专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR100761059B1 오버행 샘플 측정이 가능한 주사 탐침 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜可以测量具有过大结构的样品
公开(公告)号：KR100761059B1
公开(公告)日：2007-09-21
申请号：KR1020060096399
申请日：2006-09-29
申请人： 파크시스템스 주식회사
发明人： 박상일 , 김용석 , 김지태 , 정상한 , 신현승 , 이정록 , 황의철
IPC分类号： G01Q10/00
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/85 , Y10S977/851 , Y10S977/872 , Y10S977/873 , Y10S977/874
摘要： A scanning probe microscope capable of measuring overhang type samples is provided to exactly collect data about the surface of the sample by accurately scanning the lateral side of an overhang structure through a tip of a probe and to directly utilize components of the tip of the existing microscope. A scanning probe microscope capable of measuring overhang type samples(200) is composed of a first probe(100); a first scanner(310) for changing the position of the first probe on a straight line; and a second scanner(320) for changing the position of the sample on a plane. The straight line where the position of the first probe is changed by the first scanner is non-perpendicular to the plane where the position of the sample is changed by the second scanner.
摘要翻译：提供能够测量悬垂型样品的扫描探针显微镜，通过精确扫描悬臂结构的侧面通过探针的尖端精确地收集关于样品表面的数据，并直接利用现有显微镜尖端的部件。能够测量突出型样品（200）的扫描探针显微镜由第一探针（100）组成; 用于改变第一探针在直线上的位置的第一扫描仪（310）; 以及用于改变样品在平面上的位置的第二扫描仪（320）。通过第一扫描仪改变第一探针的位置的直线与第二扫描器改变样品位置的平面不垂直。

2. 发明授权

KR101122371B1 주사형 프로브 현미경 및 주사형 프로브 현미경용 미세 변동기구 有权
标题翻译：扫描探针显微镜和精细调整机制扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR101122371B1
公开(公告)日：2012-03-26
申请号：KR1020050011640
申请日：2005-02-11
申请人： 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스
发明人： 이요키마사토 , 히다카아키히코 , 와타나베가즈토시
IPC分类号： G01B7/34 , H01J37/26
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/872
摘要： 본 발명은 좁은 공간에서도 설치가 가능한 스트레인 게이지식 변위 센서를 온도 보상이 가능하도록 배치하는 것에 의해, 강성이 높고, 측정 정밀도가 높은 주사형 프로브 현미경용의 미세 변동기구를 제공한다. 압전소자에 의해 구성되는 미세 변동기구에, 적어도 2분할이상의 전극을 설치한다. 그 중 1개의 전극부는 전압을 인가하지 않도록 더미전극으로서 구성한다. 다른 전극은 전압을 인가하는 것에 의해 변형률을 발생하는 액티브 전극으로서 구성한다. 액티브전극과 더미전극에 각각 1개, 또는 2개의 저항체를 설치하고, 저항체에 의해 브릿지회로를 구성하였다.

3. 发明授权

KR101604055B1 SEM 스테이지를 활용한 6축구동 전자현미경 스테이지 有权
标题翻译：具有6轴运动的电子显微镜阶段使用SEM阶段
公开(公告)号：KR101604055B1
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：KR1020140179137
申请日：2014-12-12
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 정종만 , 김윤중 , 김용주
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/04
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/04 , H01J2237/20207 , Y10S977/872
摘要： 본발명은전자현미경에서기존의주사전자현미경(SEM) 시료스테이지를활용하여 SEM 뿐아니라투과전자현미경(TEM)과주사투과전자현미경(STEM)용으로이용할수 있도록하는 6축구동전자현미경스테이지에관한것으로, 보다상세하게는하나또는복수개의그리드안착홈-빔투과공이형성되어있는시료크래들과, 상기시료크래들이안착되는지지판을포함하는가, SEM 또는 STEM 시료스테이지의상면에소정의각도로세워져서장착되어있는 6축구동전자현미경스테이지에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种具有6轴运动的电子显微镜载物台，不仅用于SEM，而且在电子显微镜中使用现有的SEM样品台也可以使用TEM或STEM。更具体地，本发明涉及具有6轴运动的电子显微镜载物台，其包括样品保持部分。样品保持部分包括具有一个或多个栅格安装槽梁穿透孔的简单托架和用于安装样品托架的支撑板。样品保持部分从SEM或STEM样品台的上表面以预设角度竖立。

