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1. 发明授权

KR101779736B1 접합 상태 검사 방법 有权
公开(公告)号：KR101779736B1
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020167028776
申请日：2015-04-07
申请人： 닛산 지도우샤 가부시키가이샤
发明人： 나카야마히로타카 , 김태원 , 고토유키나리 , 사토도루 , 마츠오카다카시
IPC分类号： B23K20/10 , G01N29/04 , B23K20/26 , B23K31/02
CPC分类号： B23K20/10 , B23K20/26 , B23K31/12 , B23K31/125 , G01N29/04 , G01N29/045 , G01N2291/0231
摘要： 초음파접합된판상부재의접합상태의양부를고정밀도로판정할수 있는접합상태검사방법을제공한다. 본발명의접합상태검사방법은, 앤빌상에겹쳐적재된복수의판상부재에진동하는혼을압박하여판상부재를초음파접합할때마다, 앤빌에의에너지전달률을측정하는측정단계와, 초음파접합할때마다측정된에너지전달률을사용하여, 변동역치를산출하는산출단계와, 측정단계에있어서측정된에너지전달률과, 하나전의초음파접합의산출단계에있어서산출된변동역치의크기를비교함으로써, 판상부재의접합상태의양부를판정하는판정단계를갖는다.

2. 发明授权

KR101387874B1 레이저 초음파 검사 시스템 내의 검출 레이저용 전치증폭기 有权
标题翻译：用于激光超声波检测系统中检测激光器的前置放大器
公开(公告)号：KR101387874B1
公开(公告)日：2014-04-22
申请号：KR1020097014395
申请日：2007-12-21
申请人： 록히드 마틴 코포레이션
发明人： 두보이스,마크 , 드레이크,주니어.,토마스이. , 얀,케네쓰알.
IPC分类号： G01N29/24 , G01N21/17 , G01H9/00
CPC分类号： G01H9/008 , G01N21/1702 , G01N29/2418 , G01N2021/1706 , G01N2291/0231
摘要： 펄스 검출 레이저가 제공된다. 펄스 검출 레이저는 단일 주파수 오실레이터와, 연속 전치증폭기와, 펄스형 증폭기를 포함한다. 단일 주파수 오실레이터는 시드 레이저 빔을 발생하고 연속 전치증폭기로 광학적으로 연결된다. 상기 연속 전치증폭기는 시드 레이저를 증폭시켜서 중간 파워 레이저 빔을 생성할 수 있다. 연속 전치증폭기로 광학적으로 연결되는 펄스형 증폭기가 중간 파워 레이저 빔을 수신하고, 상기 중간 파워 레이저 빔을 증폭시켜서, 펄스 검출 레이저 빔을 생성할 수 있다. 이러한 펄스 검출 레이저는 초음파 변위를 조명하는 기능을 수행한다. 레이저로부터의 광이 산란되고, 채집되며, 간섭계에 의해 분석되어, 부품의 표면에서의 초음파의 리턴 에코에 의해 발생되는 초음파 변위를 복조할 수 있다.

3. 发明公开

KR1020130139251A 웨이퍼 스택에 있는 결함 및 층 두께를 측정하기 위한 측정 장치 및 측정 방법 无效
标题翻译：用于测量层厚度的测量装置和方法以及WAFER STCAK中的缺陷
公开(公告)号：KR1020130139251A
公开(公告)日：2013-12-20
申请号：KR1020137008189
申请日：2010-11-12
申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하
发明人： 빔플링거,마르쿠스
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N21/95 , H01L21/66 , G01B7/06
CPC分类号： H01L22/20 , G01B7/06 , G01B11/0625 , G01B17/02 , G01B17/025 , G01N21/9501 , G01N21/9505 , G01N29/043 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N29/275 , G01N2291/0231 , G01N2291/02854 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/2697 , H01L21/67253 , H01L21/67288 , H01L22/12
摘要： 본 발명은 웨이퍼 스택 위에 분포된 복수의 측정점들에서 웨이퍼 스택의 하나 또는 그 이상의 층의 결함 및/또는 층 두께를 탐지하거나 및/또는 측정하기 위한 측정 장치 및 방법, 그리고 이에 상응하는 웨이퍼 처리 장치에 관한 것이다.

