专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101536788B1 자동 스캐닝 탐침 이미지화 방법 및 장치 有权
标题翻译：自动扫描探针成像方法与装置
公开(公告)号：KR101536788B1
公开(公告)日：2015-07-14
申请号：KR1020107007963
申请日：2008-09-12
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 수,찬민 , 벨리코브,서제이
IPC分类号： G01Q10/04 , G01B21/30 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q30/04 , G01Q10/06 , Y10S977/85
摘要： 스캐닝탐침현미경(SPM)(10)의동작방법은 SPM(10)의탐침(14)이샘플(22)과상호작용할때 샘플(22)을스캐닝하는단계(36), 및스캐닝단계(36)에응하여샘플표면데이터를수집하는단계를포함한다. 방법은샘플표면데이터로부터샘플(22)의피처(feature)를식별하고(38) 식별단계(38)에기초하여피처의줌인스캔(42)을자동으로수행한다. 방법은피처의지시된고해상이미지를용이하게수행하기위해서나노-거칠기들과같은관심피처들의위치를신속하게식별하고이를확인하게동작한다.
摘要翻译：操作扫描探针显微镜（SPM）的方法包括扫描样品作为SPM的探针与样品相互作用，并响应于扫描步骤收集样品表面数据。该方法从样品表面数据识别样品的特征，并基于识别步骤自动执行特征的放大扫描。该方法用于快速识别和确认感兴趣的特征的位置，例如纳米凹凸，以便于执行特征的定向高分辨率图像。

2. 发明授权

KR101392044B1 샘플 피치를 이용한 원자 현미경 방법 및 장치 有权
标题翻译：扫描探针显微镜方法和使用样品台的设备
公开(公告)号：KR101392044B1
公开(公告)日：2014-05-19
申请号：KR1020087008572
申请日：2006-09-29
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크니버그,데이비드에이. , 제인로히트 , 오스본,제이슨알. , 야오,웨이 , 크로노우스키,매튜스티. , 슈미츠,인고
IPC分类号： G12B1/00 , G01N1/00
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q60/34 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/854
摘要： 바람직한 실시형태들은 5개 이하 라인들, 더욱 바람직하게 2개 라인들의 조사 스캔을 이용하여 샘플 측정들을 수행하여 샘플의 피쳐들의 필드 위치를 정밀하게 정하기 위해 원자 현미경(SPM)을 조작하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 이는 조사 스캔이 횡단하는 방향과 수직인 방향에서 피쳐들의 피치와 일치하지 않는, 즉 스캔 방향(X)의 피쳐들의 피치와 일치하지 않는 조사 스캔의 인접 라인들 간의 스텝 거리를 선택함으로써 달성된다. 또한, 스캔의 종횡비는 샘플 처리량을 더욱 향상시키도록 변경될 수 있다.
원자 현미경, 샘플 피쳐, 조사 스캔, 데이터 스캔, 트렌치 캐패시터

3. 发明授权

KR100309719B1 광역 통신망 상에서 과학 기구를 조종하기 위한 시스템 및 방법 失效
标题翻译：一种用于在大面积网络上操作科学仪器的系统和方法
公开(公告)号：KR100309719B1
公开(公告)日：2001-09-26
申请号：KR1019990005592
申请日：1999-02-19
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 에들런드스테판비. , 아이히슈타에트마티아스 , 에이글러도날드마크 , 크라프트라이너
IPC分类号： H04L12/28
CPC分类号： G06F9/54 , G06F19/00 , Y10S977/85
摘要： 본발명은인터넷과같은광역통신망상에서원격디바이스(remote device)를조종하기위한방법, 장치및 제조품에관한것이다. 시스템은코맨드(command) 및디스플레이(display) 결과를얻기위하여유저(user)와상호작용하기위한클라이언트(client) 컴퓨터, 코맨드및 결과의중개처리를수행하기위한대리서버(proxy server) 컴퓨터, 그리고코맨드를수행하고결과를발생시키는원격디바이스에연결된디바이스서버컴퓨터를포함한다.

