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1. 发明授权

KR101510146B1 가스 분류 공급 장치 및 이것을 사용한 가스 분류 공급 방법 有权
标题翻译：用于分配气体的装置和使用其分配气体的方法
公开(公告)号：KR101510146B1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020130017918
申请日：2013-02-20
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 사와다요헤이 , 이케다노부카즈 , 도히료우스케 , 니시노코우지
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/13 , F16K31/06
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/0368 , Y10T137/776
摘要： [과제] 압력식유량제어장치로부터의가스류를복수의분류로를통해서분류공급하는가스분류공급장치에있어서가스도입시의분류로에있어서의가스의오버슛의발생을방지한다. [과제해결수단] 압력식유량제어장치(4)와, 압력식유량제어장치(4)로부터의가스를프로세스챔버(15)로분류공급하는병렬로접속한복수의분류로(L~Ln)와, 각분류로(L~Ln)에개재한열식유량센서(6a~6n)와, 열식유량센서(6a~6n)의하류측에설치된전동밸브(7a~7n)와, 각전동밸브(7a~7n)의개폐를제어하는스위칭형컨트롤러(16a~16n)를구비함과아울러상기스위칭형컨트롤러(16a~16n)를밸브개도제어지령신호(Sp)에의해전동밸브(7a~7n)를소정의일정밸브개도로유지하는밸브개도제어와, 분류량제어지령신호(Ss)에의해열식유량센서(6)의유량검출신호(Sm)에의거한피드백제어로전동밸브(7a~7n)의개도를조절하는분류량제어로스위칭가능하게한다.

2. 发明公开

KR1020150026920A 가스 분류 공급장치 및 가스 분류 공급방법 有权
标题翻译：气体供应装置和气体分配供应方法
公开(公告)号：KR1020150026920A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：KR1020140112466
申请日：2014-08-27
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 타카하시에이지 , 사사키노리카즈 , 사와치아츠시 , 사와다요헤이 , 이케다노부카즈 , 도히료우수케 , 니시노코우지
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , H01L21/02 , G05D7/0641 , G05D11/16
摘要： (과제) 압력식 유량 제어장치로부터의 가스 흐름을 복수의 분류로를 통해서 분류 공급하는 가스 분류 공급장치에 있어서, 가스 도입시의 분류로에 있어서의 가스의 오버슈트의 발생을 방지함과 아울러 분류량 제어의 응답성과 안정성과 제어 정밀도를 높인다.
(과제 해결수단) 가스 공급원으로부터의 가스의 유량 제어장치와, 유량 제어장치로부터의 가스를 가스 사용 개소로 분류하는 병렬로 접속된 복수의 분류로(L
1 ∼L
n )와, 각 분류로(L
1 ∼L
n )에 설치한 열식 유량센서와, 열식 유량센서(29a∼29n)의 하류측에 설치한 전동밸브(28a∼28n)와, 각 전동밸브(28a∼28n)의 개폐를 제어하는 컨트롤러(16a∼16n)와, 외부로부터 유량비 지령값이 입력됨과 아울러 각 열식 유량센서(29a∼29n)의 유량으로부터 총 유량을 연산하고, 상기 연산한 총 유량과 상기 유량비 지령값으로부터 각 분류로(L
1 ∼L
n )의 유량값을 연산해서 각 컨트롤러(16a∼16n)에 상기 연산 유량값을 설정 유량으로서 입력하는 유량비 설정 연산기(RSC)를 구비하고, 우선, 상기 유량비 설정 연산기(RSC)로부터 입력된 설정 유량값이 최대가 되는 어느 하나의 분류로 (L
1 ∼L
n )를 비제어 상태로 해서 그 개방도를 일정값으로 유지함과 아울러 그 밖의 분류로의 개방도를 설정 개방도로 제어하고, 그 후에 각 컨트롤러(16a∼16n)에 의해 각 분류로(L
1 ∼L
n )의 분류량을 피드백 제어한다.
摘要翻译：（问题）中，通过多个分散路径分散并供给来自压力式流量控制装置的气体流的气体分散供给装置，能够防止产生气体，并且能够抑制气体的响应特性，稳定性，控制精度当输入气体时，色散量控制在色散路径上得到改善。（溶液）本发明包括来自气体供给源的气体的流量控制装置，并联连接的多个分散路径（L1-Ln），以将来自流量控制装置的气体分散到气体使用场所，安装在每个分散路径（L1-Ln）处的热流量传感器，安装在热流量传感器（29a-29n）的下侧的电动阀（28a-28n），控制器（16a-16n）控制每个电动阀的打开和关闭，以及流量设定操作单元（RSC）。

