基本信息:
- 专利标题： 알에프 파워 검출장치 및 그 제조방법
- 专利标题（英）：Device for detecing rf power and fabrication method thereof
- 专利标题（中）：用于检测射频功率的装置及其制造方法
- 申请号：KR1020050001353 申请日：2005-01-06
- 公开(公告)号：KR1020060081040A 公开(公告)日：2006-07-12
- 发明人： 박재형 , 이희철
- 申请人： 엘지전자 주식회사
- 申请人地址： ***, Yeoui-daero, Yeongdeungpo-gu, Seoul, *****, Republic of Korea
- 专利权人： 엘지전자 주식회사
- 当前专利权人： 엘지전자 주식회사
- 当前专利权人地址： ***, Yeoui-daero, Yeongdeungpo-gu, Seoul, *****, Republic of Korea
- 代理人： 황이남
- 主分类号： H01L27/20
- IPC分类号： H01L27/20
摘要：
본 발명은 오목부(8)가 소정위치에 구비된 하부기판(1); 상기 하부기판(1)의 오목부(8)상에 공중부양되고, 알에프(RF) 파워에 의해 힘을 받는 이동부재(6)가 구비되며, 상기 이동부재(6)의 변위에 따라 발생하는 압전효과에 따른 전기적 신호를 검출하는 센서부(20); 및 상기 하부기판(1)의 상부에 부착되며, 상기 센서부(20)에 구비되는 이동부재(6)와 일정간격으로 이격되어 알에프 신호를 전송하는 신호 전송선(7)이 구비된 상부기판(2)을 포함하는 알에프 파워 검출장치를 제공한다.
RF파워, MEMS, 센서
摘要（英）：
RF파워, MEMS, 센서
The invention recesses 8 is the lower substrate (1) provided in a predetermined position; And levitation on the recesses 8 of the lower substrate 1, an RF (RF) is equipped with a moving member 6 receives the power by the power, the piezoelectric generated in accordance with the displacement of the movable member (6) sensor unit 20 for detecting an electric signal in accordance with the effect; And it is attached to the top of the lower substrate (1), the mobile is provided to the sensor unit 20, member 6 and the predetermined spaced distance signal transmission line for transmitting an RF signal (7) is an upper substrate (2 provided ) provides the RF power detection device comprising. RF power, MEMS, sensors
公开/授权文献:
- KR100668617B1 알에프 파워 검출장치 및 그 제조방법 公开/授权日：2007-01-16
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L27/00 | 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件 |
| --------H01L27/20 | .包括有压电组件的；包括有电致伸缩组件的；包括有磁致伸缩组件的 |