4. 发明公开

KR1020090040318A 초음파 레이저 테스트용 광섬유 레이저 有权
标题翻译：用于超声波激光测试的光纤激光器
公开(公告)号：KR1020090040318A
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：KR1020097002456
申请日：2007-07-18
申请人： 록히드 마틴 코포레이션
发明人： 드라크,토마스 , 두보이스,마크
IPC分类号： G01N29/24 , G01N29/265 , G01N21/17 , G01H9/00
CPC分类号： G01N29/2418 , G01H9/004 , G01N29/265 , G01N2291/0231
摘要： Embodiments of the present invention relates to an improved laser for the optical detection of ultrasound. The primary task of this "first" detection laser is to illuminate the spot where a "second" laser is used to generate ultrasound in the part under test. The scattered light from the first laser is collected and analyzed with an interferometer to demodulate the surface vibrations caused by the return echoes of the ultrasound at the surface of the part. The improved detection laser (first laser) is constructed using a diode-pumped fiber laser to produce a high power single-frequency laser source.
摘要翻译：本发明的实施例涉及一种用于超声波光学检测的改进的激光器。该“第一”检测激光器的主要任务是照亮“第二”激光器在被测部件中产生超声的位置。收集来自第一激光器的散射光并用干涉仪进行分析，以解调由在该部件表面的超声波的返回回波引起的表面振动。改进的检测激光器（第一激光器）使用二极管泵浦的光纤激光器来构造，以产生高功率单频激光源。

5. 发明公开

KR1020030086325A 에코 주기들을 합하여 약한 반사성을 나타내는 부분층의두께를 측정하기 위한 초음파 방법 无效
标题翻译：通过组合回波周期来测量显示弱反射率的局部层的厚度的超声波方法
公开(公告)号：KR1020030086325A
公开(公告)日：2003-11-07
申请号：KR1020037012562
申请日：2002-03-01
申请人： 아레바 게엠베하
发明人： 두스트,마르틴
IPC分类号： G01B17/02
CPC分类号： G01N29/40 , G01B17/025 , G01N29/07 , G01N2291/0231 , G01N2291/02854 , G01N2291/0422 , G01N2291/2632
摘要： 본 발명은 경계면 반사가 약화된 다층 부품 내 부분층 두께의 초음파 측정에 관한 것이다. 초음파 프로브를 통해 부품의 미리 정해진 위치에 다수의 전송 펄스가 생성된다. 그 결과 발생한, 전송 펄스에 관련된 에코 신호가 HF 영상으로서 디지털 방식으로 기록된다. 컴퓨터 프로그램을 통해 전파 시간이 상이한 다수의 벽두께 에코 주기들이 상응하게 중첩된다.

6. 发明公开

KR1020010082508A 초음파 검사 장치 및 초음파 프로브 失效
标题翻译：超声波检查装置和超声探头
公开(公告)号：KR1020010082508A
公开(公告)日：2001-08-30
申请号：KR1020000044085
申请日：2000-07-29
申请人： 히다치 겡키 가부시키 가이샤
发明人： 다키시타요시히코 , 야마모토히로시
IPC分类号： G01N29/24 , G01N29/265
CPC分类号： G10K11/30 , G01N29/0645 , G01N29/2456 , G01N29/265 , G01N2291/0231 , G01N2291/0258 , G01N2291/051 , G01N2291/056 , G01N2291/057 , G01N2291/101 , G01N2291/106 , G01N2291/2632
摘要： PURPOSE: An ultrasonic inspector is provided to evaluate the soundness of a surface layer of an object to be inspected with high accuracy up to the end part of the object irrespective of the thickness, the bottom state, the inside state or the like of base material. CONSTITUTION: An ultrasonic inspector consists of an ultrasonic scanning part(10) having an ultrasonic probe(1) for two-dimensionally scanning ultrasonic waves on the surface of an object via an ultrasonic medium; a drive part(20) for the ultrasonic scanning part; and a computing/processing part(30) controlling the ultrasonic scanning part via the drive part and inspecting the defect of a film formed on the surface of base material as the object. Angle-beam incident waves exciting leakage surface acoustic waves are transmitted to the object from the ultrasonic probe. The leakage waves from the object are received by the ultrasonic probe. When the close contact property of the ultrasonic probe with the object is good, the reception level of the leakage waves becomes small. When the close contact property is bad, the reception level of the leakage waves becomes large. The computing/processing part evaluates the close contact degree of a sprayed film with the base material from the reception level of the leakage waves.
摘要翻译：目的：提供一种超声波检测器，无论基材的厚度，底部状态，内部状态等如何，都可以高精度地评估要检查的物体的表面层的健全性，直到物体的端部。构成：超声波检查器由具有超声波探头（1）的超声波扫描部（10）组成，用于经由超声波介质二维扫描物体表面上的超声波; 用于超声波扫描部件的驱动部件（20）; 以及经由所述驱动部控制所述超声波扫描部的计算/处理部（30），并且检查形成在所述基材的表面上的膜的缺陷作为所述物体。激光泄漏表面声波的角束入射波从超声波探头传输到物体。来自物体的泄漏波被超声波探头接收。当超声波探头与物体的紧密接触性良好时，泄漏波的接收电平变小。当接触密封性差时，泄漏波的接收电平变大。计算/处理部分根据泄漏波的接收电平来评估喷涂膜与基材的紧密接触度。

