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1. 发明专利

TWI381421B 流量檢定故障診斷裝置、流量檢定故障診斷系統、流量檢定故障診斷方法以及電腦可讀取媒體產品有权
简体标题：流量检定故障诊断设备、流量检定故障诊断系统、流量检定故障诊断方法以及电脑可读取媒体产品
公开(公告)号：TWI381421B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW097139400
申请日：2008-10-14
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：中田明子 , NAKADA, AKIKO , 加藤啟介 , KATO, KEISUKE , 杉野彰仁 , SUGINO, AKIHITO , 土居広樹 , DOI, HIROKI
IPC分类号： H01L21/02 , G05D7/06
CPC分类号： G01F25/0038 , G01F25/0053

2. 发明专利

TWI460570B 氣體流量監視系統有权
简体标题：气体流量监视系统
公开(公告)号：TWI460570B
公开(公告)日：2014-11-11
申请号：TW101133244
申请日：2012-09-12
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：中田明子 , NAKADA, AKIKO , 森洋司 , MORI, YOJI , 城山直也 , SHIROYAMA, NAOYA , 伊藤稔 , ITO, MINORU
IPC分类号： G05D7/00 , G01F25/00
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/00 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/87917

3. 发明专利

TWI368935B 流量檢測系統及流量檢測方法 FLOW VERIFICATION SYSTEM AND FLOW VERIFICATION METHOD 有权
简体标题：流量检测系统及流量检测方法 FLOW VERIFICATION SYSTEM AND FLOW VERIFICATION METHOD
公开(公告)号：TWI368935B
公开(公告)日：2012-07-21
申请号：TW097127112
申请日：2008-07-17
申请人： CKD股份有限公司
发明人：中田明子 , 伊藤一寿 , 杉野彰仁
IPC分类号： H01L , G05D
CPC分类号： G01F1/34 , G05D7/0635
摘要：本發明提供一種流量檢測系統，用以檢測一氣體管路系統之流量，包括：一第一阻斷閥；一流量控制閥，設置於一第一阻斷閥下游端；一壓力感測器，用以量測由流量控制閥下游端之壓力，且流量檢測系統依據壓力感測器所量得之壓力以量測流量。此流量檢測系統更包括：一基準儲存裝置，於流量控制閥正常運作下，應用藉由總和由壓力感測器量得之壓力值所計算得出用以儲存之一基準值及一異常偵測裝置，當製程氣體供至流量控制裝置過程中，流經第一阻斷閥並受流量控制閥控制流量以供應至壓力感測器，藉由總和壓力感測器量得之壓力值以計算一總和壓力值且比較總和壓力值與基準值，用以偵測製程氣體的異常流量。
简体摘要：本发明提供一种流量检测系统，用以检测一气体管路系统之流量，包括：一第一阻断阀；一流量控制阀，设置于一第一阻断阀下游端；一压力传感器，用以量测由流量控制阀下游端之压力，且流量检测系统依据压力传感器所量得之压力以量测流量。此流量检测系统更包括：一基准存储设备，于流量控制阀正常运作下，应用借由总和由压力传感器量得之压力值所计算得出用以存储之一基准值及一异常侦测设备，当制程气体供至流量控制设备过程中，流经第一阻断阀并受流量控制阀控制流量以供应至压力传感器，借由总和压力传感器量得之压力值以计算一总和压力值且比较总和压力值与基准值，用以侦测制程气体的异常流量。

4. 发明专利

TW201327080A 氣體流量監視系統审中-公开
简体标题：气体流量监视系统
公开(公告)号：TW201327080A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101133244
申请日：2012-09-12
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：中田明子 , NAKADA, AKIKO , 森洋司 , MORI, YOJI , 城山直也 , SHIROYAMA, NAOYA , 伊藤稔 , ITO, MINORU
IPC分类号： G05D7/00 , G01F25/00
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/00 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/87917
摘要：在配設於使氣體經由流量控制機器後供給至既定處理室的複數條處理氣體管路，並藉由測量在流量控制機器的前後之氣體壓力的下降或上昇，而監視流量控制機器的流量的氣體流量監視系統，包括：第1流量監視單元，係在處理氣體管路中所選擇之任意的處理氣體管路之流量控制機器的上游側流路所具備；第2流量監視單元，係在從處理室之上游側流路所分支的排出流路所具備；及控制部，係下指令成藉第1流量監視單元一直監視流量控制機器的流量，而且在第1流量監視單元偵測到複數次流量異常時藉第2流量監視單元再檢查流量控制機器有無流量異常。
简体摘要：在配设于使气体经由流量控制机器后供给至既定处理室的复数条处理气体管路，并借由测量在流量控制机器的前后之气体压力的下降或上升，而监视流量控制机器的流量的气体流量监视系统，包括：第1流量监视单元，系在处理气体管路中所选择之任意的处理气体管路之流量控制机器的上游侧流路所具备；第2流量监视单元，系在从处理室之上游侧流路所分支的排出流路所具备；及控制部，系下指令成藉第1流量监视单元一直监视流量控制机器的流量，而且在第1流量监视单元侦测到复数次流量异常时藉第2流量监视单元再检查流量控制机器有无流量异常。

