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91. 发明专利

TW201233926A 自動閥用開度檢測裝置 DEVICE FOR DETECTING THE OPENING OF AN AUTOMATIC VALVE 审中-公开
简体标题：自动阀用开度检测设备 DEVICE FOR DETECTING THE OPENING OF AN AUTOMATIC VALVE
公开(公告)号：TW201233926A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100143044
申请日：2011-11-24
申请人：富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 富田厚男 , 西野功二 , 澤田洋平 , 池田信一
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K37/0041 , F16K31/1221 , F16K37/00 , F16K37/0083 , Y10T137/8158 , Y10T137/8242
摘要：提供一種對自動閥的組裝作業及確保組裝時的檢測精度均容易，可輕易地適用於既有的自動閥之自動閥用開度檢測裝置。具備：底板4，可拆裝地安裝在自動閥；位移感測器5、及標靶6，具有可藉由位移感測器檢測之傾斜狀的檢測面6a。標靶6固定在底板4。位移感測器5透過感測器支撐構件支撐在閥桿14，感測器支撐構件21透過導引手段支撐在底板4。
简体摘要：提供一种对自动阀的组装作业及确保组装时的检测精度均容易，可轻易地适用于既有的自动阀之自动阀用开度检测设备。具备：底板4，可拆装地安装在自动阀；位移传感器5、及标靶6，具有可借由位移传感器检测之倾斜状的检测面6a。标靶6固定在底板4。位移传感器5透过传感器支撑构件支撑在阀杆14，传感器支撑构件21透过导引手段支撑在底板4。

92. 发明专利

TW201040425A 正常開啟型壓電元件驅動式金屬隔膜型控制閥审中-公开
简体标题：正常打开型压电组件驱动式金属隔膜型控制阀
公开(公告)号：TW201040425A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：TW099121057
申请日：2006-11-23
申请人：富士金股份有限公司
发明人：松本篤諮 , 平田薰 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要：本發明係提供一種正常開啟型壓電元件驅動式金屬隔膜型控制閥，係即使在高溫環境下，亦可進行高精確度的穩定流量控制，並且不須分解控制閥本體，而可調整施加於壓電元件之壓縮力。該正常開啟型壓電元件驅動式金屬隔膜型控制閥係由：將被配設於由壓電元件（13）及金屬隔膜（8）的皿彈簧機構（14），下端部插設有隔膜按押件（12），上端部形成上方為開放的收納空間（22b）的隔膜按押件保持具（22）；及配設於隔膜按押件保持具（22）的收納空間（22b）之複數片皿彈簧（23）；及載置於最上面的皿彈簧（23）的上面，位於壓電元件（13）的下方並將壓電元件（13）的伸長朝皿彈簧（23）傳達之球軸承（24）；調整皿彈簧（23）的反彈力，並且螺固於隔膜按押件保持具（22）的上端部外周面，來防止球軸承（24）及皿彈簧（23）脫落的彈簧調整用螺帽（25）所構成。
简体摘要：本发明系提供一种正常打开型压电组件驱动式金属隔膜型控制阀，系即使在高温环境下，亦可进行高精确度的稳定流量控制，并且不须分解控制阀本体，而可调整施加于压电组件之压缩力。该正常打开型压电组件驱动式金属隔膜型控制阀系由：将被配设于由压电组件（13）及金属隔膜（8）的皿弹簧机构（14），下端部插设有隔膜按押件（12），上端部形成上方为开放的收纳空间（22b）的隔膜按押件保持具（22）；及配设于隔膜按押件保持具（22）的收纳空间（22b）之复数片皿弹簧（23）；及载置于最上面的皿弹簧（23）的上面，位于压电组件（13）的下方并将压电组件（13）的伸长朝皿弹簧（23）传达之球轴承（24）；调整皿弹簧（23）的反弹力，并且螺固于隔膜按押件保持具（22）的上端部外周面，来防止球轴承（24）及皿弹簧（23）脱落的弹簧调整用螺帽（25）所构成。

