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1. 发明授权

KR101891940B1 원자력 현미경을 작동시키는 방법 有权
公开(公告)号：KR101891940B1
公开(公告)日：2018-08-27
申请号：KR1020177035008
申请日：2011-03-21
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 루이터,안토니우스지. , 미텔,헨리
IPC分类号： G01Q30/10 , G01Q70/04
CPC分类号： G01Q30/10 , B82Y35/00 , G01Q70/04
摘要： 원자력현미경과같은스캐닝프로브현미경은실질적으로 Invar가없는재료로구성된 z-스테이지및 브리지를포함한다. 프로브를포함하는스캐너가 z-스테이지에장착되고, 이스테이지는프로브를올리고내리기위해 z-축에서움직일수 있다. z-스테이지와브리지의열적드리프트를감소시키기위한드리프트보상시스템이제공된다. 이드리프트보상시스템은 z-스테이지와브리지에열적으로결합되는가열요소, 주변온도센서및 브리지와 z-스테이지의온도를승온된온도로유지하기위해가열요소를능동적으로제어하는제어기를포함한다.

2. 发明授权

KR101878753B1 수직 장착이 가능한 현미경용 시료 스테이지 및 이를 채용한 주사 탐침 현미경 有权
公开(公告)号：KR101878753B1
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：KR1020120149757
申请日：2012-12-20
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 서환수
IPC分类号： G02B21/26 , G01Q30/20
CPC分类号： G01Q30/20 , B82Y35/00
摘要： 개시된현미경용시료스테이지는, 몸체의하측에시료장착부와안착부가마련되고몸체의상측에장착수단용파지부가마련된시료홀더와, 시료홀더가장착되는것으로서시료홀더의안착부를지지하는지지부를구비하는시료받침대와, 시료받침대에마련되며안착부가지지부에지지된상태에서시료홀더에수직방향에대하여경사진가압력을제공하여시료받침대에고정시키는탄성부재를포함하여, 수직장착이가능하다.

3. 发明授权

KR101823954B1 탐침형 원자 현미경 작동 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于操作探针型原子显微镜的方法和设备
公开(公告)号：KR101823954B1
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：KR1020177001022
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.
摘要翻译： AFM成像（峰值力带（PFT）模式）的改进模式300提供可变力反馈以减小尖端 - 样品相互作用力，同时保持可通过所有现有AFM操作模式实现的扫描速率。使用。样品成像和力学性能测试是通过提高分辨率和高样品通量来完成的，并且提供了一种在包括气体，流体和真空在内的可变环境中的操作模式。

4. 发明授权

KR101699111B1 운동학적 굴곡 어레인지먼트를 채용한 지지 스테이지를 갖는 주사형 프로브 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜支持动画激光装置的支持
公开(公告)号：KR101699111B1
公开(公告)日：2017-01-24
申请号：KR1020127012202
申请日：2010-10-29
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 마셜,칼
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q30/00
CPC分类号： B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q10/065 , G01Q70/04
摘要： 주사형프로브현미경(SPM)(200)이프로브(14)가부착된압전액추에이터-기반튜브스캐너(12)를갖고, 이튜브스캐너는압전튜브에전압을가함으로써 3개의평면에서이동가능하다. 한세트의굴곡부(40)가튜브의변위로구부러지고, 굴곡부에부착된변형게이지(74, 76, 78, 80)가굴곡부의구부러짐을측정하여, 대상물의스캐닝동안튜브의변위에대해피드백을제공한다. 변형게이지와굴곡부가, 각각의자유도에단일제약이제공되고제약은서로에대해적어도실질적으로직교하는운동학적감지프레임또는어레인지먼트를형성한다.
摘要翻译：扫描探针显微镜（SPM）具有基于压电致动器的管扫描器，探针附接到其上，并且通过向压电管施加电压可在三个平面中移动。一组挠曲随着管的位移而弯曲，并且附接到挠曲件的应变计测量挠曲件的挠曲以提供关于在对象的扫描期间管的位移的反馈。应变计和挠曲形成运动学感测框架或布置，其中为每个自由度提供单个约束，并且其中约束至少基本上彼此正交。