3. 发明公开

KR1020140098840A 반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치 有权
标题翻译：用于半导体生产设备的气体分流供应装置
公开(公告)号：KR1020140098840A
公开(公告)日：2014-08-08
申请号：KR1020147018214
申请日：2012-10-17
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 니시노코우지 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 히라타카오루 , 모리사키카즈유키
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/03
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544 , G05D7/06
摘要： 압력식 유량 제어부(1a)를 형성하는 컨트롤 밸브(3)와, 컨트롤 밸브(3)의 하류측에 연통되는 가스 공급 주관(8)과, 컨트롤 밸브(3) 하류측의 가스 공급 주관(8)에 설치한 오리피스(6)와, 가스 공급 주관(8)의 하류측에 병렬 형상으로 접속된 복수의 분기 관로(9a, 9n)와, 각 분기 관로(9a, 9n)에 개재 설치한 분기 관로 개폐 밸브(10a, 10n)와, 압력 센서(5)와, 각 분기 관로(9a, 9n)의 출구측에 형성한 분류 가스 출구(11a, 11n)와, 연산 유량값과 설정 유량값의 차가 감소하는 방향으로 상기 컨트롤 밸브(3)를 개폐 작동시키는 제어 신호(Pd)를 밸브 구동부(3a)에 출력하고 분기 관로 개폐 밸브(10a, 10n)에 각 분기 관로 개폐 밸브(10a, 10n)를 각각 일정 시간만 순차 개방한 후 이것을 폐쇄하는 개폐 제어 신호(Od1, Odn)를 출력하는 연산 제어부(7)를 구비하고, 압력식 유량 제어부(1a)에 의해 오리피스(6)를 유통하는 프로세스 가스의 유량 제어를 행함과 아울러, 분기 관로 개폐 밸브(10a, 10n)의 개폐에 의해 프로세스 가스를 분류 공급하는 반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치.
摘要翻译：一种用于半导体制造设备的气体支流供给装置。算术和控制单元7连续打开相应的分支管道通道开/关阀10a，10n预定时间，然后关闭阀门，气体分支流供应装置对通过孔口分配的处理气体进行流量控制并且通过打开和关闭分支管道通道打开/关闭阀10a，10n来分流和供给处理气体。

4. 发明授权

KR101428826B1 유량 비율 제어 장치 有权
标题翻译：流量比率控制装置
公开(公告)号：KR101428826B1
公开(公告)日：2014-08-08
申请号：KR1020097007879
申请日：2007-12-11
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 야마구치유지 , 마츠모토아키히로 , 요네다유타카
IPC分类号： G05D11/02 , G05D11/00
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/87772
摘要： 메인 유로(RM)와, 메인 유로(RM)의 종단으로부터 분기하는 복수의 분기 유로(R1, R2)와, 각 분기 유로(R1, R2)상에 각각 마련된 제어 밸브(31, 32)와, 메인 유로(RM)의 유량 및 각 분기 유로(R1, R2)의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 하나의 분기 유로(R2)에 마련한 제어 밸브(31)를 제어하여, 그 제어 밸브(31)보다도 상류측 압력이 부여된 목표 압력으로 되도록 제어하는 동시에, 그 압력이 목표 압력 근방 또는 그 이상인 경우에 비로소, 각 분기 유로(R1, R2)의 유량 비율이 미리 정한 설정 비율로 되도록, 그 외의 제어 밸브(32)의 제어를 개시하는 밸브 제어부(5)와, 메인 유로(RM)의 유량이 적을수록 상기 목표 압력을 낮게 설정하는 목표 압력 설정부(6)를 마련하였다.

