专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR100492084B1 위치검출기구를 구비한 매니폴드밸브 有权
标题翻译：一种具有位置检测机构的歧管阀
公开(公告)号：KR100492084B1
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：KR1020030027099
申请日：2003-04-29
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 미스미케이지
IPC分类号： F16K37/00
CPC分类号： F15B13/0839 , F15B13/0402 , F15B13/0817 , F15B13/0821 , F15B13/0853 , F15B13/0857 , F15B13/086 , F15B13/0864 , F15B13/0875 , F15B2013/0409 , F16K31/426 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242 , Y10T137/8326 , Y10T137/86614 , Y10T137/87885
摘要： 전환밸브에의 위치센서의 부착이 간단하고, 상기 위치센서와 매니폴드베이스 사이의 배선도 용이하며, 유지보수시의 취급도 용이한 매니폴드밸브를 얻는다.
전환밸브(2)의 케이싱(6)에 설치한 부품수용실(19) 내에, 스풀(8)의 동작위치를 검출하는 위치센서(22a, 22b)를 수용하고, 제1의 오목부(20) 내에는 상기 위치센서(22a, 22b)와 파일롯밸브(5a, 5b)의 양쪽에 접속된 제1중계커넥터(31)를 수용하고, 매니폴드베이스(3)에는 제2의 오목부(38) 내에 상기 제1중계커넥터(31)와 전기접속되는 제2중계커넥터(39)를 수용함과 아울러, 기판수용실(37) 내에 이 제2중계커넥터(39)와 전기접속된 주배선기판(36)을 수용한다.

2. 发明公开

KR1020060023961A 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터 쳄버로의가스분류공급장치 및 가스분류공급방법 有权
标题翻译：用于从流量调节装置的气体输送装置到室的分配和进料气体的装置
公开(公告)号：KR1020060023961A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：KR1020057020342
申请日：2004-06-10
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 스기야마가즈히코 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 도히료우스케 , 우에노야마도요미
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要： A treatment gas with a predetermined flow rate (Q) is accurately and quickly divided and fed from gas feeding equipment having a flow rate regulating device into a chamber with a desired flow rate ratio (Q1/Q2). Opening/closing valve (OV1, OV2) are provided in branch feeding lines (GL 1, GL2) for feeding a gas (G) with the predetermined flow rate (Q) to the chamber from a gas feeding equipment (1) having a flow rate-regulating device (QCS). Further provided are a bypass line (BL 1) located on the downstream side of the valve (OV1) and branched from (GL1, BL2)located on the downstream side of the valve (OV2) and branched from (GL2), a pressure- type divisional flow rate regulator (FV) connected to the bypass line (BL1) and the bypass line (BL2), a pressure sensor (PS1) for measuring the pressure in the branch feeding line (GL1), and a pressure sensor (PS2) for measuring the pressure in the branch feeding line (GL2). With the structure above, the gas with a total amount of Q = Q1 + Q2 is fed in divided flows with desired divided flow rates (Q1, Q2) to the chamber (C) through shower plates (3, 4) fixed to terminals of branch feeding lines (GL1, GL2).
摘要翻译：具有预定流量（Q）的处理气体被准确且快速地分离并从具有流量调节装置的气体供给设备进料到具有期望流量比（Q1 / Q2）的室中。开/关阀（OV1，OV2）设置在用于从具有流动的气体供给设备（1）向腔室供给具有预定流量（Q）的气体（G）的分支供给管线（GL1，GL2）速率调节装置（QCS）。还设置有位于阀（OV1）的下游侧并从位于阀（OV2）的下游侧的（GL1，BL2）分支并从（GL2）分支的旁路管线（BL1）连接到旁路管线（BL1）和旁路管路（BL2）的分级流量调节器（FV），用于测量分支供给管线（GL1）中的压力的压力传感器（PS1）和压力传感器（PS2）用于测量分支馈电线（GL2）中的压力。通过上述结构，将总量为Q = Q1 + Q2的气体通过固定到端子的喷淋板（3,4）以具有期望的分流流量（Q1，Q2）的分流供给到室（C）分支喂养线（GL1，GL2）。