5. 发明授权

KR101474576B1 스캐닝 탐침 현미경용 탐침 조립체 有权
标题翻译：用于扫描探针显微镜的探头组件
公开(公告)号：KR101474576B1
公开(公告)日：2014-12-18
申请号：KR1020097009048
申请日：2007-10-31
申请人： 인피니트시마 리미티드
发明人： 험프리스,앤드류 , 카토,데이빗
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q10/04 , G01Q70/06 , B82Y15/00
CPC分类号： G01Q70/06 , B82Y35/00
摘要： 탐침조립체는스캐닝탐침현미경에사용하기위한것이다. 탐침조립체는적어도 3개의동일한다수의탐침이구비된캐리어를포함하며; 상기각각의탐침은다수의탐침팁에공통인평면에배치되고, 이러한평면으로부터이동가능한팁을포함한다. 또한, 상기조립체는탐침의나머지대부분에대한상대이동을위하여다수의탐침중하나를선택하는어드레싱수단을포함한다. 사용된탐침의신속한자동교체를촉진시키는잠재력을갖는이러한조립체는고속스캐닝장치에도사용된다.

6. 发明授权

KR101378413B1 반도체 미립자의 제조방법 및 그 미립자 有权
标题翻译：生产半导体精细颗粒和精细颗粒的方法
公开(公告)号：KR101378413B1
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：KR1020107005163
申请日：2008-08-07
申请人： 엠. 테크닉 가부시키가이샤
发明人： 에노무라마사카즈
IPC分类号： H01L21/368 , B01J19/00 , C01G9/08 , C01B33/023
CPC分类号： H01L33/0083 , B01F7/00 , B01F7/00758 , B01F7/00791 , B82Y30/00 , B82Y35/00 , C01G9/08 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C01P2006/40 , H01L21/02521 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L33/005 , H01L33/26 , H01L33/285 , H01L51/0094 , Y10S516/927 , Y10S516/928 , Y10S977/896
摘要： 목적에 따라서 단분산의 화합물 반도체 미립자가 제작될 수 있고, 또한 자기 배출성에 의해 생성물의 막힘도 없고, 큰 압력을 필요로 하지 않고, 또한 생산성도 높은 화합물 반도체 미립자의 제조방법을 제공하는 것을 과제로 하는 것이며, 반도체 원료를 유체 중에 있어서 석출·침전시켜서 화합물 반도체 미립자를 제조함에 있어서, 상기 유체를 접근·이반 가능하게 서로 대향해서 설치되어 적어도 한 쪽이 다른 쪽에 대하여 회전하는 처리용 면의 사이에서 생성되는 박막 유체로 하는 것이고, 상기 박막 유체 중에 있어서 반도체 원료를 석출·침전시킨다. 또한, 반도체 원소를 포함하는 화합물을 유체 중에 있어서 환원제와 반응시켜서 상기 반도체 원소를 포함하는 반도체 미립자를 제조함에 있어서, 상기 유체를 접근·이반 가능하게 서로 대향해서 설치되어 적어도 한 쪽이 다른 쪽에 대하여 회전하는 처리용 면의 사이에서 생성되는 박막 유체로 하는 것이고, 상기 박막 유체 중에 있어서 상기 반도체 원소를 포함하는 화합물과 환원제를 반응시킨다.

7. 发明公开

KR1020130069570A 저 드리프트 스캐닝 프로브 현미경 审中-实审
标题翻译：低速扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR1020130069570A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：KR1020127026863
申请日：2011-03-21
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 루이터,안토니우스지. , 미텔,헨리
IPC分类号： G01Q30/10 , G01Q70/04
CPC分类号： G01Q30/10 , B82Y35/00 , G01Q70/04
摘要： 원자력 현미경과 같은 스캐닝 프로브 현미경은 실질적으로 Invar가 없는 재료로 구성된 z-스테이지 및 브리지를 포함한다. 프로브를 포함하는 스캐너가 z-스테이지에 장착되고, 이 스테이지는 프로브를 올리고 내리기 위해 z-축에서 움직일 수 있다. z-스테이지와 브리지의 열적 드리프트를 감소시키기 위한 드리프트 보상 시스템이 제공된다. 이 드리프트 보상 시스템은 z-스테이지와 브리지에 열적으로 결합되는 가열 요소, 주변 온도 센서 및 브리지와 z-스테이지의 온도를 승온된 온도로 유지하기 위해 가열 요소를 능동적으로 제어하는 제어기를 포함한다.