5. 发明公开

KR1020130111407A 스로틀 디바이스 审中-实审
标题翻译：节流装置
公开(公告)号：KR1020130111407A
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：KR1020130033549
申请日：2013-03-28
申请人： 발케-뒤르 게엠베하
发明人： 클리칭,비르거 , 텔겐,토마스 , 스토크피시,베른하르트 , 세프린,플로리안 , 호프만,클라우스
IPC分类号： F22B37/74 , F22D7/00 , F22D7/12
CPC分类号： G05D7/0652 , F22B37/228 , F22B37/74 , F22D7/12 , G05D7/0664 , Y10T137/87877
摘要： PURPOSE: A throttle device is provided to enable the pressure of a plurality of parallel pipe rows to be changed. CONSTITUTION: A throttle device includes fluid collectors (10) and a control element (20). The fluid collector includes a fluid inlet (11) and a plurality of fluid outlets (12). The control element is mounted in an inner chamber of the fluid collector to be partially displaced and includes a plurality of orifices (21, 22). The orifices and the outlets are arranged on the control element so that the cross sections of a plurality of fluid connecting routes between the inner chamber of the fluid collector and the outlets of the fluid collectors can be changed by the relative movement of the control element. The control element is a sleeve, and the orifices are arranged on the sleeve to be corresponded to the outlets of the fluid collectors. A seal is provided between the fluid collectors so that the fluid connection between the orifices of the sleeve is not generate in a region between the inner surface (13) covering the inner chamber of the fluid collector and the outer surface (24) of the sleeve.
摘要翻译：目的：提供一种节流装置，以使得可以改变多个平行管排的压力。构成：节流装置包括流体收集器（10）和控制元件（20）。流体收集器包括流体入口（11）和多个流体出口（12）。所述控制元件安装在所述流体收集器的内部腔室中，以被部分地移位并且包括多个孔口（21,22）。孔口和出口布置在控制元件上，使得可以通过控制元件的相对运动来改变流体收集器的内腔和流体收集器的出口之间的多个流体连接路径的横截面。控制元件是套筒，并且孔口布置在套筒上以对应于流体收集器的出口。在流体收集器之间设置有密封件，使得在覆盖流体收集器的内部腔室的内表面（13）与套管的外表面（24）之间的区域内不会产生套管的孔口之间的流体连接。

6. 发明公开

KR1020070011342A 반도체 제조 가스 유량 분할기 시스템 및 방법 有权
标题翻译：半导体制造气体分流器系统和方法
公开(公告)号：KR1020070011342A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020067020209
申请日：2005-02-01
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 샤지이알리 , 나가르카티시드하르쓰
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G05D7/0664 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/0363 , Y10T137/2524
摘要： A system for dividing a single flow into two or more secondary flows of desired ratios, including an inlet adapted to receive the single flow, at least two secondary flow lines connected to the inlet, an input device adapted to receive at least one desired ratio of flow, at least one in-situ process monitor providing measurements of products produced by each of the flows lines, and a controller connected to the input device and the in-situ process monitor. The controller is programmed to receive the desired ratio of flow through the input device, receive the product measurements from the in-situ process monitor, and calculate a corrected ratio of flow based upon the desired ratio of flow and the product measurements. If the product measurements are not equal, then the corrected ratio of flow will be different than the desired ratio of flow. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：一种用于将单个流分成两个或更多个期望比例的二次流的系统，包括适于接收单个流的入口，连接到入口的至少两个二次流线，适于接收至少一个期望比例的输入装置至少一个原位过程监视器，其提供由每个流水线产生的产品的测量值，以及连接到输入设备和原位过程监控器的控制器。控制器被编程为接收通过输入设备的期望流量比，从原位过程监控器接收产品测量值，并且基于所需的流量比和产品测量值来计算校正的流量比。如果产品测量值不相等，则校正后的流量比将不同于所需的流量比。 ®KIPO＆WIPO 2007

7. 发明授权

KR101677971B1 반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치 有权
标题翻译：用于半导体生产设备的气体分流供应装置
公开(公告)号：KR101677971B1
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：KR1020147018214
申请日：2012-10-17
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 니시노코우지 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 히라타카오루 , 모리사키카즈유키
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/03
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544
摘要： 압력식유량제어부(1a)를형성하는컨트롤밸브(3)와, 컨트롤밸브(3)의하류측에연통되는가스공급주관(8)과, 컨트롤밸브(3) 하류측의가스공급주관(8)에설치한오리피스(6)와, 가스공급주관(8)의하류측에병렬형상으로접속된복수의분기관로(9a, 9n)와, 각분기관로(9a, 9n)에개재설치한분기관로개폐밸브(10a, 10n)와, 압력센서(5)와, 각분기관로(9a, 9n)의출구측에형성한분류가스출구(11a, 11n)와, 연산유량값과설정유량값의차가감소하는방향으로상기컨트롤밸브(3)를개폐작동시키는제어신호(Pd)를밸브구동부(3a)에출력하고분기관로개폐밸브(10a, 10n)에각 분기관로개폐밸브(10a, 10n)를각각일정시간만순차개방한후 이것을폐쇄하는개폐제어신호(Oda, Odn)를출력하는연산제어부(7)를구비하고, 압력식유량제어부(1a)에의해오리피스(6)를유통하는프로세스가스의유량제어를행함과아울러, 분기관로개폐밸브(10a, 10n)의개폐에의해프로세스가스를분류공급하는반도체제조장치의가스분류공급장치.

