。
简体摘要：提供一种小型且低价的气体供给单元及气体供给系统，配设于作用气体输送管路上，复数个流体控制机器2~6、9经由流路块12~17连通而控制作用气体，该气体供给单元11A包括将复数个流体控制机器中的入口开闭阀4安装於其一侧面的第一流路块14，以及将复数个流体控制机器中的排气阀9安装於其一侧面的第二流路块17，该第一流路块14与该第二流路块17相对于作用气体搬运方向以垂直方向堆栈，入口开闭阀4与排气阀9系配设于设于作用气体搬运管路上的质量流量控制器5与安装气体供给单元11A的安装面之间。

2. 发明专利

TWI346384B 汽化器之原料液供給單元 LIQUID RAW MATERIAL SUPPLY UNIT FOR VAPORIZER 有权
简体标题：汽化器之原料液供给单元 LIQUID RAW MATERIAL SUPPLY UNIT FOR VAPORIZER
公开(公告)号：TWI346384B
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：TW096121714
申请日：2007-06-15
申请人： CKD股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：岡部庸之 , 大倉成幸 , 土居廣樹 , 伊藤稔 , 森洋司 , 西村康典
IPC分类号： H01L , C23C
CPC分类号： F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
摘要：在對使原料液變成汽化之汽化器供給該原料液的汽化器之原料液供給單元，具有在內部形成流路之岐管、及被安裝於該岐管的複數流體控制閥，該複數流體控制閥包含有控制對該流路之原料液的供給之原料液控制閥、控制對該流路之清潔液的供給之清潔液控制閥、控制對該流路之沖洗氣體的供給之沖洗氣體控制閥、以及控制在該流路流動之流體往該汽化器的引入之汽化器引入控制閥，從該岐管之上游側，按照該沖洗氣體控制閥、該清潔液控制閥、該原料液控制閥、以及該汽化器引入控制閥的順序安裝於該岐管，該流路和與該複數流體控制閥各自所具備之各閥孔連通的閥孔口連接，作成從該沖洗氣體控制閥所供給之沖洗氣體直接流入配置於比該沖洗氣體控制閥更下游側的該清潔液控制閥及該原料液控制閥之各閥孔口內的形狀。
简体摘要：在对使原料液变成汽化之汽化器供给该原料液的汽化器之原料液供给单元，具有在内部形成流路之岐管、及被安装于该岐管的复数流体控制阀，该复数流体控制阀包含有控制对该流路之原料液的供给之原料液控制阀、控制对该流路之清洁液的供给之清洁液控制阀、控制对该流路之冲洗气体的供给之冲洗气体控制阀、以及控制在该流路流动之流体往该汽化器的引入之汽化器引入控制阀，从该岐管之上游侧，按照该冲洗气体控制阀、该清洁液控制阀、该原料液控制阀、以及该汽化器引入控制阀的顺序安装于该岐管，该流路和与该复数流体控制阀各自所具备之各阀孔连通的阀孔口连接，作成从该冲洗气体控制阀所供给之冲洗气体直接流入配置于比该冲洗气体控制阀更下游侧的该清洁液控制阀及该原料液控制阀之各阀孔口内的形状。

3. 发明专利

TWI414763B 氣體流量檢定裝置有权
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TWI414763B
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：TW100101735
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：小澤幸生 , OZAWA, YUKIO , 伊藤稔 , ITO, MINORU , 土居廣樹 , DOI, HIROKI , 中田明子 , NAKADA, AKIKO
IPC分类号： G01F1/86
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249

4. 发明专利

TW201126144A 氣體流量檢定裝置审中-公开
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TW201126144A
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：TW100101735
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司
发明人：小澤幸生 , 伊藤稔 , 土居廣樹 , 中田明子
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
摘要：本發明為了提供可提高對於流量檢定之可靠性的氣體流量檢定裝置,作成一種氣體流量檢定裝置,具有:第一關斷閥12,和流量控制器10連接,並輸入氣體;第二關斷閥13,輸出氣體;連通構件18,使第一關斷閥12和第二關斷閥13連通;壓力感測器14,檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之壓力;溫度檢測器15,檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之溫度;以及控制手段16,使用壓力感測器14所檢測之壓力檢測結果和溫度檢測器15所檢測的溫度檢測結果,檢定在流量控制器10流動之氣體的流量,使由第一關斷閥12之閥座22至第二關斷閥13的閥座28為止之體積Vk小於由流量控制器10的出口至第一關斷閥12之閥座22為止的體積Ve。
简体摘要：本发明为了提供可提高对于流量检定之可靠性的气体流量检定设备,作成一种气体流量检定设备,具有:第一关断阀12,和流量控制器10连接,并输入气体;第二关断阀13,输出气体;连通构件18,使第一关断阀12和第二关断阀13连通;压力传感器14,检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之压力;温度检测器15,检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之温度;以及控制手段16,使用压力传感器14所检测之压力检测结果和温度检测器15所检测的温度检测结果,检定在流量控制器10流动之气体的流量,使由第一关断阀12之阀座22至第二关断阀13的阀座28为止之体积Vk小于由流量控制器10的出口至第一关断阀12之阀座22为止的体积Ve。