4. 发明公开

KR1020100081318A 자동 스캐닝 탐침 이미지화 방법 및 장치 有权
标题翻译：自动扫描探测成像的方法与装置
公开(公告)号：KR1020100081318A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：KR1020107007963
申请日：2008-09-12
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 수,찬민 , 벨리코브,서제이
IPC分类号： G01Q10/04 , G01B21/30 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q30/04 , G01Q10/06 , Y10S977/85 , G01Q10/04 , B82Y35/00 , G01B21/30 , G01Q20/02
摘要： A method of operating a scanning probe microscope (SPM) includes scanning (36) a sample as a probe of the SPM interacts with a sample, and collecting sample surface data in response to the scanning step (36). The method identifies (38) a feature of the sample from the sample surface data and automatically performs a zoom-in scan (42) of the feature based on the identifying step (38). The method operates to quickly identify and confirm the location of features of interest, such as nano-asperities, so as to facilitate performing a directed high resolution image of the feature.
摘要翻译：操作扫描探针显微镜（SPM）的方法包括扫描（36）作为SPM的探针的样品与样品相互作用，并响应于扫描步骤（36）收集样品表面数据。该方法从样品表面数据识别（38）样品的特征，并且基于识别步骤（38）自动执行特征的放大扫描（42）。该方法用于快速识别和确认感兴趣的特征的位置，例如纳米凹凸，以便于执行特征的定向高分辨率图像。

5. 发明公开

KR1019990077442A 광역 통신망 상에서 과학 기구를 조종하기 위한 시스템 및 방법 失效
标题翻译：一种用于在大面积网络上操作科学仪器的系统和方法
公开(公告)号：KR1019990077442A
公开(公告)日：1999-10-25
申请号：KR1019990005592
申请日：1999-02-19
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 에들런드스테판비. , 아이히슈타에트마티아스 , 에이글러도날드마크 , 크라프트라이너
IPC分类号： H04L12/28
CPC分类号： G06F9/54 , G06F19/00 , Y10S977/85
摘要： 본발명은인터넷과같은광역통신망상에서원격디바이스(remote device)를조종하기위한방법, 장치및 제조품에관한것이다. 시스템은코맨드(command) 및디스플레이(display) 결과를얻기위하여유저(user)와상호작용하기위한클라이언트(client) 컴퓨터, 코맨드및 결과의중개처리를수행하기위한대리서버(proxy server) 컴퓨터, 그리고코맨드를수행하고결과를발생시키는원격디바이스에연결된디바이스서버컴퓨터를포함한다.

6. 发明授权

KR101195202B1 나노 와이어를 이용한 프로브, 및 프로브 제조방법 有权
标题翻译：使用NANOWIRE及其方法的探索
公开(公告)号：KR101195202B1
公开(公告)日：2012-10-29
申请号：KR1020110037226
申请日：2011-04-21
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 안재평 , 서종현 , 윤상원
IPC分类号： G01Q70/12 , G01Q70/16 , G01Q70/14
CPC分类号： G01Q70/12 , G01Q70/14 , G01Q70/18 , Y10S977/85
摘要： PURPOSE: A probe using a nano wire and a manufacturing method therefor are provided to manufacture a probe using a single-crystal metal nano probe, thereby measuring electrical properties of the probe without damage on a surface of the probe. CONSTITUTION: Single-crystal metal nano wires(110) are formed on a substrate(100). A mother body(200) contacts the single-crystal metal nano wires. An electronic beam or an ion beam are irradiated onto a portion where the motor body contacts the single-crystal metal nano wires so that bonded mother body are bonded with the single-crystal metal nano wires. The mother body bonded with the single-crystal metal nano wires is separated from the substrate. [Reference numerals] (AA) Detaching from substrate
摘要翻译：目的：提供使用纳米线的探针及其制造方法，以制造使用单晶金属纳米探针的探针，由此测量探针的电性能而不会在探针表面受损。构成：在基板（100）上形成单晶金属纳米线（110）。母体（200）接触单晶金属纳米线。将电子束或离子束照射到电动机体与单晶金属纳米线接触的部分上，使得结合母体与单晶金属纳米线接合。与单晶金属纳米线接合的母体与基板分离。（附图标记）（AA）从基板脱离

7. 发明公开

KR1020080072820A 샘플 피치를 이용한 원자 현미경 방법 및 장치 有权
标题翻译：扫描探针显微镜方法和使用样品台的设备
公开(公告)号：KR1020080072820A
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：KR1020087008572
申请日：2006-09-29
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크니버그,데이비드에이. , 제인로히트 , 오스본,제이슨알. , 야오,웨이 , 크로노우스키,매튜스티. , 슈미츠,인고
IPC分类号： G12B1/00 , G01N1/00
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q60/34 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/854
摘要： The preferred embodiments are directed to a method and apparatus of operating a scanning probe microscope (SPM) to perform sample measurements using a survey scan that is less than five lines, and more preferably two lines, to accurately locate a field of features of a sample. This is accomplished by selecting a step distance between adjacent lines of the survey scan that does not equal the pitch of the features in a direction orthogonal to the direction the survey scan traverses, i.e., does not equal the pitch of the features in the scan direction, XPO. The aspect ratio of the scans can also be modified to further improve sample throughput.
摘要翻译：优选实施例涉及一种操作扫描探针显微镜（SPM）的方法和装置，以使用小于五行，更优选两行的测量扫描进行样本测量，以精确地定位样本的特征场。这是通过选择在与扫描扫描方向正交的方向上不等于特征的间距的测量扫描的步距，即不等于扫描方向上的特征的间距来实现的，XPO。也可以修改扫描的宽高比以进一步提高样品通量。