7. 发明公开

KR1020170120710A 웨이퍼 스택에 있는 결함 및 층 두께를 측정하기 위한 측정 장치 및 측정 방법 审中-实审
标题翻译：用于测量晶圆堆栈中的缺陷和层厚度的测量设备和方法
公开(公告)号：KR1020170120710A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：KR1020177029911
申请日：2010-11-12
申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하
发明人： 빔플링거,마르쿠스
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N21/95 , G01B7/06
CPC分类号： H01L22/20 , G01B7/06 , G01B11/0625 , G01B17/02 , G01B17/025 , G01N21/9501 , G01N21/9505 , G01N29/043 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N29/275 , G01N2291/0231 , G01N2291/02854 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/2697 , H01L21/67253 , H01L21/67288 , H01L22/12
摘要： 본발명은웨이퍼스택위에분포된복수의측정점들에서웨이퍼스택의하나또는그 이상의층의결함및/또는층 두께를탐지하거나및/또는측정하기위한측정장치및 방법, 그리고이에상응하는웨이퍼처리장치에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在分布在晶片堆叠上的多个测量点处检测和/或测量晶片堆叠的一个或多个层的缺陷和/或层厚度的测量设备和方法，以及相应的晶片处理设备它涉及。

8. 发明公开

KR1020170023729A 인-시튜 레이저 초음파 검사를 이용한 적응적 적층 제조 프로세스 审中-实审
标题翻译： - 使用现场激光超声波测试的自适应添加剂生产工艺
公开(公告)号：KR1020170023729A
公开(公告)日：2017-03-06
申请号：KR1020160107041
申请日：2016-08-23
申请人： 지멘스 에너지, 인코포레이티드
发明人： 카멜,아흐메드 , 쿨카니,아난드에이.
IPC分类号： B23K26/342 , B23K26/70 , B23K31/12 , B22F3/105 , B33Y30/00
CPC分类号： B33Y40/00 , B22F3/1055 , B22F3/24 , B22F2003/248 , B22F2998/10 , B23K20/10 , B23K26/03 , B23K26/342 , B23K26/346 , B23K31/125 , B33Y10/00 , B33Y50/02 , C21D1/30 , C21D1/34 , C21D1/42 , C21D7/06 , C21D10/005 , G01N29/043 , G01N2291/023 , G01N2291/0231 , G01N2291/02827 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , Y02P10/253 , Y02P10/295
摘要： 본발명은적층제조프로세스에관한것이며, 적층제조프로세스는: 고체증착부(28)를갖는고체증착층(10)을형성하기위해선택적레이저가열프로세스를통해파우더(18)의층을선택적으로-가열하는단계― 고체증착층은컴포넌트의부분(24)을구성함―; 파-생성레이저빔(42)을고체증착부의표면(44)에지향시키기위해그 표면으로부터이격된파 생성레이저(40) 세트를이용함으로써컴포넌트의완성전에고체증착부를통해초음파에너지파들(50, 60)을전파하는단계; 전파된초음파에너지파들(62)을검출하는단계; 고체증착부의물리적특징에관한정보를위해전파된초음파파들을평가하는단계; 및고체증착부에관해획득된정보에응답하는방식으로다른고체증착층(80)을형성하는단계를포함한다.
摘要翻译：一种添加剂制造方法，包括：选择性地加热一层粉末（18）以形成具有固体沉积物（28）的固体沉积物层（10），其中固体沉积层构成部件的部分（24），经由选择性激光加热工艺; 通过使用与固体沉积物的表面（44）分开的波形产生激光器（40）在部件完成之前通过固体沉积物传播超声能量波（50,60），以引导波发生激光束）在表面; 检测传播的超声能量波（62）; 评估传播的超声波信息关于固体沉积物的物理特征; 以及响应于关于固体沉积物获得的信息形成另一固体沉积物层（80）。

