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1. 发明公开

KR1020160142483A 조정 가능한 스캔 속도를 가지는 측정 장치 및 측정 방법 有权
标题翻译：具有自适应扫描速率的测量装置和方法
公开(公告)号：KR1020160142483A
公开(公告)日：2016-12-13
申请号：KR1020150078223
申请日：2015-06-02
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 이주석 , 조용성 , 정상한 , 박상일
IPC分类号： G01Q10/06
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q10/04 , G01Q10/06 , G01Q10/065
摘要： 본발명은적어도직전에측정된고속스캔라인의데이터를이용하여스캔속도를가변적으로적용함으로써측정속도를높일수 있는측정장치및 측정방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른측정방법은, 감지부가측정대상의표면을따라스캔하면서상기측정대상의표면에관한데이터를획득하는측정방법으로서, 상기감지부가상기측정대상의표면의복수의고속스캔라인 (fast scan line) 을따라상기표면을스캔하도록, 상기감지부및 상기측정대상중 하나이상이이동되며, 상기감지부를이용하여상기복수의고속스캔라인중 어느하나의고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻기위해상기감지부가상기어느하나의고속스캔라인을따라상기표면을스캔하는제1 단계; 및상기제1 단계이후, 상기어느하나의고속스캔라인과가장인접한고속스캔라인을따르도록상기감지부및 상기측정대상중 하나이상을이동시키면서상기감지부를이용하여상기가장인접한고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻는제2 단계; 를포함한다. 상기제2 단계에서의스캔속도는적어도상기제1 단계에서얻어진표면에관한데이터를이용하여결정된다.
摘要翻译：一种测量方法，其中感测单元在扫描测量对象的表面的同时获取测量对象的表面数据，并且感测单元和测量对象中的至少一个被移动以便感测单元沿着多个扫描表面扫描包括：第一步骤，其中感测单元沿着多条快速扫描线的任何一条快速扫描线扫描表面，以获取沿着任何一条快速扫描线的表面数据 ; 以及第二步骤，其中，当感测单元和测量对象中的至少一个沿着最邻近的快速扫描线移动时，感测单元获取沿着与任何一条快速扫描线最相邻的快速扫描线的表面数据，之后第一步。

2. 发明授权

KR101392044B1 샘플 피치를 이용한 원자 현미경 방법 및 장치 有权
标题翻译：扫描探针显微镜方法和使用样品台的设备
公开(公告)号：KR101392044B1
公开(公告)日：2014-05-19
申请号：KR1020087008572
申请日：2006-09-29
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크니버그,데이비드에이. , 제인로히트 , 오스본,제이슨알. , 야오,웨이 , 크로노우스키,매튜스티. , 슈미츠,인고
IPC分类号： G12B1/00 , G01N1/00
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q60/34 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/854
摘要： 바람직한 실시형태들은 5개 이하 라인들, 더욱 바람직하게 2개 라인들의 조사 스캔을 이용하여 샘플 측정들을 수행하여 샘플의 피쳐들의 필드 위치를 정밀하게 정하기 위해 원자 현미경(SPM)을 조작하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 이는 조사 스캔이 횡단하는 방향과 수직인 방향에서 피쳐들의 피치와 일치하지 않는, 즉 스캔 방향(X)의 피쳐들의 피치와 일치하지 않는 조사 스캔의 인접 라인들 간의 스텝 거리를 선택함으로써 달성된다. 또한, 스캔의 종횡비는 샘플 처리량을 더욱 향상시키도록 변경될 수 있다.
원자 현미경, 샘플 피쳐, 조사 스캔, 데이터 스캔, 트렌치 캐패시터

3. 发明授权

KR101305001B1 시료 특징의 특성을 측정하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：测量样品特征的方法和装置
公开(公告)号：KR101305001B1
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：KR1020087008953
申请日：2006-09-18
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 제인,로이트 , 리차즈,죤
IPC分类号： G01B11/02 , G01B7/02 , G01B5/02
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G03F7/70625
摘要： 시료의 표면 특징를 측정하기 위한 주사 탐침 현미경 기반 측정 기술은 표면 특징의 주사 탐침 현미경 주사의 결과로 수집된 일군의 특징 에지 지점들에 대한 곡선을 피팅한다. 만일 두 개의 곡선이 관심있는 특징의 대향되는 에지 상에서 피팅되는 경우, 그 곡선들 사이의 최대 또는 최소 거리는 결정되어 최대 비아 폭, 최소 라인 폭 등과 같은 관심의 크기를 확인할 수 있다. 상기 주사는 Y 방향으로 상대적으로 저해상도 주사인데, 전형적으로 관심있는 특징를 관통하는 8-12 주사 프로파일을 가지며, 이는 종래 기술에 전형적으로 사용되는 것에 약 절반정도이다. 저해상도 주사는 상대적으로 신속하고 높은 재현성으로 수행될 수 있다. 재현성은 또한 종래기술보다 더 높고, 재현성의 수준은 Y 방향으로의 해상도에 대하여 상대적으로 덜 민감하다. 저해상도 주사를 사용하는 것은 또한 고해상도 주사와 비교해 볼 때 팁 마모를 상당히 줄일 수 있고 처리량을 증대시킨다.
주사 탐침 현미경, 원자간력 현미경, 캔틸레버, 비아, 해상도