8. 发明授权

KR100761059B1 오버행 샘플 측정이 가능한 주사 탐침 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜可以测量具有过大结构的样品
公开(公告)号：KR100761059B1
公开(公告)日：2007-09-21
申请号：KR1020060096399
申请日：2006-09-29
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 박상일 , 김용석 , 김지태 , 정상한 , 신현승 , 이정록 , 황의철
IPC分类号： G01Q10/00
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/872 , Y10S977/873 , Y10S977/874
摘要： A scanning probe microscope capable of measuring overhang type samples is provided to exactly collect data about the surface of the sample by accurately scanning the lateral side of an overhang structure through a tip of a probe and to directly utilize components of the tip of the existing microscope. A scanning probe microscope capable of measuring overhang type samples(200) is composed of a first probe(100); a first scanner(310) for changing the position of the first probe on a straight line; and a second scanner(320) for changing the position of the sample on a plane. The straight line where the position of the first probe is changed by the first scanner is non-perpendicular to the plane where the position of the sample is changed by the second scanner.
摘要翻译：提供能够测量悬垂型样品的扫描探针显微镜，通过精确扫描悬臂结构的侧面通过探针的尖端精确地收集关于样品表面的数据，并直接利用现有显微镜尖端的部件。能够测量突出型样品（200）的扫描探针显微镜由第一探针（100）组成; 用于改变第一探针在直线上的位置的第一扫描仪（310）; 以及用于改变样品在平面上的位置的第二扫描仪（320）。通过第一扫描仪改变第一探针的位置的直线与第二扫描器改变样品位置的平面不垂直。

9. 发明授权

KR100635546B1 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 스캐닝 프로브마이크로 스코프의 탐침 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：具有场效应晶体管沟道的扫描探针显微镜探针及其制造方法
公开(公告)号：KR100635546B1
公开(公告)日：2006-10-17
申请号：KR1020040112159
申请日：2004-12-24
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 문원규 , 임근배 , 이상훈
IPC分类号： H01L29/78 , B82Y40/00
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q70/12 , G11B9/02 , G11B9/1409 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/855 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/862 , Y10S977/863 , Y10S977/864 , Y10S977/876
摘要： 본 발명은 평면형 전계 효과 트랜지스터를 제작하고, 그 위에 전도체의 탄소 나노 튜브를 제작함으로써, 날카로운 팁이 형성됨과 아울러 전기적 특성 또한 증가시킨 스캐닝 프로브 마이크로 스코프의 탐침을 제공하며, 이를 위하여, 본 발명은 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브를 성장시키기 위하여 준비하는 제 2 단계; 그리고 상기 준비된 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브 생성하는 제 3 단계; 를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법을 제공한다.
전계 효과 트랜지스터, 탄소 나노 튜브, 스캐닝 프로브 마이크로 스코프(SPM), 탐침, 게이트 전극, 시드 전극

10. 发明公开

KR1020060073765A 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 스캐닝 프로브마이크로 스코프의 탐침 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：具有场效应晶体管通道的扫描探针显微镜探测及其制作方法
公开(公告)号：KR1020060073765A
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：KR1020040112159
申请日：2004-12-24
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 문원규 , 임근배 , 이상훈
IPC分类号： H01L29/78 , B82Y40/00
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q70/12 , G11B9/02 , G11B9/1409 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/855 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/862 , Y10S977/863 , Y10S977/864 , Y10S977/876 , B82Y35/00 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
摘要： 본 발명은 평면형 전계 효과 트랜지스터를 제작하고, 그 위에 전도체의 탄소 나노 튜브를 제작함으로써, 날카로운 팁이 형성됨과 아울러 전기적 특성 또한 증가시킨 스캐닝 프로브 마이크로 스코프의 탐침을 제공하며, 이를 위하여, 본 발명은 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브를 성장시키기 위하여 준비하는 제 2 단계; 그리고 상기 준비된 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브 생성하는 제 3 단계; 를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법을 제공한다.
전계 효과 트랜지스터, 탄소 나노 튜브, 스캐닝 프로브 마이크로 스코프(SPM), 탐침, 게이트 전극, 시드 전극

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式