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21. 发明专利

TW201127734A 頂部搬送車 OVERHEAD TRANSPORT VEHICLE 审中-公开
简体标题：顶部搬送车 OVERHEAD TRANSPORT VEHICLE
公开(公告)号：TW201127734A
公开(公告)日：2011-08-16
申请号：TW099136472
申请日：2010-10-26
申请人：大福股份有限公司
发明人：和田吉成
IPC分类号： B66C , B60M
CPC分类号： B61B3/02 , B65G1/0464 , B65G2201/0297 , H01L21/6773 , H01L21/67733
摘要：本發明之目的係提供行走部可沿著設定移動路徑平穩地行走，並可精確地進行物品之交接之頂部搬送車。本發明之頂部搬送車包含有分別接觸引導軌道左右橫側部，將行走部沿著設定移動路徑引導之一對引導體，該頂部搬送車並包含有一對接觸體及切換部，該一對接觸體係以可沿著與行走部之行走方向垂直相交之寬度方向，進行相互遠離之移動及相互接近之移動之狀態支撐於行走部者；該切換部係為切換成保持狀態及保持解除狀態，而使前述一對接觸體分別移動成相互遠離及相互接近，該保持狀態係藉使一對接觸體分別接觸引導軌道之左右橫側部，將在前述寬度方向之行走部相對於引導軌道之位置定位保持於物品移載位置者，該保持解除狀態係使一對接觸體從引導軌道遠離者。
简体摘要：本发明之目的系提供行走部可沿着设置移动路径平稳地行走，并可精确地进行物品之交接之顶部搬送车。本发明之顶部搬送车包含有分别接触引导轨道左右横侧部，将行走部沿着设置移动路径引导之一对引导体，该顶部搬送车并包含有一对接触体及切换部，该一对接触体系以可沿着与行走部之行走方向垂直相交之宽度方向，进行相互远离之移动及相互接近之移动之状态支撑于行走部者；该切换部系为切换成保持状态及保持解除状态，而使前述一对接触体分别移动成相互远离及相互接近，该保持状态系藉使一对接触体分别接触引导轨道之左右横侧部，将在前述宽度方向之行走部相对于引导轨道之位置定位保持于物品移载位置者，该保持解除状态系使一对接触体从引导轨道远离者。

22. 发明专利

TWI344438B 物品搬運設備 ARTICLE TRANSPORT FACILITY 有权
简体标题：物品搬运设备 ARTICLE TRANSPORT FACILITY
公开(公告)号：TWI344438B
公开(公告)日：2011-07-01
申请号：TW095127298
申请日：2006-07-26
申请人：大福股份有限公司
发明人：乾吉隆
IPC分类号： B65G , B61B , B61D
CPC分类号： B65G47/5104 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67706 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , Y10S414/14
摘要：本發明係提供一種不僅結構簡單，亦可操作變更物品支撐體至物品保管用位置與物品交付接收用位置之物品搬運設備。該物品搬運設備包含有：移動體，係用於搬運物品並具有可保持物品之保持部，且可沿著移動路徑自由移動者；及物品支撐體，係用於保管物品，且可於物品交付接收用位置與物品保管用位置之間自由變更位置者，而該物品交付接收位置係用以從停止在與物品支撐體對應的物品移送處之移動體之保持部接收物品、及將物品交付至保持部之位置；又，移動體設置有操作機構，且該操作機構可在停止於物品移送處之狀態下，操作變更物品支撐體至物品保管用位置與物品交付接收用位置。
简体摘要：本发明系提供一种不仅结构简单，亦可操作变更物品支撑体至物品保管用位置与物品交付接收用位置之物品搬运设备。该物品搬运设备包含有：移动体，系用于搬运物品并具有可保持物品之保持部，且可沿着移动路径自由移动者；及物品支撑体，系用于保管物品，且可于物品交付接收用位置与物品保管用位置之间自由变更位置者，而该物品交付接收位置系用以从停止在与物品支撑体对应的物品移送处之移动体之保持部接收物品、及将物品交付至保持部之位置；又，移动体设置有操作机构，且该操作机构可在停止于物品移送处之状态下，操作变更物品支撑体至物品保管用位置与物品交付接收用位置。