4. 发明授权

KR100841031B1 주사형 프로브 현미경의 탐침 교환방법 失效
标题翻译：用于扫描探针显微镜的探针替代方法
公开(公告)号：KR100841031B1
公开(公告)日：2008-06-24
申请号：KR1020067001387
申请日：2004-03-22
申请人： 히다치 겡키 파인테크 가부시키가이샤
发明人： 무라야마겐 , 겐보유키오 , 구니토모유이치 , 히로키다케노리 , 나가노요시유키 , 모리모토다카후미 , 구레누마도루 , 야나기모토히로아키 , 구로다히로시 , 미와시게루 , 후루타니다카시
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/06 , G01Q70/02
摘要： 본 발명은 탐침(20)을 구비하는 캔틸레버(21)와, 탐침·시료 사이의 물리량을 측정하는 측정부를 구비하고, 시료 표면을 측정하는 주사형 프로브 현미경의 탐침 교환방법이다.
주사형 프로브 현미경은, 캔틸레버의 설치부(22)와, 캔틸레버카세트(30)와, 캔틸레버카세트를 이동시키는 XY 스테이지(14)와 Z 스테이지(15)와, 광학현미경(18)을 구비한다.
상기한 주사형 프로브 현미경에 있어서, 캔틸레버설치부와 캔틸레버카세트 사이의 위치맞춤을 행하여, 캔틸레버카세트로부터 캔틸레버를 선택하여 캔틸레버설치부에 장착하는 제 1 단계와, 캔틸레버장착후에 광학현미경장치를 이동시켜 장착된 캔틸레버를 관찰시야의 소정위치에 설정하는 제 2 단계를 포함한다. 제 2 단계에서는 광학현미경측 또는 캔틸레버측을 이동시켜 위치조정을 행하는 단계를 마련한다.

5. 发明公开

KR1020030001216A 접촉형 원자간력 현미경에 공급되는 구형파의 지속 시간및 진폭을 조절하는 장치 및 방법 有权
标题翻译：调整延迟时间和平方波的放大与接触模式原子力显微镜及其生产工艺
公开(公告)号：KR1020030001216A
公开(公告)日：2003-01-06
申请号：KR1020020005360
申请日：2002-01-30
申请人： 학교법인 한양학원
发明人： 김영환 , 정정주 , 이해원
IPC分类号： G01N37/00
CPC分类号： G01Q60/363 , G01Q10/06
摘要： PURPOSE: Provided is an adjuster to adjust duration time and amplitude of a square wave supplied to a contact mode atomic force microscope which supplies the square wave with duration time and amplitude as users want to form nano pattern in a precise way so that it helps improve reliability of a tip. CONSTITUTION: In the contact mode atomic force microscope which performs nano-lithography, the adjuster to adjust duration time and amplitude of the square wave supplying to the contact mode atomic force microscope is characterized by comprising the parts of: an adjuster for duration time(300) which adjusts duration time during the interval of a high signal for input square wave to a certain value; and an adjuster for amplitude(500) which amplifies voltage during the interval at a high signal for input square wave to a certain value.
摘要翻译：目的：提供一种调节器，用于调整提供给接触模式原子力显微镜的持续时间和振幅，该接触模式原子力显微镜以用户希望以精确的方式形成纳米图案的方式提供持续时间和幅度，从而有助于改善提示的可靠性。构成：在进行纳米光刻的接触模式原子力显微镜中，用于调节向接触模式原子力显微镜供给的方波的持续时间和振幅的调节器的特征在于包括以下部分：调节器，持续时间（300 ），其将用于输入方波的高信号的间隔期间的持续时间调整到一定值; 以及幅度调节器（500），其在用于输入方波的高信号的间隔期间将电压放大到特定值。