93. 发明专利

TW200947176A 具備有流量自我診斷功能之壓力式流量控制裝置的壓力控制閥用驅動電路审中-公开
简体标题：具备有流量自我诊断功能之压力式流量控制设备的压力控制阀用驱动电路
公开(公告)号：TW200947176A
公开(公告)日：2009-11-16
申请号：TW098108446
申请日：2009-03-16
申请人：富士金股份有限公司
发明人：杉田勝幸 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 平田薰 , 中谷貴紀
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7762
摘要： [課題]對於具備有流量自我診斷功能之壓力式流量控制裝置的壓力控制閥用壓電元件驅動電路施加改良，而設為能夠同時進行安定之流量控制與壓力控制閥之急速關閉的兩者，並經由將在流量自我診斷時之閥的關閉時間延遲減少，而成為能夠在流量自我診斷時得到高精確度之診斷結果。[解決手段]一種具備有流量自我診斷功能之壓力式流量控制裝置的壓力控制閥用驅動電路，該流量自我診斷功能，係將預先測定並作了記憶的初期壓力降下特性資料，和在與前述初期壓力降下特定之測定為相同之條件下所測定了的流量診斷時之壓力降下特定資料作比對，並從兩特性資料之差異，來檢測出流量控制之異常，在該壓力控制閥用壓電元件驅動電路中，係與控制閥之驅動電路並聯地，而設置有藉由從壓力式流量控制裝置之中央處理裝置而來的降壓指令訊號而將被施加於壓電驅動元件處的壓電驅動電壓通過降壓指令電路而緩慢地放電下降之第1放電電路、和藉由從前述中央處理裝置而來之高速降壓指令訊號而將被施加於前述壓電驅動元件處的壓電驅動電壓通過高速降壓指令電路來急速地放電下降之第2放電電路。
简体摘要： [课题]对于具备有流量自我诊断功能之压力式流量控制设备的压力控制阀用压电组件驱动电路施加改良，而设为能够同时进行安定之流量控制与压力控制阀之急速关闭的两者，并经由将在流量自我诊断时之阀的关闭时间延迟减少，而成为能够在流量自我诊断时得到高精确度之诊断结果。[解决手段]一种具备有流量自我诊断功能之压力式流量控制设备的压力控制阀用驱动电路，该流量自我诊断功能，系将预先测定并作了记忆的初期压力降下特性数据，和在与前述初期压力降下特定之测定为相同之条件下所测定了的流量诊断时之压力降下特定数据作比对，并从两特性数据之差异，来检测出流量控制之异常，在该压力控制阀用压电组件驱动电路中，系与控制阀之驱动电路并联地，而设置有借由从压力式流量控制设备之中央处理设备而来的降压指令信号而将被施加于压电驱动组件处的压电驱动电压通过降压指令电路而缓慢地放电下降之第1放电电路、和借由从前述中央处理设备而来之高速降压指令信号而将被施加于前述压电驱动组件处的压电驱动电压通过高速降压指令电路来急速地放电下降之第2放电电路。

94. 发明专利

TW200301414A 改良型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：改良型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW200301414A
公开(公告)日：2003-07-01
申请号：TW091135458
申请日：2002-12-06
申请人：富士金股份有限公司株式會社 , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 大見忠弘 TADAHIRO OHMI
发明人：大見忠弘 TADAHIRO OHMI , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山將宜 , 杉山一彥 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本薦諮
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之技術課題為開發非臨界領域中確立高精度匹配壓縮性流體的實際流量的實驗流量式，使用此流量式高精度進行流量控制的改良型壓力式流量控制裝置。本發明之解決手段在於提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其以Qc=KP2^m(P1-P2)^n表示非臨界領域(非音速域)中壓縮性流體的實驗流量式，以此Qc=KP2^m(P1-P2)^n(K為比例常數，m及n為常數)計算通過孔口4的流體流量，可正確且高速地將流量控制於指定流量。又提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其經常將上游側壓力P1及下游側壓力P2所得壓力比P2/P1=r與臨界值rc比較，在臨界條件(r≦rc)下以 Qc=KP1，在非臨界條件(r>rc)下以Qc=KP2^m(P1-P2)^n運算流量，可一面對應流體的所有條件，一面正確且高速地將流量控制於指定流量。
简体摘要：本发明之技术课题为开发非临界领域中确立高精度匹配压缩性流体的实际流量的实验流量式，使用此流量式高精度进行流量控制的改良型压力式流量控制设备。本发明之解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制设备，其以Qc=KP2^m(P1-P2)^n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc=KP2^m(P1-P2)^n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制设备，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1=r与临界值rc比较，在临界条件(r≦rc)下以 Qc=KP1，在非临界条件(r>rc)下以Qc=KP2^m(P1-P2)^n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。

