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    • [과제] 피처리기판과지지기판의박리처리를효율적으로행한다. [해결수단] 박리장치는, 중첩기판중 지지기판을유지하는제1 유지부와, 중첩기판중 피처리기판을유지하는제2 유지부와, 제1 유지부의외주부의일부를제2 유지부로부터분리하는방향으로이동시키는이동부를갖는다. 제1 유지부는, 이동부에접속되는판형의탄성부재와, 탄성부재에설치되고, 지지기판을흡착하는복수의흡착부를갖는다. 복수의흡착부중, 박리의기점이되는지지기판(S)의외주부를흡착하는외주흡착부(53)는, 지지기판(S)의흡착면(521a)이개구되어중공부(521b)가형성된패드부재(521)와, 패드부재(521)의중공부(521b)에감입하여설치되고, 패드부재(521)보다높은경도를갖는서포트부재(522)를갖는다.
    • [主题]对被处理基板和支撑基板进行有效的剥离处理。 [解决方案]剥离装置包括:第一维护部件,用于将支撑基板保持在叠置的基板之间; 第二维护部件,用于将处理过的基板保持在叠加的基板之间; 以及移动部件,用于使第一维护部件的外周的一部分沿与第二维修部分分离的方向移动。 第一维护部件包括:连接到移动部件的平面弹性部件; 以及多个吸附部,安装在弹性部件上以吸附支撑基板。 在多个吸附部之间吸附作为剥离开始点的支承基板(S)的圆周部的圆周吸附部(53)通过嵌入形成中空部(521b)的垫部(521a)而被安装 ),其中所述支撑基板(S)的吸附表面(521a)打开并且在衬垫构件(521)的中空部分(521b)中,并且具有硬度高于所述衬垫构件的支撑构件(522) 521)。