6. 发明授权

KR101710337B1 조정 가능한 스캔 속도를 가지는 측정 장치 및 측정 방법 有权
标题翻译：具有可调节的扫描速率和测量方法的测量装置
公开(公告)号：KR101710337B1
公开(公告)日：2017-02-28
申请号：KR1020150078223
申请日：2015-06-02
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 조아진 , 이주석 , 조용성 , 정상한 , 박상일
IPC分类号： G01Q10/06
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q10/04 , G01Q10/06 , G01Q10/065
摘要： 본발명은적어도직전에측정된고속스캔라인의데이터를이용하여스캔속도를가변적으로적용함으로써측정속도를높일수 있는측정장치및 측정방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른측정방법은, 감지부가측정대상의표면을따라스캔하면서상기측정대상의표면에관한데이터를획득하는측정방법으로서, 상기감지부가상기측정대상의표면의복수의고속스캔라인 (fast scan line) 을따라상기표면을스캔하도록, 상기감지부및 상기측정대상중 하나이상이이동되며, 상기감지부를이용하여상기복수의고속스캔라인중 어느하나의고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻기위해상기감지부가상기어느하나의고속스캔라인을따라상기표면을스캔하는제1 단계; 및상기제1 단계이후, 상기어느하나의고속스캔라인과가장인접한고속스캔라인을따르도록상기감지부및 상기측정대상중 하나이상을이동시키면서상기감지부를이용하여상기가장인접한고속스캔라인상의표면에관한데이터를얻는제2 단계; 를포함한다. 상기제2 단계에서의스캔속도는적어도상기제1 단계에서얻어진표면에관한데이터를이용하여결정된다.
摘要翻译：本发明涉及至少其中，使用快速扫描线中的数据只是测量nopilsu速度通过施加的扫描速率和可变测量前的测量装置。测量根据本发明的一个实施例方法中，感测单元作为用于获取与所述对象的表面数据的测量方法，同时沿着所述物体的表面的扫描要被测量，感测被测量部的多个所述物体的表面的高速扫描被测定线扫描沿（快速扫描线）的表面上，所述感测单元和移动所述测量物体的异常之一，有关的数据在其表面上使用行一个快速扫描线的部分，所述多个检测到的高速扫描的以获得所述感测单元，包括：扫描所述表面的第一步骤沿所述快速扫描线中的一个; 和在第二后续步骤中的表面，快速扫描线的一个和邻近的高速跟随扫描线的传感器，并通过移动该测量中的至少一个通过使用最近的高速扫描线的部分对象的检测获得该数据的第二步骤; 它包括。其中eseoui第二扫描速度，通过使用从至少在第一阶段获得的表面上的数据确定的步骤。

7. 发明授权

KR100873436B1 주사형 프로브 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR100873436B1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：KR1020060020303
申请日：2006-03-03
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 오타마사히로
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q10/04 , G01Q10/06
摘要： 관찰 대상이나 관찰 목적에 따라 스캐너를 교환할 필요 없이 고분해능을 유지한 채로 미소 영역에서 광역까지 관찰할 수 있는 주사형 프로브 현미경이 개시된다. 탐침(13)을 XYZ축 방향으로 이동시키는 탐침측 스캐너(10)와 시료(12)를 XYZ축 방향으로 이동시키는 시료측 스캐너(11) 2개를 설치한다. 탐침측 스캐너(10)로 최대 주사 범위가 작은 스캐너를 사용하고, 시료측 스캐너(11)로 최대 주사 범위가 큰 스캐너를 사용하나, 관찰 대상이나 관찰 목적에 따라 양자를 교환하여 사용한다. 또는, 탐침측 스캐너(10)에서 미소 영역의 주사를 행함과 동시에 시료측 스캐너(11)에 의해 관찰 시야를 이동시킨다.

8. 发明公开

KR1020080080969A 주사형 프로브 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR1020080080969A
公开(公告)日：2008-09-05
申请号：KR1020080069870
申请日：2008-07-18
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 오타마사히로
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q10/04 , G01Q10/06
摘要： A scanning probe microscope is provided to perform inspection at high resolution without exchanging a scanner according to the inspection area. A scanning probe microscope comprises a probe moving device, a sample moving device, a fine area inspection unit, a wide-range inspection unit, a drift detection unit, and a drift correction unit. The probe moving device moves probes(13) in X-Y-Z axis directions. The sample moving device moves a sample(12) in X-Y-Z axis directions, wherein the movable range of the sample moving device in an X-Y axis direction is larger than that of the probe moving device. The fine area inspection unit provides data on the surface of the sample by using the probe moving device. The wide-range inspection unit provides data on the surface of the sample by using the sample moving device. The drift detection unit detects the direction and amount of shift of inspection view by thermal drift. The drift correction unit corrects the thermal drift by controlling the sample moving device based on the direction and amount of shift of inspection view detected by the drift detection unit. The width of inspection view is changed by exchanging the fine area inspection unit with the wide-range inspection unit.
摘要翻译：提供扫描探针显微镜，以高分辨率进行检查，而不需要根据检查区域交换扫描仪。扫描探针显微镜包括探针移动装置，样品移动装置，精细区域检查单元，宽范围检查单元，漂移检测单元和漂移校正单元。探头移动装置在X-Y-Z轴方向移动探针（13）。样品移动装置在X-Y-Z轴方向上移动样品（12），其中样品移动装置在X-Y轴方向上的可移动范围大于探针移动装置的可移动范围。精细区域检查单元通过使用探针移动装置在样品表面提供数据。宽范围检测单元通过使用样品移动装置提供样品表面的数据。漂移检测单元通过热漂移检测检查视图的移动方向和量。漂移校正单元基于由漂移检测单元检测到的检查视图的移动方向和移动量来控制样本移动装置来校正热漂移。通过与宽幅检查单元交换精细区域检查单元来改变检查宽度。