23. 发明专利

TWI330166B 用以運送基材承載件之方法與設備 METHODS AND APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS 有权
简体标题：用以运送基材承载件之方法与设备 METHODS AND APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS
公开(公告)号：TWI330166B
公开(公告)日：2010-09-11
申请号：TW093101777
申请日：2004-01-27
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：萊斯麥可R , 勞倫斯羅伯特B , 伊里亞德馬丁R , 哈德俊傑佛利C , 英格哈德特艾力克A
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G17/20 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67769 , H01L21/67778 , Y10S414/135
摘要：依據本發明一第一特點，提供一種適於在一半導體裝置製造設施中傳遞基材承載件之第一輸送帶系統。該第一輸送帶系統包括一帶狀件，該帶狀件係沿該半導體裝置製造設施之至少一部份形成一封閉迴路。該帶狀件係適於(1)在一水平面內為彈性且在一垂直面內為剛性；及(2)在該半導體裝置製造設施之至少一部份中運送複數個基材承載件。本發明提供許多其他特點，以及依據此等與其他特點之系統、方法與電腦程式產品。
简体摘要：依据本发明一第一特点，提供一种适于在一半导体设备制造设施中传递基材承载件之第一输送带系统。该第一输送带系统包括一带状件，该带状件系沿该半导体设备制造设施之至少一部份形成一封闭回路。该带状件系适于(1)在一水平面内为弹性且在一垂直面内为刚性；及(2)在该半导体设备制造设施之至少一部份中运送复数个基材承载件。本发明提供许多其他特点，以及依据此等与其他特点之系统、方法与电脑进程产品。

24. 发明专利

TW200833585A 使用回饋在移動輸送裝置上裝載與卸載基材承載件的方法及設備 METHODS AND APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING SUBSTRATE CARRIERS ON MOVING CONVEYORS USING FEEDBACK 审中-公开
简体标题：使用回馈在移动输送设备上装载与卸载基材承载件的方法及设备 METHODS AND APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING SUBSTRATE CARRIERS ON MOVING CONVEYORS USING FEEDBACK
公开(公告)号：TW200833585A
公开(公告)日：2008-08-16
申请号：TW096137321
申请日：2007-10-04
申请人：應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：萊斯麥可R RICE, MICHAEL R. , 英格寒特艾力克A ENGLHARDT ERIC A. , 休根斯傑佛瑞C HUDGENS JEFFREY C. , 卡特威克可兒文 KATWYK KIRK VAN
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： H01L21/67769 , H01L21/67259 , H01L21/67724 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67775 , H01L21/681
摘要：本發明提出用於裝載與卸載基材承載件進出輸送系統的系統及方法。本發明包括一基材承載件搬運器,用以在停靠站與輸送系統之間傳送基材承載件。基材承載件搬運器包括一端效器用以支撐基材承載件;一控制器,其耦接並且控制基材承載件搬運器,以於移動基材承載件時,使基材承載件搬運器的端效器可選擇嚙合與脫離基材承載件而進出輸送系統;以及一感測器,其耦接至控制器並且提供訊號給控制器,以指示基材承載件的資訊。若欲在基材承載件搬運器的一次裝載或卸載路程中進行調整,則控制器依據感測器提供的訊號來調整基材承載件搬運器的運作。在此尚提出多種其他態樣。
简体摘要：本发明提出用于装载与卸载基材承载件进出输送系统的系统及方法。本发明包括一基材承载件搬运器,用以在停靠站与输送系统之间发送基材承载件。基材承载件搬运器包括一端效器用以支撑基材承载件;一控制器,其耦接并且控制基材承载件搬运器,以于移动基材承载件时,使基材承载件搬运器的端效器可选择啮合与脱离基材承载件而进出输送系统;以及一传感器,其耦接至控制器并且提供信号给控制器,以指示基材承载件的信息。若欲在基材承载件搬运器的一次装载或卸载路程中进行调整,则控制器依据传感器提供的信号来调整基材承载件搬运器的运作。在此尚提出多种其他态样。

25. 发明专利

TW200738531A 高架行駛車輛系統审中-公开
简体标题：高架行驶车辆系统
公开(公告)号：TW200738531A
公开(公告)日：2007-10-16
申请号：TW095129105
申请日：2006-08-08
申请人：村田機械股份有限公司 MURATA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
发明人：鹽飽保 SHIWAKU, TAMOTSU
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/67775 , H01L21/67715 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67769
摘要：【發明構成】本發明於行車軌道10的兩側設有緩衝容器6、8,高架行駛車輛4設有可朝左右雙方進退自如的標量臂20,構成為可使旋轉部22和昇降驅動部24進出自如於任一緩衝容器6、8的上部。【發明效果】可提昇高架行駛車輛系統的暫時收納保管能力。
简体摘要：【发明构成】本发明于行车轨道10的两侧设有缓冲容器6、8,高架行驶车辆4设有可朝左右双方进退自如的标量臂20,构成为可使旋转部22和升降驱动部24进出自如于任一缓冲容器6、8的上部。【发明效果】可提升高架行驶车辆系统的暂时收纳保管能力。