5. 发明专利

TWI329191B 流量控制器之絕對流量的校正系統有权
简体标题：流量控制器之绝对流量的校正系统
公开(公告)号：TWI329191B
公开(公告)日：2010-08-21
申请号：TW095118406
申请日：2006-05-24
申请人： CKD股份有限公司
发明人：高阪明子 , 伊藤稔 , 森洋司 , 土居廣樹
IPC分类号： G01F , G05D
CPC分类号： G05D7/0647 , G05D7/0658
摘要：一種流量控制器之絕對流量的校正系統，為了可利用處理氣體校正流量控制器之高精度的絕對流量，具有：排氣流路31，將第一切斷閥21及第二切斷閥22之間的氣體流路30和真空泵14之入口連通；第三切斷閥23、壓力感測器11、溫度感測器12、以及第四切斷閥24，設置於排氣流路31；及校正用控制裝置，連接那些元件，並記憶氣體種類固有之壓縮因子資料、及由質量流量控制器10的出口、第二切斷閥22、及第四切斷閥24所形成之既定的空間之容積值；從在第一量測時之壓力P1、溫度T1、與壓力P1和溫度T1對應之第一壓縮因子Z1、及容積V求得質量G1；從在第二量測時之壓力P2、溫度T2、與壓力P2和溫度T2對應之第二壓縮因子Z2、及容積V求得質量G2；根據質量G1和質量G2之差，校正質量流量控制器10的絕對流量。
简体摘要：一种流量控制器之绝对流量的校正系统，为了可利用处理气体校正流量控制器之高精度的绝对流量，具有：排气流路31，将第一切断阀21及第二切断阀22之间的气体流路30和真空泵14之入口连通；第三切断阀23、压力传感器11、温度传感器12、以及第四切断阀24，设置于排气流路31；及校正用控制设备，连接那些组件，并记忆气体种类固有之压缩因子数据、及由质量流量控制器10的出口、第二切断阀22、及第四切断阀24所形成之既定的空间之容积值；从在第一量测时之压力P1、温度T1、与压力P1和温度T1对应之第一压缩因子Z1、及容积V求得质量G1；从在第二量测时之压力P2、温度T2、与压力P2和温度T2对应之第二压缩因子Z2、及容积V求得质量G2；根据质量G1和质量G2之差，校正质量流量控制器10的绝对流量。

6. 发明专利

TWI354096B 氣體流量檢定裝置有权
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TWI354096B
公开(公告)日：2011-12-11
申请号：TW096106678
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司
发明人：小澤幸生 , 伊藤稔 , 土居廣樹 , 中田明子
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
摘要：本發明為了提供可提高對於流量檢定之可靠性的氣體流量檢定裝置，作成一種氣體流量檢定裝置，具有：第一關斷閥12，和流量控制器10連接，並輸入氣體；第二關斷閥13，輸出氣體；連通構件18，使第一關斷閥12和第二關斷閥13連通；壓力感測器14，檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之壓力；溫度檢測器15，檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之溫度；以及控制手段16，使用壓力感測器14所檢測之壓力檢測結果和溫度檢測器15所檢測的溫度檢測結果，檢定在流量控制器10流動之氣體的流量，使由第一關斷閥12之閥座22至第二關斷閥13的閥座28為止之體積Vk小於由流量控制器10的出口至第一關斷閥12之閥座22為止的體積Ve。
简体摘要：本发明为了提供可提高对于流量检定之可靠性的气体流量检定设备，作成一种气体流量检定设备，具有：第一关断阀12，和流量控制器10连接，并输入气体；第二关断阀13，输出气体；连通构件18，使第一关断阀12和第二关断阀13连通；压力传感器14，检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之压力；温度检测器15，检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之温度；以及控制手段16，使用压力传感器14所检测之压力检测结果和温度检测器15所检测的温度检测结果，检定在流量控制器10流动之气体的流量，使由第一关断阀12之阀座22至第二关断阀13的阀座28为止之体积Vk小于由流量控制器10的出口至第一关断阀12之阀座22为止的体积Ve。

7. 发明专利

TW552490B 脈衝式流量調整裝置及脈衝式流量調整方法有权
简体标题：脉冲式流量调整设备及脉冲式流量调整方法
公开(公告)号：TW552490B
公开(公告)日：2003-09-11
申请号：TW091123809
申请日：2002-10-16
申请人： CKD股份有限公司
发明人：繩田德秀 , 須藤良久 , 纈雅之 , 渡邊雅之 , 土居廣樹
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0647 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86421
摘要：一種流量調整裝置及流量調整方法，其中，藉由使用所謂脈衝式之新穎方式，以解除習知裝置之限制。在將脈衝(在實施第1遮斷閥(12)之開閉動作後，實施第2遮斷閥(17)之開閉動作)加以反覆之同時，以利用壓力偵知器(14)所測得的氣體充填容積(13)之製程氣體充填後壓力和排出後壓力P等為基礎，計算出每單位時間，自第2遮斷閥(17)排出之製程氣體體積流量Q；更有甚者，藉由改變脈衝之形態，以調整每單位時間，自第2遮斷閥(17)排出之製程氣體體積流量Q。伍、(一)、本案代表圖為：第 1 圖
(二)、本案代表圖之元件代表符號簡單說明：
11~手動閥； 12~第1遮斷閥；
13~氣體充填容積； 14~壓力偵知器；
15~溫度偵知器； 17~第2遮斷閥；
19~控制器。
简体摘要：一种流量调整设备及流量调整方法，其中，借由使用所谓脉冲式之新颖方式，以解除习知设备之限制。在将脉冲(在实施第1遮断阀(12)之开闭动作后，实施第2遮断阀(17)之开闭动作)加以反复之同时，以利用压力侦知器(14)所测得的气体充填容积(13)之制程气体充填后压力和排出后压力P等为基础，计算出每单位时间，自第2遮断阀(17)排出之制程气体体积流量Q；更有甚者，借由改变脉冲之形态，以调整每单位时间，自第2遮断阀(17)排出之制程气体体积流量Q。伍、(一)、本案代表图为：第 1 图 (二)、本案代表图之组件代表符号简单说明： 11~手动阀； 12~第1遮断阀； 13~气体充填容积； 14~压力侦知器； 15~温度侦知器； 17~第2遮断阀； 19~控制器。

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