4. 发明授权

KR100493151B1 멀티폴디스 스프링을 이용한 다축 구동을 위한싱글스테이지 마이크로 구동기 失效
标题翻译：使用多折弹簧进行多维驱动的单级微型致动器
公开(公告)号：KR100493151B1
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：KR1020000041425
申请日：2000-07-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정희문 , 전종업
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H02N1/008 , B82Y10/00 , G11B9/1418 , Y10S977/872
摘要： 멀티 폴디드 스프링을 이용한 싱글 스테이지 마이크로 구동기에 관해 개시된다. 개시된 구동기는: 기판 상의 고정판 전극의 상방에 위치하는 것으로 4개의 변을 가지는 사각형의 스테이지와; 상기 스테이지의 제 1 방향의 양측 변과 제 2 방향의 양측 변에 대응하여 각 주변 영역에 마련되는 것으로 해당 주변 영역에 인접한 스테이지의 변에 수직인 방향으로 다수 나란하게 배치되는 다수의 구동 프레임을 구비하는 복수의 구동 프레임부와; 상기 스테이지의 각 변과 이에 대응하는 각 구동 프레임부를 상호 연결하는 것으로 상기 스테이지의 대응하는 변에 나란한 방향으로 연장되는 다수의 스프링 부재와 이를 지지하는 스프링 지지부재를 구비하는 제 1 스프링부와; 상기 각 영역의 구동 메인프레임부의 구동 프레임들과 교호적으로 나란히 배치되는 다수의 고정 프레임을 구비하는 다수의 고정 프레임부와; 상기 구동 프레임부의 각 구동 프레임에 마련되는 것으로 각 해당 영역에 대응한 상기 스테이지의 일측 변에 나란한 방향으로 연장되는 구동 콤 전극과; 상기 고정 프레임부의 각 고정 프레임에 마련되는 것으로 상기 구동 콤 전극과 교호적으로 나란히 배치되는 고정 콤 전극과; 상기 구동 프레임부를 각각 상기 기판에 대해 지지함과 아울러 해당 구동 프레임부의 구동 콤 전극의 연장 방향으로 탄성 바이어스하는 것으로서, 해당 구동프레임부의 구동프레임과 나란한 방향으로 연장되는 다수의 스프링부재와 이들 스프링 부재를 지지하는 스프링 지지부재를 구비하는 제2스프링부를; 구비하는 싱글 스테이지 마이크로 구동기를; 구비한다. 구동부에 하나의 전극을 사용하여 다축 구동을 하며 절연 공정이 불필요하여 공정 단순화가 이루어 지고, 두축 구동시 커플링이 배제되는 한편 일정 크기를 갖는 저장매체인 미디어를 싣는 스테이지를 장착하더라도 XY 평면 운동이외의 다른 운동이 상대적으로 발생하기 어려운 스프링 지지 구조가 제공된다.

5. 发明授权

KR100269547B1 미세 위치 결정 장치용 틸팅 포지셔너 失效
标题翻译：用于微波器件的倾斜定位器
公开(公告)号：KR100269547B1
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：KR1019970003731
申请日：1997-02-06
申请人： 알카텔-루센트 유에스에이 인코포레이티드
发明人： 그리피스조셉에드워드 , 클라이만라파엘나탄
IPC分类号： G02B7/00
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/872
摘要： The device includes a rigid elongated member with a first free end and a second pivot end. The member is coupled at the free end to a first of the elements so as to prevent relative horizontal movement. A first pivotal is coupled on a first side of the longitudinal axis for pivotably coupling the pivot end of the elongated member to a first of the support members. A second pivotal is coupled across the longitudinal axis from the first pivotal coupling for pivotably coupling the pivot end of the elongated member to a second of the support members. A first small motion transducer actuator has a first end coupled to the first support member so as to prevent relative movement and an opposite end is coupled to a second of the elements so as to prevent relative movement. The first actuator is controlled to effect relative movement between the first support member and the second element so as to cause the elongated member to tilt.