5. 发明专利

TWI354096B 氣體流量檢定裝置有权
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TWI354096B
公开(公告)日：2011-12-11
申请号：TW096106678
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司
发明人：小澤幸生 , 伊藤稔 , 土居廣樹 , 中田明子
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
摘要：本發明為了提供可提高對於流量檢定之可靠性的氣體流量檢定裝置，作成一種氣體流量檢定裝置，具有：第一關斷閥12，和流量控制器10連接，並輸入氣體；第二關斷閥13，輸出氣體；連通構件18，使第一關斷閥12和第二關斷閥13連通；壓力感測器14，檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之壓力；溫度檢測器15，檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之溫度；以及控制手段16，使用壓力感測器14所檢測之壓力檢測結果和溫度檢測器15所檢測的溫度檢測結果，檢定在流量控制器10流動之氣體的流量，使由第一關斷閥12之閥座22至第二關斷閥13的閥座28為止之體積Vk小於由流量控制器10的出口至第一關斷閥12之閥座22為止的體積Ve。
简体摘要：本发明为了提供可提高对于流量检定之可靠性的气体流量检定设备，作成一种气体流量检定设备，具有：第一关断阀12，和流量控制器10连接，并输入气体；第二关断阀13，输出气体；连通构件18，使第一关断阀12和第二关断阀13连通；压力传感器14，检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之压力；温度检测器15，检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之温度；以及控制手段16，使用压力传感器14所检测之压力检测结果和温度检测器15所检测的温度检测结果，检定在流量控制器10流动之气体的流量，使由第一关断阀12之阀座22至第二关断阀13的阀座28为止之体积Vk小于由流量控制器10的出口至第一关断阀12之阀座22为止的体积Ve。

6. 发明专利

TWI541626B 氣體流量檢定系統及氣體流量檢定單元有权
简体标题：气体流量检定系统及气体流量检定单元
公开(公告)号：TWI541626B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW101115074
申请日：2012-04-27
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：中田明子 , NAKADA, AKIKO
IPC分类号： G05D7/01 , H01L21/67 , G01F1/34
CPC分类号： G01F1/34 , G01F25/0053 , G05D7/0641

7. 发明专利

TWI414763B 氣體流量檢定裝置有权
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TWI414763B
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：TW100101735
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：小澤幸生 , OZAWA, YUKIO , 伊藤稔 , ITO, MINORU , 土居廣樹 , DOI, HIROKI , 中田明子 , NAKADA, AKIKO
IPC分类号： G01F1/86
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249

8. 发明专利

TW201314402A 氣體流量檢定系統及氣體流量檢定單元审中-公开
简体标题：气体流量检定系统及气体流量检定单元
公开(公告)号：TW201314402A
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：TW101115074
申请日：2012-04-27
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：中田明子 , NAKADA, AKIKO
IPC分类号： G05D7/01 , H01L21/67 , G01F1/34
CPC分类号： G01F1/34 , G01F25/0053 , G05D7/0641
摘要：具有：複數製程氣體管線，使來自製程氣體供給源之氣體，經由第1管線遮斷閥、第2管線遮斷閥及流量控制設備，以供給到製程腔體；以及共用氣體管線，使來自共用氣體供給源之氣體，經由第2管線遮斷閥及流量控制設備以排出地，分歧連接到前述製程氣體管線；共用氣體管線具有共用遮斷閥、測量用桶槽、第1壓力偵知器及壓力調整閥，當關閉第1管線遮斷閥及共用遮斷閥時，使測量用桶槽內之氣體壓力下降，以第1壓力偵知器測量，藉此，進行流量控制設備之流量檢定，壓力調整閥回饋控制該壓力調整閥之二次側壓力。
简体摘要：具有：复数制程气体管线，使来自制程气体供给源之气体，经由第1管线遮断阀、第2管线遮断阀及流量控制设备，以供给到制程腔体；以及共享气体管线，使来自共享气体供给源之气体，经由第2管线遮断阀及流量控制设备以排出地，分歧连接到前述制程气体管线；共享气体管线具有共享遮断阀、测量用桶槽、第1压力侦知器及压力调整阀，当关闭第1管线遮断阀及共享遮断阀时，使测量用桶槽内之气体压力下降，以第1压力侦知器测量，借此，进行流量控制设备之流量检定，压力调整阀回馈控制该压力调整阀之二次侧压力。

9. 发明专利

TW201126144A 氣體流量檢定裝置审中-公开
简体标题：气体流量检定设备
公开(公告)号：TW201126144A
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：TW100101735
申请日：2007-02-27
申请人： CKD股份有限公司
发明人：小澤幸生 , 伊藤稔 , 土居廣樹 , 中田明子
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
摘要：本發明為了提供可提高對於流量檢定之可靠性的氣體流量檢定裝置,作成一種氣體流量檢定裝置,具有:第一關斷閥12,和流量控制器10連接,並輸入氣體;第二關斷閥13,輸出氣體;連通構件18,使第一關斷閥12和第二關斷閥13連通;壓力感測器14,檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之壓力;溫度檢測器15,檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之溫度;以及控制手段16,使用壓力感測器14所檢測之壓力檢測結果和溫度檢測器15所檢測的溫度檢測結果,檢定在流量控制器10流動之氣體的流量,使由第一關斷閥12之閥座22至第二關斷閥13的閥座28為止之體積Vk小於由流量控制器10的出口至第一關斷閥12之閥座22為止的體積Ve。
简体摘要：本发明为了提供可提高对于流量检定之可靠性的气体流量检定设备,作成一种气体流量检定设备,具有:第一关断阀12,和流量控制器10连接,并输入气体;第二关断阀13,输出气体;连通构件18,使第一关断阀12和第二关断阀13连通;压力传感器14,检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之压力;温度检测器15,检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之温度;以及控制手段16,使用压力传感器14所检测之压力检测结果和温度检测器15所检测的温度检测结果,检定在流量控制器10流动之气体的流量,使由第一关断阀12之阀座22至第二关断阀13的阀座28为止之体积Vk小于由流量控制器10的出口至第一关断阀12之阀座22为止的体积Ve。

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