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1. 发明公开

KR20180057149A 초음파 탐상용 건조장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20180057149A
公开(公告)日：2018-05-30
申请号：KR20160155440
申请日：2016-11-22
申请人： HYUNDAI STEEL CO
发明人： LIM WOO CHUL , JUNG KUE DONG
IPC分类号： F26B5/02 , F26B21/10 , G01N29/27
摘要： 초음파탐상용건조장치에대한발명이개시된다. 개시된초음파탐상용건조장치는: 소재가이송되는롤러테이블과, 롤러테이블의상방에배치되고, 소재의표면에용수를분사하며, 소재의결함을탐상하는초음파탐상부와, 소재의이송경로상에서초음파탐상부의후방에배치되고, 소재상의용수를소재의외측으로밀어내는와이퍼부와, 와이퍼부의후방에배치되고, 소재상의잔존하는용수가건조되도록소재를향해송풍하는건조부;를포함하는것을특징으로한다.

2. 发明公开

KR1020170120710A 웨이퍼 스택에 있는 결함 및 층 두께를 측정하기 위한 측정 장치 및 측정 방법 审中-实审
标题翻译：用于测量晶圆堆栈中的缺陷和层厚度的测量设备和方法
公开(公告)号：KR1020170120710A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：KR1020177029911
申请日：2010-11-12
申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하
发明人： 빔플링거,마르쿠스
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N21/95 , G01B7/06
CPC分类号： H01L22/20 , G01B7/06 , G01B11/0625 , G01B17/02 , G01B17/025 , G01N21/9501 , G01N21/9505 , G01N29/043 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N29/275 , G01N2291/0231 , G01N2291/02854 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/2697 , H01L21/67253 , H01L21/67288 , H01L22/12
摘要： 본발명은웨이퍼스택위에분포된복수의측정점들에서웨이퍼스택의하나또는그 이상의층의결함및/또는층 두께를탐지하거나및/또는측정하기위한측정장치및 방법, 그리고이에상응하는웨이퍼처리장치에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在分布在晶片堆叠上的多个测量点处检测和/或测量晶片堆叠的一个或多个层的缺陷和/或层厚度的测量设备和方法，以及相应的晶片处理设备它涉及。

3. 发明公开

KR1020160024619A 후판의 초음파 검사 장치 无效
标题翻译：超声波测厚仪用于厚板
公开(公告)号：KR1020160024619A
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：KR1020140111657
申请日：2014-08-26
申请人： 현대제철 주식회사
发明人： 도영주 , 김기덕 , 하태준
IPC分类号： G01N29/22 , G01N29/24 , G01N29/27 , G01N29/30 , G01N29/04
CPC分类号： G01N29/225 , G01N29/04 , G01N29/045 , G01N29/22 , G01N29/24 , G01N29/27 , G01N29/30
摘要： 후판의초음파검사장치가개시된다. 본발명의일 측면에따르면, 후판(thick plate)을수평이송하는복수의이송롤러; 상기이송롤러의상단과상기후판의저면사이의이격거리를탐지하는거리측정센서; 상기후판의저면에접촉하여초음파검사를수행하는초음파검사부; 상기초음파검사부를상하이송하는상하이송부; 및상기거리측정센서의탐지결과에따라, 상기초음파검사부가상기후판의저면에접촉할수 있도록상기상하이송부를제어하는제어부를포함하고, 상기초음파검사부는, 상기후판의이송방향과수직으로상호간에이격되어배치되는복수의수용홈이상면에형성되는이송프레임; 상기수용홈에개재되는복수의탄성부재; 및상기수용홈에수용되어상기탄성부재의탄성력또는외력에의해상하로이동할수 있는복수의초음파검사모듈을포함하는것을특징으로하는후판의초음파검사장치가제공된다.
摘要翻译：公开了一种用于厚板的超声波检查装置。根据本发明的一个方面，一种用于厚板的超声波检测装置包括：多个传送辊，水平传送厚板; 距离传感器感测转印辊的上端与厚板的底面之间的分离的距离; 超声波检查单元，通过与厚板的底部接触而进行超声波检查; 垂直传送超声波检查单元的垂直传送单元; 以及控制单元，其控制所述垂直传送单元，以使所述超声波检查单元根据所述距离的感测结果与所述厚板的底部接触。超声波检查单元包括：传送框架，其具有形成在上表面上的多个容纳槽，并且间隔设置成与厚板的传送方向垂直; 容纳在所述容纳槽中的多个弹性构件; 以及容纳在所述容纳槽中的多个超声波检查模块，通过所述弹性部件的弹性力或外力而垂直移动。根据实施例，本发明提供一种用于厚板的超声波检查装置，其能够通过与通过与厚板的底面接触而进行超声波检查的超声波检查单元进行模块化而垂直传送超声波检查单元。