3. 发明公开

KR1020020061156A 센서가 부착된 전자밸브 有权
标题翻译：带传感器的电磁阀
公开(公告)号：KR1020020061156A
公开(公告)日：2002-07-23
申请号：KR1020020001186
申请日：2002-01-09
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 미야조에신지 , 이시카와마코토
IPC分类号： F16K37/00
CPC分类号： F15B13/0839 , F15B13/0431 , F15B13/0817 , F15B13/0853 , F15B13/0857 , F15B13/086 , F15B13/0864 , F15B13/0875 , F16K27/003 , F16K37/00 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242 , Y10T137/8326 , Y10T137/87885
摘要： PURPOSE: To provide a solenoid valve having a sensor having improved safety and reliability by simplifying the construction of and facilitating the assembly of monitoring means for monitoring adaptability of input/output pressures in the solenoid valve 1 and the changed-over condition of a valve element. CONSTITUTION: The solenoid valve 1 with the sensor comprises the solenoid valve 1, a base 2 for feeding/discharging a pressure fluid to/from ports P, A, B, EA, EB of the solenoid valve 1 and an intermediate block 3 arranged between the solenoid valve and the base. The intermediate block 3 is provided with communication passages 53, 54A, 54B, 55A, 55B for individually communicating the ports of the solenoid valve, with flow passages in the base and is also provided with a conduit 56 traversing the communication passages. The conduit is provided with a pressure introduction port 58 opened to the communication passage 53, in which a pressure is to be detected, and the intermediate block 3 is provided with a pressure sensor 60 for detecting the pressure introduced through the conduit.
摘要翻译：目的：提供一种具有传感器的电磁阀，其通过简化监控装置的结构并且便于组装以监测电磁阀1中的输入/输出压力和阀元件的转换状态的适应性，从而提高安全性和可靠性。构成：具有传感器的电磁阀1包括电磁阀1，用于向/从电磁阀1的端口P，A，B，EA，EB供给/排出压力流体的基座2和布置在电磁阀1之间的中间块3 电磁阀和底座。中间块3设置有连通通道53,54A，54B，55A，55B，用于单独地将电磁阀的端口与基座中的流动通道连通，并且还设有穿过连通通道的导管56。导管设置有通向连通通道53的压力引入口58，其中要检测压力，并且中间块3设置有用于检测通过导管引入的压力的压力传感器60。

4. 发明授权

KR101494277B1 밸브 모니터링 디바이스 및 시스템 有权
标题翻译：用于监控阀的装置和系统
公开(公告)号：KR101494277B1
公开(公告)日：2015-03-02
申请号：KR1020097014403
申请日：2007-12-24
申请人： 엘타브 와이어리스 모니터링 리미티드
发明人： 라돔스키이스라엘 , 푹스로이벤 , 칼만이스라엘 , 네메노프아미르 , 갈오하드
IPC分类号： F16K37/00 , H04L12/26 , H04B7/24
CPC分类号： F16K37/0083 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242
摘要： 본 발명은, 설비에서 밸브를 모니터링하는 네트워크 시스템으로서, (a) 각각의 모니터링 디바이스(11)가 밸브(1)에 부착된, 복수의 밸브 모니터링 디바이스(VMD)(11)를 포함하고, 상기 모니터링 디바이스는: (a.1) 밸브의 상태를 검지하는 센서; (a. 2) 상기 센서에 의해 검지된 것과 같은 상태를 전송하고, 상기 디바이스의 식별자와 함께, 검지된 상기 상태를 단거리 영역 내에 배치된 하나 이상의 밸브 디바이스 리더(VDR)(18)로 전송하는 단거리 영역 무선 통신 유닛; (a. 3) 밸브의 정상적인 동작을 방해하지 않는 방식으로 모니터링된 밸브에 상기 디바이스를 부착하는 메커니즘; 및 (a. 4) 상기 VMD로부터 밸브의 상태와 VMD의 식별자의 전송을 수신하고 상기 수신된 것을 이더넷 통신(25)에 의해 서버(21)로 포워딩하는 하나 이상의 VDR을 포함하는 네트워크 시스템에 관한 것이다.
설비, 밸브, 모니터링, 네트워크 시스템, 모니터링 디바이스, 센서, 식별자, 밸브 디바이스 리더, 단거리 무선 통신 유닛, 메커니즘, 이더넷 통신

5. 发明授权

KR100478095B1 출력압을 모니터할 수 있는 밸브유닛 有权
标题翻译：能监测输出压力的阀门单元
公开(公告)号：KR100478095B1
公开(公告)日：2005-03-25
申请号：KR1020020063412
申请日：2002-10-17
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 도이요시타다 , 노무라마코토
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D16/2093 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242 , Y10T137/8326 , Y10T137/86614 , Y10T137/8671 , Y10T137/87885
摘要： 유체압 제어기구를 갖는 밸브유닛에 있어서, 압력설정이 완료한 상태 등을 모니터하는 수단을, 간단 또한 콤팩트하게 조립가능하게 한다.
베이스 탑재형 밸브와 출력압을 제어하는 압력제어장치(4)를 일체화하여 밸브유닛을 구성한다. 상기 압력제어장치는, 외부로부터의 설정압력의 전기신호에 따라서 출력압을 제어하는 압력제어부(42)와, 그 압력제어부로부터의 압력공기를 대유량화하여 출력하는 부스터부(43)를 일체화하여 구성한다. 압력제어부를 제어하는 신호제어부(45)에, 부스터부로부터 출력된 유체의 압력을 검출하는 압력센서(74)의 출력을 피드백하고, 이것이 설정압력과 동일할 때에, 압력설정완료의 신호를 모니터하기 위하여 출력하는 기능을 가지게 한다.