9. 发明公开

KR1020080072820A 샘플 피치를 이용한 원자 현미경 방법 및 장치 有权
标题翻译：扫描探针显微镜方法和使用样品台的设备
公开(公告)号：KR1020080072820A
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：KR1020087008572
申请日：2006-09-29
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 크니버그,데이비드에이. , 제인로히트 , 오스본,제이슨알. , 야오,웨이 , 크로노우스키,매튜스티. , 슈미츠,인고
IPC分类号： G12B1/00 , G01N1/00
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q60/34 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/854
摘要： The preferred embodiments are directed to a method and apparatus of operating a scanning probe microscope (SPM) to perform sample measurements using a survey scan that is less than five lines, and more preferably two lines, to accurately locate a field of features of a sample. This is accomplished by selecting a step distance between adjacent lines of the survey scan that does not equal the pitch of the features in a direction orthogonal to the direction the survey scan traverses, i.e., does not equal the pitch of the features in the scan direction, XPO. The aspect ratio of the scans can also be modified to further improve sample throughput.
摘要翻译：优选实施例涉及一种操作扫描探针显微镜（SPM）的方法和装置，以使用小于五行，更优选两行的测量扫描进行样本测量，以精确地定位样本的特征场。这是通过选择在与扫描扫描方向正交的方向上不等于特征的间距的测量扫描的步距，即不等于扫描方向上的特征的间距来实现的，XPO。也可以修改扫描的宽高比以进一步提高样品通量。

10. 发明授权

KR100713795B1 원자력 현미경용 제어기 失效
标题翻译：原子力显微镜控制器
公开(公告)号：KR100713795B1
公开(公告)日：2007-05-07
申请号：KR1020057011268
申请日：2003-12-18
申请人： 아실럼 리서치 코포레이션
发明人： 프록쉬로저 , 클레벨랜드제이슨 , 보세크단 , 데이토드 , 칼라한클린트 , 비아니마리오비
IPC分类号： G12B21/20 , G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/06 , B82Y35/00 , G01Q10/00 , G01Q30/04 , G01Q60/24
摘要： 원자력 현미경, 분자력 프로브 기기, 고해상도 프로필로미터 및 화학적 또는 생물학적 감지 프로브를 포함한 캔틸레버계 기기용 제어기에 대하여 개시되어 있다. 제어기는 초고속 아날로그/디지털 변환기(ADC)를 이용하여 이들 기기의 캔틸레버 편향을 검출하는데 통상적으로 이용하는 광 검출기의 출력을 샘플링한다. 이후, 출력신호를 디지털화하여 나타낸 결과를, 아날로그 전자장치를 이용하지 않고 필드 프로그래밍가능 게이트 어레이와 디지털 신호 프로세서로 처리한다. 아날로그 신호 처리는 고유한 잡음이 있는 반면, 디지털 계산들은 측정신호에 어떠한 랜덤한 잡음도 부가하지 않는다는 점에서 고유한 "완벽성"을 갖고 있다. 필드 프로그래밍가능 게이트 어레이와 디지털 신호 프로세서에 의한 처리는 제어기 하드웨어의 변형없이도 프로그래밍 수단을 통하여 변경될 수 있기 때문에 제어기의 유연성을 최대로 한다.
摘要翻译：用于基于悬臂的仪器的控制器，包括原子力显微镜，分子力探针仪器，高分辨率轮廓仪和化学或生物传感探针。控制器采用非常快速的模拟/数字转换器（ADC）对通常用于检测这些仪器中的悬臂偏转的光检测器的输出进行采样。然后，利用现场可编程门阵列和数字信号处理器对输出信号产生的数字化表示进行处理，而不利用模拟电子装置。模拟信号处理本质上是嘈杂的，而数字计算本质上是“完美的”，因为它们不会对测量的信号增加任何随机噪声。通过现场可编程门阵列和数字信号处理器的处理可以最大限度地提高控制器的灵活性，因为它可以通过编程手段进行变化，而无需修改控制器硬件。

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