4. 发明授权

KR100574136B1 초음파 탐상 방법 및 장치 有权
标题翻译：超声波检测方法及装置
公开(公告)号：KR100574136B1
公开(公告)日：2006-04-25
申请号：KR1020007012100
申请日：1999-03-03
申请人： 제이에프이 스틸 가부시키가이샤
发明人： 다카다하지메 , 도라오아키라 , 야리타이쿠오
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/27
摘要： 본 발명에서는 피 검사판 내부의 비금속 개재물 등의 내부 결함의 검출을 실행하기에 바람직한 라인 포커스형 초음파 탐상 방법과 장치를 제공한다. 그 구체적 발명의 구성은 피 검사판을 사이에 두고 대향 배치한 라인 포커스형 초음파 송신자와 라인 포커스형 초음파 수신자의 대향하는 거리(L)를 반사 에코 높이가 극대값으로 되는 Lp의 근방값으로 한다. 또한 Lp는 다음식으로 나타낼 수 있다.
Lp=0.75(FT+FR)-{(CS/CW)-1}t
단,
FT : 상기 라인 포커스형 초음파 송신자의 매질중에서의 초점 거리(㎜)
FR : 상기 라인 포커스형 초음파 수신자의 매질중에서의 초점 거리(㎜)
CS : 피 검사판중에서의 초음파의 속도(m/sec)
CW : 매질중에서의 초음파의 속도(m/sec)
t : 피 검사판의 판두께(㎜)

5. 发明授权

KR102399081B1 검사 대상물을 건조할 수 있는 불량 소자 초음파 검사 장치 및 이를 이용한 검사방법 有权
公开(公告)号：KR102399081B1
公开(公告)日：2022-05-18
申请号：KR1020210123607
申请日：2021-09-16
IPC分类号： G01N29/27 , G01N29/26 , G01N29/04 , G01N29/06 , F26B15/22 , F26B21/10 , F26B25/06 , F26B21/00
摘要： 본발명은초음파스캐닝을통해, 피검체의결함을탐지하는초음파검사시스템으로서, 피검체를제1 방향으로이송시키는컨베이어모듈; 상기컨베이어모듈에의해이송된피검체를대상으로초음파스캐닝을수행하는초음파스캐닝모듈로서, 상기피검체의배열에대응되도록형성된초음파프로브어레이를구비하고, 상기초음파프로브어레이와상기피검체사이에초음파전달용매질이충전되는, 초음파스캐닝모듈; 및상기초음파스캐닝모듈에의해초음파스캐닝이완료된피검체를미리설정된방식으로건조시키는건조모듈; 을더 포함하며, 상기건조모듈은, 밀폐된공간을형성하며, 언로딩부를통해제공받은피검체에미리설정된방식으로열을인가하여, 상기피검체를건조시키는핫챔버부; 를포함하는, 초음파검사시스템을제공한다.

6. 发明授权

KR102137066B1 수소 유기 균열 측정 방법 및 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR102137066B1
公开(公告)日：2020-07-23
申请号：KR1020187013975
申请日：2016-11-22
申请人： 제이에프이 스틸 가부시키가이샤
发明人： 미즈노다이스케 , 이시카와노부유키 , 마츠이유타카 , 야스다쿄노 , 후지모토코지 , 스기모토시게아키
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/24 , G01N29/265 , G01N29/27

7. 发明授权

KR101950158B1 밀봉 팩 제품의 검사 장치 및 검사 방법 有权
公开(公告)号：KR101950158B1
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：KR1020187007866
申请日：2014-09-26
申请人： 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
发明人： 나라아키히로
IPC分类号： G01N29/032 , G01N29/265 , G01N29/27