26. 发明专利

TW200420483A 用於懸吊一基材承載件之高架傳輸凸緣與支撐件 OVERHEAD TRANSFER FLANGE AND SUPPORT FOR SUSPENDING A SUBSTRATE CARRIER 审中-公开
简体标题：用于悬吊一基材承载件之高架传输凸缘与支撑件 OVERHEAD TRANSFER FLANGE AND SUPPORT FOR SUSPENDING A SUBSTRATE CARRIER
公开(公告)号：TW200420483A
公开(公告)日：2004-10-16
申请号：TW093101778
申请日：2004-01-27
申请人：應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：萊斯麥可R RICE, MICHAEL R. , 伊里亞德馬丁R ELLIOTT, MARTIN R. , 勞倫斯羅伯特B LOWRANCE, ROBERT B. , 哈德俊傑佛利C HUDGENS, JEFFREY C. , 英格哈德特艾力克A ENGLHARDT, ERIC ANDREW
IPC分类号： B65H
CPC分类号： H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67769 , H01L21/67778
摘要：在第一態樣中，一第一設備被提供來支撐一基材承載件。該第一設備包括一被設計來耦合至一基材承載本體的高架傳輸凸緣及一高架承載件支撐件。該高架傳輸凸緣具有一第一側及一第二側其與第一側相對且比第一側寬。許多其它的態樣亦被提供。
简体摘要：在第一态样中，一第一设备被提供来支撑一基材承载件。该第一设备包括一被设计来耦合至一基材承载本体的高架传输凸缘及一高架承载件支撑件。该高架传输凸缘具有一第一侧及一第二侧其与第一侧相对且比第一侧宽。许多其它的态样亦被提供。

27. 发明专利

TW562772B 無人搬運車,無人搬運車系統以及晶圓搬運方法有权
简体标题：无人搬运车,无人搬运车系统以及晶圆搬运方法
公开(公告)号：TW562772B
公开(公告)日：2003-11-21
申请号：TW091102688
申请日：2002-02-18
申请人：村田機械股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司
发明人：福田功 , 秋山收司
IPC分类号： H01L , B65G
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67294 , H01L21/67724 , H01L21/6773 , Y10S414/136 , Y10S414/137
摘要：本發明係以提昇在半導體製造工廠等的各站之間，自動搬送．移載半導體晶圓之無人搬運車的作業性為課題。
藉由移載裝置3將晶圓10收納於緩衝卡匣5後，使無人搬運車1朝目的站移動，再藉由移載裝置3將緩衝卡匣5內之晶圓10取出並移載至姿勢對齊裝置4，藉由該姿勢對齊裝置4調整晶圓10之姿勢．方向後，藉由OC R43讀取晶圓10之ID資訊，並由移載柄31保持已讀取其ID資訊的晶圓10，此時由另一個移載柄31移除被放置於站內的其他晶圓10，並在該站採取預定之姿勢．方向移載該已讀取ID資訊之晶圓10的同時，可控制其ID資訊發送至該站。
简体摘要：本发明系以提升在半导体制造工厂等的各站之间，自动搬送．移载半导体晶圆之无人搬运车的作业性为课题。借由移载设备3将晶圆10收纳于缓冲卡匣5后，使无人搬运车1朝目的站移动，再借由移载设备3将缓冲卡匣5内之晶圆10取出并移载至姿势对齐设备4，借由该姿势对齐设备4调整晶圆10之姿势．方向后，借由OC R43读取晶圆10之ID信息，并由移载柄31保持已读取其ID信息的晶圆10，此时由另一个移载柄31移除被放置于站内的其他晶圆10，并在该站采取预定之姿势．方向移载该已读取ID信息之晶圆10的同时，可控制其ID信息发送至该站。