6. 发明公开

KR1020040002507A 위치검출기구를 구비한 매니폴드밸브 有权
标题翻译：具有位置检测机构的歧管阀
公开(公告)号：KR1020040002507A
公开(公告)日：2004-01-07
申请号：KR1020030027099
申请日：2003-04-29
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 미스미케이지
IPC分类号： F16K37/00
CPC分类号： F15B13/0839 , F15B13/0402 , F15B13/0817 , F15B13/0821 , F15B13/0853 , F15B13/0857 , F15B13/086 , F15B13/0864 , F15B13/0875 , F15B2013/0409 , F16K31/426 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242 , Y10T137/8326 , Y10T137/86614 , Y10T137/87885
摘要： PURPOSE: To provide a manifold valve simplifying the attachment of position sensors to a selector valve, facilitating the wiring between the position sensors and a manifold base, and facilitating the handling in maintenance. CONSTITUTION: The selector valve 2 is provided with the position sensors 22a and 22b detecting the operation position of a spool 8 stored in a component storage chamber 19 provided in its casing 6, and a first relay connector 31 connected to the both of the position sensors 22a and 22b and pilot valves 5a and 5b stored in a first recess part 20. The manifold base 3 is provided with a second relay connector 39 electrically connected to the first relay connector 31 stored in a second recess part 38, and a main circuit board 36 electrically connected to the second relay connector 39 stored in a board storage chamber 37.
摘要翻译：目的：提供一个歧管阀，简化了位置传感器与选择阀的连接，便于位置传感器和歧管底座之间的接线，便于维护中的处理。构成：选择阀2设置有检测存储在其壳体6中的部件存储室19中的卷轴8的操作位置的位置传感器22a和22b，以及连接到两个位置传感器的第一中继连接器31 22a和22b以及存储在第一凹部20中的先导阀5a和5b。歧管基座3设置有电连接到存储在第二凹部38中的第一中继连接器31的第二中继连接器39和主电路板 36电连接到存储在板存储室37中的第二中继连接器39。

7. 发明公开

KR1020010015330A 전자밸브의 동작관리방법 및 장치 失效
标题翻译：用于控制电磁阀操作的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010015330A
公开(公告)日：2001-02-26
申请号：KR1020000040387
申请日：2000-07-14
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 이시키와마코토 , 이시쯔카보부유키 , 모리카와후미오
IPC分类号： F16K31/06
CPC分类号： F16K31/0613 , F15B19/005 , F16K37/0083 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242
摘要： PURPOSE: To surely detect the abnormality of a solenoid valve before failure by judging whether the switching operation is normal or abnormal based on the operation time detected from the solenoid valve. CONSTITUTION: The position of the stroke end of a spool is detected by the detection means attached to a solenoid valve, and spool movement starting time until the spool starts its motion from the stroke end after the drive signal of the solenoid valve became ON or OFF, and spool movement finishing time until the spool reaches the stroke end are measured in a signal processing circuit 12 from the detected signal and clock signals for measurement, and whether the switching operation of the spool is normal or abnormal is judged by comparing their operation time T1-T4 with a plurality of reference values T1a-T4a and T1b-T4b which were input in the signal processing circuit 12 beforehand, and an indication signal is output according to the results of the judgment.
摘要翻译：目的：根据从电磁阀检测出的运转时间判断开关动作是否正常，确定故障前电磁阀的异常情况。构成：阀芯的行程端的位置由安装在电磁阀上的检测装置和阀芯移动开始时间检测，直到阀芯在电磁阀的驱动信号变为ON或OFF之后从行程末端开始运动，并且在信号处理电路12中根据检测信号和时钟信号测量到卷轴到达笔划末端的线轴移动完成时间，以及通过比较其操作时间来判断线轴的切换操作是正常还是异常具有预先输入到信号处理电路12中的多个参考值T1a-T4a和T1b-T4b的T1-T4，并且根据判断结果输出指示信号。

