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    • 6. 发明专利
    • 粗細移動裝置及具備該裝置之液體供給裝置 ROUGH-FINE MOVEMENT DEVICE AND LIQUID SUPPLY APPARATUS INCLUDING THE SAME
    • 粗细移动设备及具备该设备之液体供给设备 ROUGH-FINE MOVEMENT DEVICE AND LIQUID SUPPLY APPARATUS INCLUDING THE SAME
    • TW200907616A
    • 2009-02-16
    • TW097115529
    • 2008-04-28
    • 愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
    • 佐藤誠一 SATOU, SEIICHI
    • G05BG12B
    • B23Q1/601Y10T74/18576
    • 本發明提供一種可使移動體高精度地移動之粗細移動裝置及具備該裝置之液體供給裝置。第一及第二移動體(28,33)設計成可沿著導引構件(26)而移動。連結構件(56)可相對移動地連結第一移動體與第二移動體。第一驅動機構(38)藉由第一行程使第一移動體粗移動。第二驅動機構(49)介於第一及第二移動體間,使第二移動體對第一移動體藉由第二行程相對地細移動。第二驅動機構設於第一移動體與第二移動體之任何一方,且包含具有抵接件(52)之致動器(50)。抵接件包含第一抵接面(52a)。第一移動體與第二移動體中之另一方包含可抵接於抵接件之第一抵接面的第二抵接面(53a)。第一抵接面與第二抵接面之至少任何一方形成球面。
    • 本发明提供一种可使移动体高精度地移动之粗细移动设备及具备该设备之液体供给设备。第一及第二移动体(28,33)设计成可沿着导引构件(26)而移动。链接构件(56)可相对移动地链接第一移动体与第二移动体。第一驱动机构(38)借由第一行程使第一移动体粗移动。第二驱动机构(49)介于第一及第二移动体间,使第二移动体对第一移动体借由第二行程相对地细移动。第二驱动机构设于第一移动体与第二移动体之任何一方,且包含具有抵接件(52)之致动器(50)。抵接件包含第一抵接面(52a)。第一移动体与第二移动体中之另一方包含可抵接于抵接件之第一抵接面的第二抵接面(53a)。第一抵接面与第二抵接面之至少任何一方形成球面。
    • 8. 发明专利
    • 軸傳動裝置
    • 轴传动设备
    • TW531608B
    • 2003-05-11
    • TW090112321
    • 2001-05-23
    • 歐克斯勒股份公司
    • 法蘭克 波勞
    • F16H
    • H02K7/06F16H25/20F16H49/001F16H2025/066F16H2025/2075Y10T74/18576Y10T74/19
    • 為了要能夠導引支撐或結構元件穿透過軸傳動裝置的中央,該軸桿傳動裝置被設計為一個空心齒輪組。此種軸傳動裝置直接提供了一個可轉換運動性質的校準性可變動量,該變動量係由其驅動環圈旋轉的圈數、或亦即其馬達驅動式軸桿發電機旋轉的圈數的方法來定義及展現,此功能之提供係如果以其快速有力啟動之環圈使一個嚙合的螺紋桿棒在徑向上產生位移,產生位移的方法係利用環圈內部螺紋的旋轉運動以及讓桿棒自由延伸地以同軸方式穿透一個在軸桿傳動裝置中央的長軸向腔膛室,並因為利用該桿棒與外罩組合的方式而使其固定防止旋轉。該螺紋桿棒相對於驅動馬達的線性運動能夠發生於一個以固定式安裝傳動馬達的狀況,同樣地亦適用於以固定式安裝螺紋桿棒的狀況。
    • 为了要能够导引支撑或结构组件穿透过轴传动设备的中央,该轴杆传动设备被设计为一个空心齿轮组。此种轴传动设备直接提供了一个可转换运动性质的校准性可变动量,该变动量系由其驱动环圈旋转的圈数、或亦即其马达驱动式轴杆发电机旋转的圈数的方法来定义及展现,此功能之提供系如果以其快速有力启动之环圈使一个啮合的螺纹杆棒在径向上产生位移,产生位移的方法系利用环圈内部螺纹的旋转运动以及让杆棒自由延伸地以同轴方式穿透一个在轴杆传动设备中央的长轴向腔膛室,并因为利用该杆棒与外罩组合的方式而使其固定防止旋转。该螺纹杆棒相对于驱动马达的线性运动能够发生于一个以固定式安装传动马达的状况,同样地亦适用于以固定式安装螺纹杆棒的状况。