6. 发明授权

KR100137474B1 주사형 터널링 마이크로스코프 失效
标题翻译：扫描隧道显微镜
公开(公告)号：KR100137474B1
公开(公告)日：1998-06-15
申请号：KR1019890012385
申请日：1989-08-30
申请人： 세이코 덴시고교 가부시키가이샤
发明人： 미야따기까라 , 야스떠께마사또시 , 이시지마히로시
IPC分类号： G02B21/32
CPC分类号： G01Q60/16 , G01Q30/025 , Y10S977/872
摘要： 본 발명은 주사형 터널링 마이크로스코프에 관한 것으로, 탐침과 미세 이동 소자를 가지고 있는 미세 이동 소자 블록이 마이크로스코프의 리벌버에 제거 가능하게 배치되고, 상기 탐침의 방향으로 견본을 이동시키기 위한 거친 이동 메카니즘이 상기 마이크로스코프의 견본 스테이지 상에 배치되는 것을 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR1019940003918B1 형상측정장치 失效
标题翻译：形状测量仪器
公开(公告)号：KR1019940003918B1
公开(公告)日：1994-05-09
申请号：KR1019910003677
申请日：1991-03-07
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 요시즈미게이이찌 , 쿠보케이시
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/007 , Y10S977/861 , Y10S977/869 , Y10S977/872 , Y10S977/932 , Y10S977/951
摘要： 내용 없음.

8. 发明公开

KR1020060041871A 주사형 프로브 현미경 및 주사형 프로브 현미경용 미세 변동기구 有权
标题翻译：精细调整机制用于扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR1020060041871A
公开(公告)日：2006-05-12
申请号：KR1020050011640
申请日：2005-02-11
申请人： 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스
发明人： 이요키마사토 , 히다카아키히코 , 와타나베가즈토시
IPC分类号： G01B7/34 , H01J37/26
CPC分类号： G01Q10/04 , Y10S977/872
摘要： 본 발명은 좁은 공간에서도 설치가 가능한 스트레인 게이지식 변위 센서를 온도 보상이 가능하도록 배치하는 것에 의해, 강성이 높고, 측정 정밀도가 높은 주사형 프로브 현미경용의 미세 변동기구를 제공한다. 압전소자에 의해 구성되는 미세 변동기구에, 적어도 2분할이상의 전극을 설치한다. 그 중 1개의 전극부는 전압을 인가하지 않도록 더미전극으로서 구성한다. 다른 전극은 전압을 인가하는 것에 의해 변형률을 발생하는 액티브 전극으로서 구성한다. 액티브전극과 더미전극에 각각 1개, 또는 2개의 저항체를 설치하고, 저항체에 의해 브릿지회로를 구성하였다.