8. 发明公开

KR1020090098876A 밸브 모니터링 디바이스 및 시스템 有权
标题翻译：用于监控阀的装置和系统
公开(公告)号：KR1020090098876A
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：KR1020097014403
申请日：2007-12-24
申请人： 엘타브 와이어리스 모니터링 리미티드
发明人： 라돔스키이스라엘 , 푹스로이벤 , 칼만이스라엘 , 네메노프아미르 , 갈오하드
IPC分类号： F16K37/00 , H04L12/26 , H04B7/24
CPC分类号： F16K37/0083 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242
摘要： The invention relates to a network system for monitoring valves in a facility, which comprises: (a) a plurality of valve monitoring devices-VMDs (11), each monitoring device (11) is affixed to a valve (1), and comprises:, (a.l) a sensor for sensing the status of the valve,-(a.2) short range wireless communication unit for transmitting the status as sensed by said sensor, and for transmitting the status as sensed, together with an identification of said device, to one or more Valve Device Readers-VDRs (18) located within said short range; (a.3) mechanism for affixing the device to the monitored valve in a manner which does not disturb the normal operation of the valve,-and (a.4) one or more VDRs for receiving the transmission of the valve status and VMD identification from said VMDs, and for forwarding the same to a server (21) by Ethernet communication (25).
摘要翻译：本发明涉及一种用于监测设备中的阀门的网络系统，包括：（a）多个阀门监控装置-VMD（11），每个监测装置（11）固定在阀门（1）上，包括：（a）用于感测阀的状态的传感器， - （a.2）短距离无线通信单元，用于发送由所述传感器感测的状态，以及用于发送所感测的状态以及所述设备的标识位于所述短距离范围内的一个或多个阀装置读取器-VDR（18）; （a.3）机构，以不影响阀门正常运行的方式将设备固定到监控的阀门，以及（a.4）一个或多个用于接收阀门状态和VMD识别传输的VDR 并且通过以太网通信（25）将其转发到服务器（21）。

9. 发明授权

KR100905710B1 반도체 제조 공정으로 가스를 공급하기 위한 가스 운반시스템 失效
标题翻译：用于向半导体制造过程提供气体的气体输送系统
公开(公告)号：KR100905710B1
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：KR1020020057455
申请日：2002-09-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김유권 , 채승기 , 전재강 , 노영석 , 이용욱
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： C23C16/45561 , Y10T137/0318 , Y10T137/5762 , Y10T137/8175
摘要： 반도체 제조 공정으로 가스를 공급하기 위한 가스 운반 시스템(gas delivery system)을 제공한다. 본 발명의 일 관점에 의한 가스 운반 시스템은 반도체 제조 공정 설비로의 가스 공급을 위한 가스 공급부와, 가스 공급부의 가동을 제어하는 주 제어부, 및 주 제어부의 기능을 감시하여 주 제어부에 결함이 발생할 경우 주 제어부의 기능을 제한하여 가스 공급부가 주 제어부의 결함에 영향을 받지 않고 정상적으로 작동하도록 유지시키고 주 제어부를 다시 회복시키는 보조 제어부를 포함하여 구성된다.

10. 发明授权

KR100463227B1 센서가 부착된 전자밸브 有权
标题翻译： 센서가부착된전자밸브
公开(公告)号：KR100463227B1
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：KR1020020001186
申请日：2002-01-09
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 미야조에신지 , 이시카와마코토
IPC分类号： F16K37/00
CPC分类号： F15B13/0839 , F15B13/0431 , F15B13/0817 , F15B13/0853 , F15B13/0857 , F15B13/086 , F15B13/0864 , F15B13/0875 , F16K27/003 , F16K37/00 , Y10T137/8175 , Y10T137/8242 , Y10T137/8326 , Y10T137/87885
摘要： A solenoid valve 1 has a base 2 for supplying and discharging pressurized fluid to and from ports P, A, B, EA and EB of the solenoid valve 1, and an intermediate block 3 disposed between the solenoid valve 1 and the base 2. The intermediate block 3 is provided with communication passages 53, 54A, 54B, 55A and 55B for respectively bringing the ports of the solenoid valve and flow paths of the base into communication with each other. A conduit 56 crossing the communication passages is provided in the intermediate block 3. A pressure introducing port 58 opening at the communication passage 53 whose pressure is to be detected is formed in the conduit. A pressure sensor 60 for detecting pressure introduced through the conduit is provided in the intermediate block 3.
摘要翻译：电磁阀1具有用于将加压流体供给和排出电磁阀1的端口P，A，B，EA和EB以及设置在电磁阀1和基座2之间的中间块3的基座2。中间块3设有连通通道53,54A，54B，55A和55B，用于分别使电磁阀的端口和底座的流动通道相互连通。横穿连通通道的导管56设置在中间块体3中。在导管中形成压力引入口58，该压力引入口58在待检测压力的连通通道53处开口。用于检测通过导管引入的压力的压力传感器60设置在中间块3中。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式