8. 发明公开

KR1020160021301A 웨이퍼 스택에 있는 결함 및 층 두께를 측정하기 위한 측정 장치 및 측정 방법 无效
标题翻译：用于测量层厚度的测量装置和方法以及WAFER STCAK中的缺陷
公开(公告)号：KR1020160021301A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020167002955
申请日：2010-11-12
申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하
发明人： 빔플링거,마르쿠스
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/95 , G01B11/06 , H01L21/67 , G01B17/02 , G01B7/06 , G01N29/04 , G01N29/265 , G01N29/27
CPC分类号： H01L22/20 , G01B7/06 , G01B11/0625 , G01B17/02 , G01B17/025 , G01N21/9501 , G01N21/9505 , G01N29/043 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N29/275 , G01N2291/0231 , G01N2291/02854 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/2697 , H01L21/67253 , H01L21/67288 , H01L22/12
摘要： 본발명은웨이퍼스택위에분포된복수의측정점들에서웨이퍼스택의하나또는그 이상의층의결함및/또는층 두께를탐지하거나및/또는측정하기위한측정장치및 방법, 그리고이에상응하는웨이퍼처리장치에관한것이다.

9. 发明授权

KR100822696B1 압연기의 롤러에서 균열, 파손 등과 같은 표면 결함을검출하기 위한 검출 방법, 검출 장치 및 검출 회로 失效
标题翻译：用于检测表面缺陷的方法，装置和电路如破碎机，破碎机和类似于轧制机的滚子
公开(公告)号：KR100822696B1
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：KR1020067024554
申请日：2005-10-19
申请人： 에스엠에스 그룹 게엠베하
发明人： 피게디터
IPC分类号： G01N29/22 , G01N29/24 , G01N29/27
CPC分类号： G01N29/2493 , G01N29/225 , G01N29/27 , G01N29/44 , G01N2291/0258 , G01N2291/0422 , G01N2291/048 , G01N2291/102 , G01N2291/2634 , G01N2291/265
摘要： 본 발명은 압연기(1)의 롤러(2)에서, 특히 수직 스탠드(3)에 지지 롤러(2b)와 함께 장착되는 작업 롤러(2a)에서 예컨대 균열, 파손 등과 같은 표면 결함을 검출하기 위한 검출 방법, 검출 장치 및 검출 회로에 관한 것이다. 상기 롤러들(2)는 그들의 작동 위치에서 결함에 대해 검사될 수 있다. 이러한 검사는, 약 0.5 내지 2MHz의 주파수를 갖는 생성된 횡단 초음파(4a)가 제1 롤러 단부(2c)로 전송되어 제2 롤러 단부(2d)에서 수신되는 방식으로 이루어지며, 그리고 측정 과정 동안 초음파 변환기(5)와 초음파 수신기(6)는 검사 시간 동안 롤러 표면(2e)에 거의 밀착된다.
압연기, 롤러, 표면 결함, 초음파, 변환기, 수신기

10. 发明公开

KR1020070011535A 압연기의 롤러에서 균열, 파손 등과 같은 표면 결함을검출하기 위한 검출 방법, 검출 장치 및 검출 회로 失效
标题翻译：用于检测表面缺陷的方法，装置和电路如破碎机，破碎机和类似于轧制机的滚子
公开(公告)号：KR1020070011535A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020067024554
申请日：2005-10-19
申请人： 에스엠에스 그룹 게엠베하
发明人： 피게디터
IPC分类号： G01N29/22 , G01N29/24 , G01N29/27
CPC分类号： G01N29/2493 , G01N29/225 , G01N29/27 , G01N29/44 , G01N2291/0258 , G01N2291/0422 , G01N2291/048 , G01N2291/102 , G01N2291/2634 , G01N2291/265
摘要： The invention relates to a method, device and a circuit for detecting surface defects such as cracks, fractures and the like on a roller (2) for a rolling mill (1), in particular on the working rollers (2a) which are mounted with support roller (2b) on a vertical stand (3). The rollers (2) are verified for detecting defects in the operation position thereof, transversal ultrasonic waves (4a) whose frequency is approximately equal to 0.5-2 MHz are transmitted to the first end of the roller (2c) and are received on the second end (2d) thereof and during a measuring process an ultrasound transducer (5) and an ultrasound receiver (6) are pressed against the cylinder (2e) surface for a test time. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：本发明涉及用于检测轧机（1）的辊（2），特别是在安装有轧机（1）的工作辊（2a）上的表面缺陷如裂纹，断裂等的方法，装置和电路支撑辊（2b）在垂直支架（3）上。验证辊（2）检测其操作位置的缺陷，将频率近似等于0.5-2MHz的横向超声波（4a）传递到辊（2c）的第一端并在第二（2d），并且在测量过程中，超声换能器（5）和超声波接收器（6）被压靠在气缸（2e）表面上以进行测试时间。 ®KIPO＆WIPO 2007

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