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    • 2. 发明公开
    • 분리 장치
    • 分离装置
    • KR1020150087798A
    • 2015-07-30
    • KR1020150001029
    • 2015-01-06
    • 가부시기가이샤 디스코
    • 모리카즈히로시고야나기다스쿠다바타신
    • H01L33/00
    • B32B43/006B32B38/10B32B2457/14Y10T156/1137Y10T156/1184Y10T156/1906Y10T156/1939Y10T156/1961Y10T156/1967Y10T156/1972H01L33/0004
    • 본발명은제1 기판과제2 기판이접합된복합기판을제1 기판과제2 기판으로용이하게분리할수 있는분리장치를제공하는것을과제로한다. 제1 기판과제2 기판이접합된복합기판을제1 기판과제2 기판으로분리하는분리장치로서, 복합기판을수평상태로지지하는지지면을구비한지지베이스와, 지지베이스에설치되며지지면에배치된복합기판의외주측면을지지하는측면지지수단과, 지지베이스의지지면및 측면지지수단에지지된복합기판을구성하는제1 기판과제2 기판의경계부에삽입하여제1 기판과제2 기판을박리하는박리수단을구비하고, 박리수단은, 측면지지수단과대향하는위치에지지베이스의지지면과평행상태로설치되며제1 기판과제2 기판의경계부에삽입하기위한쐐기부를구비하고, 쐐기부의선단에개구된가스분출구멍을갖는박리부재와, 박리부재의그 가스분출구멍에가스를공급하는가스공급수단과, 박리부재를지지베이스의그 지지면에대하여수직인방향으로이동시켜쐐기부를제1 기판과제2 기판의경계부에위치부여하는박리부재위치부여수단과, 박리부재의쐐기부를지지베이스의그 지지면및 측면지지수단에지지된복합기판을구성하는제1 기판과제2 기판의경계부로진퇴시키는박리부재진퇴수단을구비하고있다.
    • 本发明的目的是提供一种分离装置,其能够容易地将第一基板和第二基板接合到第一基板和第二基板中的复合基板分离。 分离装置包括:支撑基座,具有用于将复合基板保持在水平状态的支撑表面; 侧表面支撑装置,安装在所述支撑基座中以支撑布置在所述支撑表面中的所述复合基板的外周的侧表面; 以及分离装置,通过插入第一基板和形成由侧表面支撑装置支撑的复合基板的第二基板和支撑基座的支撑表面的边界来分离第一基板和第二基板。 分离装置包括:分离构件,具有用于插入第一基板和第二基板的边界中的楔形部分,同时与支撑基座的支撑表面平行地设置在与侧面支撑装置相对的位置, 并具有在楔形部分的前端开口的气体喷射孔; 气体供给装置,用于向分离构件的气体喷射孔提供气体; 分离构件定位装置,用于在所述分离构件沿与所述支撑基座的支撑表面垂直的方向上移动时将所述楔形部分定位在所述第一基板和所述第二基板的边界中; 以及分离构件前进和后退装置,用于将分离构件的楔形部分前进和后退到第一基板和形成由侧表面支撑装置和支撑基座的支撑表面支撑的复合基板的边界的边界。
    • 3. 发明公开
    • 박리 장치, 박리 시스템, 박리 방법 및 컴퓨터 기억 매체
    • 剥离装置,剥离系统,剥离方法和计算机存储介质
    • KR1020150042734A
    • 2015-04-21
    • KR1020140136659
    • 2014-10-10
    • 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
    • 혼다마사루사카모토료이치
    • H01L21/677H01L21/78
    • B32B38/18B32B38/10B32B38/1858B32B43/006B32B2309/105B32B2457/14H01L21/67092H01L21/67132Y10T156/1132Y10T156/1168Y10T156/1944Y10T156/1967Y10T156/1994H01L21/67712
    • [과제] 피처리기판과지지기판의박리처리를효율적으로행한다. [해결수단] 박리장치는, 중첩기판중 지지기판을유지하는제1 유지부와, 중첩기판중 피처리기판을유지하는제2 유지부와, 제1 유지부의외주부의일부를제2 유지부로부터분리하는방향으로이동시키는이동부를갖는다. 제1 유지부는, 이동부에접속되는판형의탄성부재와, 탄성부재에설치되고, 지지기판을흡착하는복수의흡착부를갖는다. 복수의흡착부중, 박리의기점이되는지지기판(S)의외주부를흡착하는외주흡착부(53)는, 지지기판(S)의흡착면(521a)이개구되어중공부(521b)가형성된패드부재(521)와, 패드부재(521)의중공부(521b)에감입하여설치되고, 패드부재(521)보다높은경도를갖는서포트부재(522)를갖는다.
    • [主题]对被处理基板和支撑基板进行有效的剥离处理。 [解决方案]剥离装置包括:第一维护部件,用于将支撑基板保持在叠置的基板之间; 第二维护部件,用于将处理过的基板保持在叠加的基板之间; 以及移动部件,用于使第一维护部件的外周的一部分沿与第二维修部分分离的方向移动。 第一维护部件包括:连接到移动部件的平面弹性部件; 以及多个吸附部,安装在弹性部件上以吸附支撑基板。 在多个吸附部之间吸附作为剥离开始点的支承基板(S)的圆周部的圆周吸附部(53)通过嵌入形成中空部(521b)的垫部(521a)而被安装 ),其中所述支撑基板(S)的吸附表面(521a)打开并且在衬垫构件(521)的中空部分(521b)中,并且具有硬度高于所述衬垫构件的支撑构件(522) 521)。