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    • 25. 发明专利
    • 記憶體結構及其製造方法
    • 内存结构及其制造方法
    • TW201633462A
    • 2016-09-16
    • TW104107128
    • 2015-03-06
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 葉騰豪YEH, TENG-HAO施彥豪SHIH, YEN-HAO胡志瑋HU, CHIH-WEI
    • H01L21/8239H01L23/52
    • 在此提供一種記憶體結構及其製造方法。這種記憶體結構包括一基板、複數堆疊層、複數記憶體層、一導電材料及複數導線。堆疊層位於基板上。堆疊層藉由複數溝槽彼此分離。堆疊層分別包括交替堆疊的複數導電串線及複數絕緣串線。記憶體層分別共形覆蓋堆疊層。導電材料位於溝槽中及堆疊層上。在溝槽中的導電材料在該些溝槽各者中形成一或多個孔洞。導線位於導電材料上。導線分別包括一第一部分及一第二部分,第一部分及第二部分彼此連接,第一部分沿著垂直於堆疊層之延伸方向的方向延伸,第二部分沿著堆疊層之延伸方向延伸。
    • 在此提供一种内存结构及其制造方法。这种内存结构包括一基板、复数堆栈层、复数内存层、一导电材料及复数导线。堆栈层位于基板上。堆栈层借由复数沟槽彼此分离。堆栈层分别包括交替堆栈的复数导电串线及复数绝缘串线。内存层分别共形覆盖堆栈层。导电材料位于沟槽中及堆栈层上。在沟槽中的导电材料在该些沟槽各者中形成一或多个孔洞。导线位于导电材料上。导线分别包括一第一部分及一第二部分,第一部分及第二部分彼此连接,第一部分沿着垂直于堆栈层之延伸方向的方向延伸,第二部分沿着堆栈层之延伸方向延伸。
    • 29. 发明专利
    • 半導體結構及其製造方法
    • 半导体结构及其制造方法
    • TW201426992A
    • 2014-07-01
    • TW101148928
    • 2012-12-21
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 胡志瑋HU, CHIH WEI葉騰豪YEH, TENG HAO
    • H01L27/24H01L23/52
    • 一種半導體結構及其製造方法。 半導體結構包括複數個堆疊結構以及複數個接觸結構,其中各堆疊結構包括複數個導電條與複數個絕緣條,導電條與絕緣條係交錯設置(interlaced),各接觸結構分別電性連接於各堆疊結構。接觸結構包括一第一導電柱(conductive pillar)、一介電材料層、一金屬矽化物層及一第二導電柱。介電材料層環繞第一導電柱的側面,金屬矽化物層形成於第一導電柱之上表面上,第二導電柱形成於金屬矽化物層上,該些第一導電柱之上表面係為同平面。
    • 一种半导体结构及其制造方法。 半导体结构包括复数个堆栈结构以及复数个接触结构,其中各堆栈结构包括复数个导电条与复数个绝缘条,导电条与绝缘条系交错设置(interlaced),各接触结构分别电性连接于各堆栈结构。接触结构包括一第一导电柱(conductive pillar)、一介电材料层、一金属硅化物层及一第二导电柱。介电材料层环绕第一导电柱的侧面,金属硅化物层形成于第一导电柱之上表面上,第二导电柱形成于金属硅化物层上,该些第一导电柱之上表面系为同平面。
    • 30. 发明专利
    • 具有水平延伸的三維閘極結構
    • 具有水平延伸的三维闸极结构
    • TW201423959A
    • 2014-06-16
    • TW101146533
    • 2012-12-11
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 葉騰豪YEH, TENG HAO施彥豪SHIH, YEN HAO陳彥儒CHEN, YAN RU
    • H01L27/105H01L29/78
    • 在積體電路上的裝置包括交替的半導體線與絕緣線堆疊,以及在半導體線堆疊上的閘極結構。閘極結構包括垂直部,及水平延伸部,而垂直部相鄰於堆疊的至少一側上,水平延伸部在半導體線之間。相較於半導體線的側邊,絕緣線的側邊可凹入(recessed),所以至少堆疊的一側包括半導體線之間的凹陷部。水平延伸部可在凹陷部。水平延伸部具有內側表面,以及外側表面,內側表面相鄰於絕緣線的側邊,外側表面可齊平於半導體線的側邊。裝置包括第二閘極結構,以及絕緣元件,而第二閘極結構與第一次提及的閘極結構分隔開,絕緣元件在第二閘極結構的水平延伸部與第一次提及的閘極結構之間。
    • 在集成电路上的设备包括交替的半导体线与绝缘线堆栈,以及在半导体线堆栈上的闸极结构。闸极结构包括垂直部,及水平延伸部,而垂直部相邻于堆栈的至少一侧上,水平延伸部在半导体线之间。相较于半导体线的侧边,绝缘线的侧边可凹入(recessed),所以至少堆栈的一侧包括半导体线之间的凹陷部。水平延伸部可在凹陷部。水平延伸部具有内侧表面,以及外侧表面,内侧表面相邻于绝缘线的侧边,外侧表面可齐平于半导体线的侧边。设备包括第二闸极结构,以及绝缘组件,而第二闸极结构与第一次提及的闸极结构分隔开,绝缘组件在第二闸极结构的水平延伸部与第一次提及的闸极结构之间。