95. 发明专利

TW200301350A 壓力感測器、壓力控制裝置及壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置有权
简体标题：压力传感器、压力控制设备及压力式流量控制设备之温度偏移修正设备
公开(公告)号：TW200301350A
公开(公告)日：2003-07-01
申请号：TW091135190
申请日：2002-12-04
申请人：富士金股份有限公司株式會社 , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 大見忠弘 TADAHIRO OHMI
发明人：大見忠弘 TADAHIRO OHMI , 杉山一彥 , 西野功二 , 宇野富雄 , 中村修 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要：本發明之技術課題在於開發自動修正壓力感測器的溫度偏移，不管溫度變動如何，均可正確檢測壓力的壓力感測器、壓力控制裝置及流量控制裝置。本發明之解決手段在於，本發明壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置在孔板4與控制閥22之間設置檢測上游側壓力P1的上游側壓力感測器10，一面以上游側壓力P1運算孔板通過流量，一面藉由控制閥22的啟開控制孔板通過流量的壓方式流量控制裝置中，包括溫度感測器14，其測定流體溫度；記憶手段64，其儲存流體溫度T與上游側壓力感測器10的輸出偏移的關係；以及溫度偏移修正手段，其在流體溫度T變化情形下，根據記憶手段64的資料，運算上游側壓力感測器10的輸出偏移量，以此運算輸出偏移量消去並修正上游側壓力感測器10的輸出偏移。藉此構造，自動修正壓力感測器的溫度偏移，可作正確的流量控制。
简体摘要：本发明之技术课题在于开发自动修正压力传感器的温度偏移，不管温度变动如何，均可正确检测压力的压力传感器、压力控制设备及流量控制设备。本发明之解决手段在于，本发明压力式流量控制设备之温度偏移修正设备在孔板4与控制阀22之间设置检测上游侧压力P1的上游侧压力传感器10，一面以上游侧压力P1运算孔板通过流量，一面借由控制阀22的启开控制孔板通过流量的压方式流量控制设备中，包括温度传感器14，其测定流体温度；记忆手段64，其存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出偏移的关系；以及温度偏移修正手段，其在流体温度T变化情形下，根据记忆手段64的数据，运算上游侧压力传感器10的输出偏移量，以此运算输出偏移量消去并修正上游侧压力传感器10的输出偏移。借此构造，自动修正压力传感器的温度偏移，可作正确的流量控制。

96. 发明专利

TW466336B 壓力偵知器的安裝構造有权
简体标题：压力侦知器的安装构造
公开(公告)号：TW466336B
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：TW089120571
申请日：2000-10-03
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 廣瀨隆 , 出田英二 , 池田信一 , 上肥亮介 , 西野功二 , 吉川和博 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L19/0023 , G01L19/0645 , G01L19/145 , G01L19/147
摘要：為提供一種將隔膜型壓力偵知器組裝於設在管路或機器等安裝用具時，可防止加於壓力偵知器之應力所起隔膜之變形，及組裝前之特性較大變化之壓力偵知器的安裝構造。
因此，本發明係在將具隔膜之隔膜座，與內藏有藉上述隔膜變位而移動之感測元件的感測元件座組合所成壓力偵知器，介由墊片插設於配管路或機械裝置所設安裝用具本體之插設孔內，且藉自上方插入於插設孔之抑壓構件壓任促使壓力偵知器以氣密固定之壓力偵知器的安裝構造，使抑壓構件抵觸於上述隔膜座本體部上面及使墊片抵觸於隔膜座本體部底面同時，在上述本體部底面與墊片抵觸部內側位置形成環狀淺槽，而藉該淺槽吸收因抑壓構件之抑押所產生之變形。
简体摘要：为提供一种将隔膜型压力侦知器组装于设在管路或机器等安装用具时，可防止加于压力侦知器之应力所起隔膜之变形，及组装前之特性较大变化之压力侦知器的安装构造。因此，本发明系在将具隔膜之隔膜座，与内藏有藉上述隔膜变位而移动之传感组件的传感组件座组合所成压力侦知器，介由垫片插设于配管路或机械设备所设安装用具本体之插设孔内，且藉自上方插入于插设孔之抑压构件压任促使压力侦知器以气密固定之压力侦知器的安装构造，使抑压构件抵触于上述隔膜座本体部上面及使垫片抵触于隔膜座本体部底面同时，在上述本体部底面与垫片抵触部内侧位置形成环状浅槽，而藉该浅槽吸收因抑压构件之抑押所产生之变形。

