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    • 11. 发明专利
    • 吐出單元及吐出裝置 DISCHARGING UNIT AND DISCHARGING APPARATUS
    • 吐出单元及吐出设备 DISCHARGING UNIT AND DISCHARGING APPARATUS
    • TW201022044A
    • 2010-06-16
    • TW098133206
    • 2009-09-30
    • 愛發科股份有限公司
    • 宮田貴裕村田真朗柴智志南展史佐藤誠一武者和博矢作充湯山純平
    • B41J
    • B41J2/17596B41J2/17556
    • 控制墨水槽的背壓。墨水槽(11)被連接於壓力控制裝置(12)。壓力控制裝置(12)具有第一、第二止回閥(13、14),一旦墨水槽(11)的內部壓力相較於外部環境而小於第一特定壓力以上,第一止回閥(13)便形成開啟狀態,並使墨水槽(11)與外部環境連接。相反地,一旦墨水槽(11)的內部壓力相較於外部環境而高於第二特定壓力以上,第二止回閥(14)便形成開啟狀態,並使墨水槽(11)與外部環境連接。因此,墨水槽(11)的內部壓力,為了使液面(meniscus)安定而以充分的精度所控制。
    • 控制墨水槽的背压。墨水槽(11)被连接于压力控制设备(12)。压力控制设备(12)具有第一、第二止回阀(13、14),一旦墨水槽(11)的内部压力相较于外部环境而小于第一特定压力以上,第一止回阀(13)便形成打开状态,并使墨水槽(11)与外部环境连接。相反地,一旦墨水槽(11)的内部压力相较于外部环境而高于第二特定压力以上,第二止回阀(14)便形成打开状态,并使墨水槽(11)与外部环境连接。因此,墨水槽(11)的内部压力,为了使液面(meniscus)安定而以充分的精度所控制。
    • 12. 发明专利
    • 太陽電池之製造方法、太陽電池之製造裝置及太陽電池 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR BATTERY, AND SOLAR BATTERY
    • 太阳电池之制造方法、太阳电池之制造设备及太阳电池 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SOLAR BATTERY, AND SOLAR BATTERY
    • TW201003960A
    • 2010-01-16
    • TW098110478
    • 2009-03-30
    • 愛發科股份有限公司
    • 山室和弘佐藤誠一矢作充湯山純平中村久三
    • H01L
    • H01L31/208H01L31/0463H02S50/10Y02E10/50Y02P70/521
    • 本發明係一種太陽電池之製造方法,其係形成光電轉換體,該光電轉換體係包含複數個劃分元件,相互鄰接之前述劃分元件彼此電性連接;在前述光電轉換體之中,規定具有構造缺陷之第1劃分元件;根據在相互鄰接之前述劃分元件彼此之間測定複數處之電阻值所獲得之電阻值的分布,而規定缺陷部位,藉由此方式,在前述第1劃分元件內限定存在著構造缺陷的部位;以跨越前述第1劃分元件與鄰接於前述第1劃分元件的第2劃分元件之間的邊界部之方式,對前述第1劃分元件與前述第2劃分元件照射雷射光,將前述構造缺陷予以除去或分離,而前述第1劃分元件係包含存在著前述構造缺陷的部位。
    • 本发明系一种太阳电池之制造方法,其系形成光电转换体,该光电转换体系包含复数个划分组件,相互邻接之前述划分组件彼此电性连接;在前述光电转换体之中,规定具有构造缺陷之第1划分组件;根据在相互邻接之前述划分组件彼此之间测定复数处之电阻值所获得之电阻值的分布,而规定缺陷部位,借由此方式,在前述第1划分组件内限定存在着构造缺陷的部位;以跨越前述第1划分组件与邻接于前述第1划分组件的第2划分组件之间的边界部之方式,对前述第1划分组件与前述第2划分组件照射激光光,将前述构造缺陷予以除去或分离,而前述第1划分组件系包含存在着前述构造缺陷的部位。
    • 13. 发明专利
    • 粗細移動裝置及具備該裝置之液體供給裝置 ROUGH-FINE MOVEMENT DEVICE AND LIQUID SUPPLY APPARATUS INCLUDING THE SAME