9. 发明公开

KR1020020007895A 멀티폴디스 스프링을 이용한 다축 구동을 위한싱글스테이지 마이크로 구동기 失效
标题翻译：使用多折叠弹簧进行多次启动的单级微处理器
公开(公告)号：KR1020020007895A
公开(公告)日：2002-01-29
申请号：KR1020000041425
申请日：2000-07-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정희문 , 전종업
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H02N1/008 , B82Y10/00 , G11B9/1418 , Y10S977/872
摘要： PURPOSE: A single stage microactuator for multidimensional actuation using a multi-folded spring is provided to drive multiple shafts by using a single electrode in a simplified process by removing the insulation process and effectively restrain the coupling between motions in X-Y plane direction of a stage, increasing the storage capacity of the stage. CONSTITUTION: A single stage micro actuator for multi-shaft driving by using a multi-folded spring includes a substrate(11), a fixing plate electrode formed in the center of the substrate, a rectangular stage positioned on the fixing plate electrode with sides in a first direction and the other sides in a second direction perpendicular to the first direction, a plurality of driving frame parts(33) provided in peripheral areas corresponding to all of the sides and having a plurality of parallel driving frames disposed in a direction perpendicular to sides of the stage adjacent to the corresponding peripheral areas, a first spring part(31) connecting the respective driving frame parts corresponding to the respective sides of the stage with one another and having a plurality of spring elements extended in parallel with the sides corresponding to the stage and spring supporting elements for supporting the springs, a plurality of fixing frame parts having a plurality of fixing frames(21) disposed alternately in parallel with the driving frames, a driving comb electrode(22) provided to the respective driving frames and extended in parallel to one sides of the stage, fixed comb electrode(32) disposed alternately in parallel with the driving comb electrode, and a second spring part(35) for supporting the driving frame parts with respect to the substrate and elastically biasing the driving frame part and having a plurality of spring elements extended in parallel with the driving frame and a spring supporting element for supporting the springs.
摘要翻译：目的：提供使用多折叠弹簧进行多维驱动的单级微型致动器，通过去除绝缘过程并且有效地抑制在平台的XY平面方向上的运动之间的耦合，通过简化的过程中使用单个电极来驱动多个轴，增加舞台的存储容量。构成：用于通过使用多折叠弹簧的多轴驱动的单级微致动器包括基板（11），形成在基板中心的固定板电极，位于固定板电极上的矩形台第一方向和与第一方向垂直的第二方向的另一侧;多个驱动框架部件，设置在与所有侧面对应的周边区域中，并且具有多个平行的驱动框架，与相应的周边区域相邻的台阶的第一弹簧部分（31），将对应于舞台的相应侧面的相应的驱动框架部分彼此连接并且具有多个弹簧元件，弹簧元件与对应于用于支撑弹簧的平台和弹簧支撑元件，具有多个固定框架（21）的多个固定框架部件与驱动框架平行地交替排列;驱动梳状电极（22），设置在各个驱动框架上并平行延伸到载物台的一侧，与驱动梳状电极交替设置的固定梳状电极（32）;以及第二弹簧部分（35），用于相对于基板支撑驱动框架部分并且弹性偏置驱动框架部分并且具有与驱动框架平行延伸的多个弹簧元件和用于支撑弹簧的弹簧支撑元件。

10. 发明授权

KR100255578B1 원자 분해능을 갖는 미세 위치 설정 장치 失效
标题翻译：精细定位装置与原子分辨率
公开(公告)号：KR100255578B1
公开(公告)日：2000-05-01
申请号：KR1019970701242
申请日：1994-08-27
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 비닝,제르드,케이. , 하에베를레,발터 , 로흐허,하인리히 , 스미쓰,더글라스피.이.
IPC分类号： G01B7/02
CPC分类号： G01Q10/04 , G11B5/5521 , G11B9/1418 , G11B21/02 , H02K41/035 , H02K41/0356 , H02K2201/18 , Y10S977/872
摘要： 유도성 액츄에이터(2, 3)을 포함하는 미세 위치 설정 장치가 제공된다. 종래의 유도성 액츄에이터가 제공하는 1㎛에 비해 1nm 이하의 위치 설정 정밀도가 달성된다. 바람직한 실시예들에서 자기 액츄에이터의 운동은 기계적 수단(5, 6, 35)에 의해 감쇠, 즉 줄어들므로 액츄에이터를 이동시키는데 필요한 전류량을 증가시키게 된다. 본 미세 위치 설정기는 주사 탐침 현미경 분양에서 사용될 수 있다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式