28. 发明专利

TW505605B 載入/出口傳遞機構失效
简体标题：加载/出口传递机构
公开(公告)号：TW505605B
公开(公告)日：2002-10-11
申请号：TW088122313
申请日：2000-01-10
申请人：艾斯特科技有限公司
发明人：安東尼彭洛拉 , 理察哥德
IPC分类号： H01L , B65G
CPC分类号： H01L21/67775 , H01L21/67706 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67763 , H01L21/67766 , H01L21/67769
摘要：一種用來在一運送器與一站之間移動一個或多個物品的傳遞系統。此系統包含具有升降機構的傳遞總成，而升降機構形成為在物品由運送器托運時嚙合物品，將物品升高至在支座上方的升高位置，以及將物品從升高位置降低至運送器。此總成也包含移位裝置，其形成為將物品從升高位置移動至一站，將物品定位在該站處，以及使物品從該站轉回至在運送器上方的升高位置。此系統也包含在具有一對隔開的軌條的一運送器與定位於運送器的一側的一站之間傳遞物品的方法。此方法包含在軌條之間嚙合物品的底側且將物品升高至升高位置，以及在升高位置與站附近的位置之間於垂直於運送器的方向移動物品。
简体摘要：一种用来在一运送器与一站之间移动一个或多个物品的传递系统。此系统包含具有直升电梯构的传递总成，而直升电梯构形成为在物品由运送器托运时啮合物品，将物品升高至在支座上方的升高位置，以及将物品从升高位置降低至运送器。此总成也包含移位设备，其形成为将物品从升高位置移动至一站，将物品定位在该站处，以及使物品从该站转回至在运送器上方的升高位置。此系统也包含在具有一对隔开的轨条的一运送器与定位于运送器的一侧的一站之间传递物品的方法。此方法包含在轨条之间啮合物品的底侧且将物品升高至升高位置，以及在升高位置与站附近的位置之间于垂直于运送器的方向移动物品。

29. 发明专利

TW201730076A 物品搬送設備审中-公开
简体标题：物品搬送设备
公开(公告)号：TW201730076A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106103780
申请日：2017-02-06
申请人：大福股份有限公司 , DAIFUKU CO., LTD.
发明人：衣川知孝 , KINUGAWA, TOMOTAKA , 大塚洋 , OTSUKA, HIROSHI
IPC分类号： B65G43/08 , B65G47/62
CPC分类号： H01L21/67715 , B61L25/025 , B61L27/04 , B61L2201/00 , H01L21/67706 , H01L21/67724 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733
摘要：控制裝置以藉由第1檢測部檢測出物品搬送車於第1路徑行進並進入了管理區域、且藉由第2檢測部或第3檢測部檢測出於選擇路徑存在另一物品搬送車為條件，執行停止控制，控制裝置以藉由第1檢測部檢測出物品搬送車於第1路徑行進並進入了管理區域、且未藉由第2檢測部或第3檢測部檢測出於選擇路徑存在另一物品搬送車為條件，執行行進控制。
简体摘要：控制设备以借由第1检测部检测出物品搬送车于第1路径行进并进入了管理区域、且借由第2检测部或第3检测部检测出于选择路径存在另一物品搬送车为条件，运行停止控制，控制设备以借由第1检测部检测出物品搬送车于第1路径行进并进入了管理区域、且未借由第2检测部或第3检测部检测出于选择路径存在另一物品搬送车为条件，运行行进控制。

30. 发明专利

TW201727798A 具有水平凹槽實施方式及/或流動式噴淋頭之晶圓傳送微氣候技術及設備审中-公开
简体标题：具有水平凹槽实施方式及/或流动式喷淋头之晶圆发送微气候技术及设备
公开(公告)号：TW201727798A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105132498
申请日：2016-10-07
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：梵古詹姆斯史帝芬 , VAN GOGH, JAMES STEPHEN , 克里斯多芬森康迪 , KRISTOFFERSEN, CANDI , 沙萊克莫森 , SALEK, MOHSEN , 西恩布蘭登 , SENN, BRANDON , 席恩哈密特 , SINGH, HARMEET , 威特科威克德瑞克約翰 , WITKOWICKI, DEREK JOHN , 布蘭克理查 M , BLANK, RICHARD M. , 古德理查霍華 , GOULD, RICHARD HOWARD , 基萊斯伊弗萊恩 , QUILES, EFRAIN
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67393 , H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67161 , H01L21/67178 , H01L21/6719 , H01L21/67201 , H01L21/67326 , H01L21/67389 , H01L21/6773 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67778 , H01L21/67781 , H01L21/687 , H01L21/68707
摘要：揭露用以在半導體製程室之外部環境中於複數半導體晶圓周圍形成緩衝氣體微氣候的系統與技術。此類系統可具有凹槽門，凹槽門使得晶圓能自多晶圓堆疊中被取出並限制緩衝氣體流出多晶圓儲存系統及緩衝氣體分配器，緩衝氣體分配器在用以傳輸晶圓之機器手臂的至少部分移動期間與此類機器手臂協同移動。
简体摘要：揭露用以在半导体制程室之外部环境中于复数半导体晶圆周围形成缓冲气体微气候的系统与技术。此类系统可具有凹槽门，凹槽门使得晶圆能自多晶圆堆栈中被取出并限制缓冲气体流出多晶圆存储系统及缓冲气体分配器，缓冲气体分配器在用以传输晶圆之机器手臂的至少部分移动期间与此类机器手臂协同移动。

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