    • 粗细移动设备及具备该设备之液体供给设备 ROUGH-FINE MOVEMENT DEVICE AND LIQUID SUPPLY APPARATUS INCLUDING THE SAME
    • TWI376580B
    • 2012-11-11
    • TW097115529
    • 2008-04-28
    • 愛發科股份有限公司
    • 佐藤誠一
    • G05BG12B
    • B23Q1/601Y10T74/18576
    • 本發明提供一種可使移動體高精度地移動之粗細移動裝置及具備該裝置之液體供給裝置。第一及第二移動體(28,33)設計成可沿著導引構件(26)而移動。連結構件(56)可相對移動地連結第一移動體與第二移動體。第一驅動機構(38)藉由第一行程使第一移動體粗移動。第二驅動機構(49)介於第一及第二移動體間,使第二移動體對第一移動體藉由第二行程相對地細移動。第二驅動機構設於第一移動體與第二移動體之任何一方,且包含具有抵接件(52)之致動器(50)。抵接件包含第一抵接面(52a)。第一移動體與第二移動體中之另一方包含可抵接於抵接件之第一抵接面的第二抵接面(53a)。第一抵接面與第二抵接面之至少任何一方形成球面。
    • 本发明提供一种可使移动体高精度地移动之粗细移动设备及具备该设备之液体供给设备。第一及第二移动体(28,33)设计成可沿着导引构件(26)而移动。链接构件(56)可相对移动地链接第一移动体与第二移动体。第一驱动机构(38)借由第一行程使第一移动体粗移动。第二驱动机构(49)介于第一及第二移动体间,使第二移动体对第一移动体借由第二行程相对地细移动。第二驱动机构设于第一移动体与第二移动体之任何一方,且包含具有抵接件(52)之致动器(50)。抵接件包含第一抵接面(52a)。第一移动体与第二移动体中之另一方包含可抵接于抵接件之第一抵接面的第二抵接面(53a)。第一抵接面与第二抵接面之至少任何一方形成球面。
    • 14. 发明专利
    • 基板縱方向擺動裝置、基板載台裝置及離子注入裝置 APPARATUS FOR LONGITUDINALLY OSCILLATING A SUBSTRATE, SUBSTRATE STAGE APPARATUS, AND ION INJECTION APPARATUS
    • 基板纵方向摆动设备、基板载台设备及离子注入设备 APPARATUS FOR LONGITUDINALLY OSCILLATING A SUBSTRATE, SUBSTRATE STAGE APPARATUS, AND ION INJECTION APPARATUS
    • TW201237993A
    • 2012-09-16
    • TW100139754
    • 2011-11-01
    • 愛發科股份有限公司
    • 佐藤誠一伊藤慎也
    • H01LH01J
    • H01J37/20H01J37/3171H01J2237/20221
    • 提供一種:能夠將在真空槽內之位置作移動的基板縱方向擺動裝置、和能夠在真空槽內而使基板於縱方向以及橫方向上作往返移動之基板載台裝置以及離子注入裝置。基板縱方向擺動裝置(51),係被配置在真空槽(11)內,並具備有:以旋轉軸(37)為中心而上下轉動之腕部(33a、33b);和被鉛直地固定在本體(31)處之導引手段(32a、32b);和被導引手段(32a、32b)所導引並上下移動之縱方向滑動構件(34a、34b),縱方向滑動構件(34a、34b),係被連結於腕部(33a、33b)處,基板保持台(21),係被設置在其中一方之縱方向滑動構件(34a)處,在另外一方之縱方向滑動構件(34b)處,係被設置有重物(25),而使基板保持台(21)之移動的負荷降低。
    • 提供一种:能够将在真空槽内之位置作移动的基板纵方向摆动设备、和能够在真空槽内而使基板于纵方向以及横方向上作往返移动之基板载台设备以及离子注入设备。基板纵方向摆动设备(51),系被配置在真空槽(11)内,并具备有:以旋转轴(37)为中心而上下转动之腕部(33a、33b);和被铅直地固定在本体(31)处之导引手段(32a、32b);和被导引手段(32a、32b)所导引并上下移动之纵方向滑动构件(34a、34b),纵方向滑动构件(34a、34b),系被链接于腕部(33a、33b)处,基板保持台(21),系被设置在其中一方之纵方向滑动构件(34a)处,在另外一方之纵方向滑动构件(34b)处,系被设置有重物(25),而使基板保持台(21)之移动的负荷降低。