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    • 8. 发明公开
    • 적층형 압전 액추에이터 소자의 제조 방법
    • 制造层压压电致动器元件的方法
    • KR1019980014734A
    • 1998-05-25
    • KR1019960033840
    • 1996-08-16
    • 쌍용양회공업(주)
    • 왕영성박진채최용은
    • H01L27/20
    • 본 발명은 압전 현상을 이용하여 초정밀의 위치 제어 기구에 사용되는 적층형 압전 액추에이터 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
      본 발명에 의한 적층형 압전 액추에이터의 제조방법은 압전체 그린 시트상에 내부 전극용 도체 페이스트를 인쇄하고, 상기 단계에서 내부 전극이 인쇄된 각각의 그린 시트를 측단면이 물결 형상을 가지는 형틀을 이용하여, 그린 시트를 물결 형태로 성형한 후, 성형된 그린 시트 두 장을 전극 인쇄면이 서로 반대 방향이 되게 겹쳐서 압착하여 일체화하고, 일체화된 적층체를 소성한 후 외부 단자 전극을 형성하는 것으로 이루어진다.
      본 발명의 방법은 제조 공정수를 감소시킬 수 있고, 공정의 난이도를 줄일 수 있으며, 제품 관리도 용이한 특징이 있다.
      또, 내부 전극의 끝단부에 공극(또는 공간)을 형성하여 전극 말단 부위에 발생하는 응력 집중을 효과적으로 분산시키므로서 소자의 수명을 향상시킬 수 있다.