9. 发明授权

KR101672916B1 적층체의 박리검사방법 및 박리검사장치 有权
标题翻译：层状分离测试方法和分离测试设备
公开(公告)号：KR101672916B1
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：KR1020147028492
申请日：2013-04-23
申请人： 히하카이켄사 가부시키가이샤 , 미쯔비시 가꼬끼 가이샤 리미티드
发明人： 나가이다츠유키 , 기타사카쥰이치 , 엔도켄
IPC分类号： G01N29/04 , G01B17/02
CPC分类号： G01N29/07 , G01N29/48 , G01N2291/0231 , G01N2291/044 , G01N2291/2695
摘要： 간편하면서적층체의층간박리를명료하게검출하는것이가능한적층체의박리검사방법및 박리검사장치를제공하는것. 복수의부재(20, 30)는, 초음파의파장보다도얇은박층(40)을통해적층되어있다. 사전에, 복수의부재(20, 30) 및박층(40)이서로밀접한건전부에있어서다중반사파를수신하고, 그다중반사파에있어서복수회의반사를반복한반사파의전파시간을구한다. 적층체(10)의검사부(E)에있어서다중반사파를수신하고, 그다중반사파에있어서복수회의반사를반복한반사파의전파시간을구한다. 이전파시간들을비교하는것에의해일측(11)으로부터격리되는측에위치하는박층(40)의제1계면(F1)에있어서박리의유무를검사한다.
摘要翻译：提供能够容易且清楚地检测层叠体的层间剥离的层状体剥离检查方法和剥离检查装置。预先在层叠体的无缺陷部分和模拟分离部分中接收多次反射波，并且获得多次反射波的回波高度之差的反射波的反射次数在模拟脱离部的无缺陷区域和多反射波的回波高度处于规定水平以上。通过在层状体（10）的测试位置（E）中接收多重反射波来测试是否存在层间剥离，并且将反射波的回波高度与测试场所中的反射数（E ）到无缺陷部分中的反射次数的反射波的回波高度。

10. 发明公开

KR1020140100579A 침착물을 검출하기 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于检测沉积物的装置和方法
公开(公告)号：KR1020140100579A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：KR1020147019990
申请日：2012-12-20
申请人： 솔레니스 테크놀러지스 케이맨, 엘.피.
发明人： 사이다프랑크 , 플로켄크리스티안 , 비에르간스파트릭 , 슐츠미하엘
IPC分类号： G01N17/00 , G01N29/00 , G01N29/04 , G01B17/02 , G01K13/00
CPC分类号： G01N29/043 , G01B17/02 , G01N17/008 , G01N29/00 , G01N29/44 , G01N2291/0231 , G01N2291/0237 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/045 , G01N2291/101 , G01N2291/2636
摘要： 본원 발명은 액체-포함 시스템 내부의 반사 지역 내의 침착물을 검출하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로서, 반사 지역을 향해서 초음파 방출 신호를 방출하기 위한 초음파 변환기 및 반사 지역의 지역 내의 초음파 방출 신호의 반사에 의해서 얻어지는 초음파 반사 신호를 검출하기 위한 검출 수단을 포함하고, 상기 장치는 상기 반사 지역의 온도를 증가시키기 위한 가열 수단을 더 포함한다.

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