97. 发明专利

TW385380B 流體供應裝置有权
简体标题：流体供应设备
公开(公告)号：TW385380B
公开(公告)日：2000-03-21
申请号：TW088100902
申请日：1999-01-21
申请人：大見忠弘 , 東京威力科創有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 杉山一彥 , 池田信一 , 西野功二 , 川田幸司 , 皆見幸男
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：防止在流體之供應開始時或切換時過度地發生的流體之過調量，可經常地控制高精度之流體。
一種流體供應裝置，其特徵為：控制流體流量之壓力流量控制器Ｃ，及開關壓力流量控制器Ｃ之二次側流體通路Ｌ的流體切換閥Ｄ，及控制壓力流量控制器Ｃ與流體切換閥Ｄ之作動的流體供應控制裝置Ｂ所構成；且將上述壓力流量控制器Ｃ設於節流口５與節流口５之上游側的控制閥１，及設於控制閥１與節流口５間的壓力檢測器３，及將從壓力檢測器３之檢測壓力Ｐ１演算作為流量Ｑ。＝ＫＰ１(但是Ｋ係常數)之流量信號Ｑ。與流量指令信號Ｑ。之相差作為控制信號Ｑ。而輸出至上述控制閥１之驅動部２的演算控制裝置６所形成，同時介經上述控制閥１之開關來調整節流口５之上游側壓力Ｐ１，俾控制節流口５之下游側之流量的構成者。
简体摘要：防止在流体之供应开始时或切换时过度地发生的流体之过调量，可经常地控制高精度之流体。一种流体供应设备，其特征为：控制流体流量之压力流量控制器Ｃ，及开关压力流量控制器Ｃ之二次侧流体通路Ｌ的流体切换阀Ｄ，及控制压力流量控制器Ｃ与流体切换阀Ｄ之作动的流体供应控制设备Ｂ所构成；且将上述压力流量控制器Ｃ设于节流口５与节流口５之上游侧的控制阀１，及设于控制阀１与节流口５间的压力检测器３，及将从压力检测器３之检测压力Ｐ１演算作为流量Ｑ。＝ＫＰ１(但是Ｋ系常数)之流量信号Ｑ。与流量指令信号Ｑ。之相差作为控制信号Ｑ。而输出至上述控制阀１之驱动部２的演算控制设备６所形成，同时介经上述控制阀１之开关来调整节流口５之上游侧压力Ｐ１，俾控制节流口５之下游侧之流量的构成者。