8. 发明公开

KR1020150044934A 향상된 가스 유량 제어를 위한 방법들 및 장치 审中-实审
标题翻译：增加气体流量控制的方法和装置
公开(公告)号：KR1020150044934A
公开(公告)日：2015-04-27
申请号：KR1020157006763
申请日：2013-08-12
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 그레고르,마리우쉬 , 레인,존더블유. , 라이스,마이클로버트 , 휴그,저스틴
IPC分类号： G05D7/06 , G05D16/20 , F16K37/00 , F16K21/00
CPC分类号： G05D16/2006 , C23C16/45561 , G05D7/0664 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/87885 , F16K21/00 , F16K37/0025
摘要： 반도체-프로세싱챔버로의가스유동을제어하기위한방법들및 장치가개시된다. 방법들 및장치는, 유동비율제어기에서비율설정점피드백제어를비활성화하는단계; 유동비율제어기를통해서가스유동을시작하는단계; 상류압력이, 저장된상류압력값에도달할때, 저장된포지션에기초하여유동비율제어기의밸브들을미리설정된포지션으로이동시키는단계 - 저장된포지션및 저장된상류압력값은이전프로세스실행동안에저장되었음 -; 정상상태유동비율제어기출력유동들이도달되었는지를결정하는단계; 및유동비율제어기에서비율설정점피드백제어를활성화하는단계를포함한다. 많은부가적인특징들이개시된다.

9. 发明公开

KR1020140140623A 흐름 제어 시스템 및 그 방법 审中-实审
标题翻译：流量控制系统及其方法
公开(公告)号：KR1020140140623A
公开(公告)日：2014-12-09
申请号：KR1020147030309
申请日：2012-03-30
申请人： 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드
发明人： 왕,지안 , 자오,유 , 씨에,리앙지 , 장,씨아오얀 , 지아,세나 , 왕,후에이
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664
摘要： 흐름 제어 시스템 및 그 방법이 개시된다. 흐름 제어 시스템은, 액체가 통과하여 흐르는 제어 밸브와, 제어 밸브를 통해 흐르는 액체의 압력을 측정하고, 측정 신호를 출력하는 압력 센서와, 압력 센서로부터 측정 신호를 수신하고, 대응하는 전류 신호를 출력하는 컨트롤러와, 컨트롤러로부터 전류 신호를 수신하고, 제어 밸브 내의 액체의 압력을 조절하기 위하여 제어 밸브로 대응하는 압력을 갖는 압축 공기를 출력하는 I/P 컨버터와, 챔버 내로 흐르는 액체의 유량을 측정하는 흐름 스위치와, 유량을 목표 유량으로 조절하는 니들 밸브를 포함한다. 제어 밸브, 압력 센서, U/P 컨버터 및 컨트롤러는 PID 폐루프 제어 시스템을 구성한다.

10. 发明授权

KR101293394B1 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 失效
标题翻译：基板处理装置，基板处理方法以及具有基板处理程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR101293394B1
公开(公告)日：2013-08-05
申请号：KR1020090073742
申请日：2009-08-11
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 기타하라시게노리
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/306
CPC分类号： G05D7/0664 , H01L21/67023 , H01L21/67253
摘要： 본 발명은 기판 처리 장치의 기판 처리부에 미리 정해진 유량·미리 정해진 농도의 처리액을 정밀도 좋게 공급하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서는, 처리액 공급부(24)로부터 공급되는 처리액을 사용하여 복수개의 기판 처리부(11∼22)에서 기판(2)을 처리하는 기판 처리 장치(1)에 있어서, 각 기판 처리부(11∼22)에 기판(2)을 순차 반송하고, 1개의 기판 처리부(11∼22)에서 사용되는 처리액의 유량이 처리액 공급부(24)에서 제어 가능한 유량보다 소량인 경우에는, 처리액 공급부(24)에서 제어 가능한 유량 이상이 될 때까지 복수개의 기판 처리부(11∼22)에 기판(2)이 반송되는 것을 기다린 후에 복수개의 기판 처리부(11∼22)에서 처리액을 동시에 사용하도록 처리 시작 시간을 제어한다.

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