98. 发明专利

TW384365B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW384365B
公开(公告)日：2000-03-11
申请号：TW087116620
申请日：1998-10-07
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 杉山一彥 , 土肥亮介 , 宇野富雄 , 西野功二 , 福田浩幸
IPC分类号： F16K
摘要：本發明係屬於在半導體製造裝置的氣體供給系統等所使用之壓力式流量控制裝置，係採用孔口的口徑可變型的孔口，使得流體之流量控制範圍能簡單地變更，並且能夠使壓力式流量控制裝置小形化和提高氣體的置換性，提高防止發塵性能，降低製造成本等者。
具體上，係在由孔口，和設在孔口的上游側的控制閥，和設在控制閥與孔口間之壓力檢出器，及從壓力檢出器的檢出壓力P1，將流量Q當成Q=KP1(但是K為常數)來運算，並且把流量指令信號Qs與前述運算後之流量信號Q的差值當成控制信號Qy向前述控制閥之驅動部輸出的控制裝置所構成，以將孔口之上游側壓力P1和下游側壓力P2的比保持在被控制流體之臨界壓比以下的狀態，由前述控制閥之開閉來調整孔口上游側壓力P1，而控制孔口下游側的流體流量Q之形態的壓力式流量控制裝置，前述孔口係採用直接接觸型的金屬膜片閥，且閥座和隔膜之環狀的間隙係採用可變孔口，並且藉由孔口驅動裝置來調整前述間隙之大小。
简体摘要：本发明系属于在半导体制造设备的气体供给系统等所使用之压力式流量控制设备，系采用孔口的口径可变型的孔口，使得流体之流量控制范围能简单地变更，并且能够使压力式流量控制设备小形化和提高气体的置换性，提高防止发尘性能，降低制造成本等者。具体上，系在由孔口，和设在孔口的上游侧的控制阀，和设在控制阀与孔口间之压力检出器，及从压力检出器的检出压力P1，将流量Q当成Q=KP1(但是K为常数)来运算，并且把流量指令信号Qs与前述运算后之流量信号Q的差值当成控制信号Qy向前述控制阀之驱动部输出的控制设备所构成，以将孔口之上游侧压力P1和下游侧压力P2的比保持在被控制流体之临界压比以下的状态，由前述控制阀之开闭来调整孔口上游侧压力P1，而控制孔口下游侧的流体流量Q之形态的压力式流量控制设备，前述孔口系采用直接接触型的金属膜片阀，且阀座和隔膜之环状的间隙系采用可变孔口，并且借由孔口驱动设备来调整前述间隙之大小。

99. 实用新型

TW156685U 嚮導式電磁控制閥裝置失效
简体标题：向导式电磁控制阀设备
公开(公告)号：TW156685U
公开(公告)日：1991-04-21
申请号：TW079207768
申请日：1989-09-05
申请人：富士金股份有限公司
发明人：出田英二 , 西野功二 , 坪本浩一 , 富田厚男 , 園田芳輝
IPC分类号： F16L , G05B
摘要：本創作之嚮導式電磁控制閥裝置，主要以自動遙控控制其開關者。
此控制閥裝置係由：主閥Ｆ；及利用一次側之流體壓開閉主閥Ｆ之導閥；及開閉導閥Ｇ之自保螺線管Ｈ；及由於自電容器Ｃ將放電電流供給螺線管Ｈ，驅動螺線管Ｈ之螺線管驅動控制裝置Ｉ構成。
螺線管Ｈ，僅在將導閥Ｇ開或閉時自電容器Ｃ供給脈衝狀之放電口流，而在螺線管Ｈ之線圈連續動磁電流不流動。結果電源用電池可小形化，電可消除因線圈發熱導致控制閥裝置之故障。
简体摘要：本创作之向导式电磁控制阀设备，主要以自动遥控控制其开关者。此控制阀设备系由：主阀Ｆ；及利用一次侧之流体压开闭主阀Ｆ之导阀；及开闭导阀Ｇ之自保螺线管Ｈ；及由于自电容器Ｃ将放电电流供给螺线管Ｈ，驱动螺线管Ｈ之螺线管驱动控制设备Ｉ构成。螺线管Ｈ，仅在将导阀Ｇ开或闭时自电容器Ｃ供给脉冲状之放电口流，而在螺线管Ｈ之线圈连续动磁电流不流动。结果电源用电池可小形化，电可消除因线圈发热导致控制阀设备之故障。

100. 发明专利

TWI651606B 流體控制裝置，流體控制裝置的控制方法，及流體控制系統有权
简体标题：流体控制设备，流体控制设备的控制方法，及流体控制系统
公开(公告)号：TWI651606B
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：TW106114119
申请日：2017-04-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D16/20 , H01L21/67

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