8. 发明公开

KR1020130050088A 극저온 내지 상온 범위에서 부피전기저항 측정을 통한 탄소나노 고분자복합재료의 분산도 측정 방법 有权
标题翻译：聚合物基体中分散的碳纳米材料的评价装置和分散度方法
公开(公告)号：KR1020130050088A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：KR1020110115244
申请日：2011-11-07
申请人： 경상대학교산학협력단 , 한국기계연구원
发明人： 박종만 , 이원오 , 엄문광 , 왕작가 , 권동준
IPC分类号： G01N27/04 , G01N27/00 , B82Y35/00
CPC分类号： G01N27/04 , B82Y35/00 , C01B32/168 , C08J5/005
摘要： PURPOSE: A device and a method for measuring the dispersion of a carbon nano polymer composite material by measuring volume electrical resistivity at ultra-low temperature or room temperature are provided to enable to estimate the dispersed extent of conductive particle in a polymer matrix, thereby improving the reliability of measuring the dispersion. CONSTITUTION: A device(1000) for measuring the dispersion of a carbon nano polymer composite material by measuring volume electrical resistivity at ultra-low temperature or room temperature comprises a specimen(100), a chamber, a temperature adjusting unit(300), a measuring unit(400), a control unit(500), and an output unit(600). The specimen is a carbon nano polymer composite material and includes two or more contact points. The chamber receives the specimen in inside. The temperature adjusting unit adjusts the temperature of the chamber at an ultra-low temperature of -200°C or room temperature. The measuring unit is connected to the contact point of the carbon nano polymer composite material and measures the volume electrical resistivity. The control unit controls the operation of the measuring unit and the temperature adjusting unit.
摘要翻译：目的：提供通过在超低温或室温下测量体积电阻率来测量碳纳米聚合物复合材料的分散体的装置和方法，以便能够估计聚合物基质中导电颗粒的分散程度，从而改善测量色散的可靠性。构成：用于通过在超低温或室温下测量体积电阻率来测量碳纳米聚合物复合材料的分散体的装置（1000）包括试样（100），室，温度调节单元（300），测量单元（400），控制单元（500）和输出单元（600）。样品是碳纳米聚合物复合材料，包括两个或更多个接触点。室内收到标本。温度调节单元在-200℃或室温的超低温下调节室的温度。测量单元连接到碳纳米复合材料的接触点，并测量体积电阻率。控制单元控制测量单元和温度调节单元的操作。

9. 发明公开

KR1020120111424A 구획홈을 구비한 다채널 수정 결정 미소 저울. 有权
标题翻译：多通道单晶石英晶体微结构与DITCH STOPPER
公开(公告)号：KR1020120111424A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：KR1020110029879
申请日：2011-03-31
申请人： 국민대학교산학협력단
发明人： 임시형 , 임홍재 , 김규학 , 이용훈
IPC分类号： G01G3/16 , G01G3/12
CPC分类号： G01G3/16 , B82Y15/00 , B82Y35/00
摘要： PURPOSE: A multi-channel quartz crystal micro-balance having a partitioning groove is provided to reduce interferences that vibration generated by each electrode interferes to other adjacent electrodes. CONSTITUTION: A multi-channel quartz crystal micro-balance(100) having a partitioning groove(40) comprises a crystal substrate(10) and a plurality of electrodes. The crystal substrate consists of a quartz crystal. The electrodes consists of a first electrode(20) and a second electrode. The first electrode is arranged in a front surface of the quartz crystal. The second electrode is arranged in a rear surface of the crystal substrate to be faced to the first electrode. The crystal substrate is divided into a plurality of sensing areas by the partitioning groove concavely formed on a surface of the crystal substrate. Each electrode is respectively arranged in the plurality of sensing areas divided by the partitioning groove.
摘要翻译：目的：提供具有分隔槽的多通道石英晶体微平衡，以减少由每个电极产生的振动干扰其他相邻电极的干扰。构成：具有分隔槽（40）的多通道石英晶体微平衡（100）包括晶体基板（10）和多个电极。晶体衬底由石英晶体组成。电极由第一电极（20）和第二电极构成。第一电极布置在石英晶体的前表面中。第二电极布置在晶体衬底的背面以面向第一电极。晶体基板通过凹形地形成在晶体基板的表面上的分隔槽分成多个感测区域。每个电极分别布置在由分隔槽分开的多个感测区域中。

10. 发明公开

KR1020100110311A 상호변조 주사 힘 분광법 有权
标题翻译：互调扫描力谱
公开(公告)号：KR1020100110311A
公开(公告)日：2010-10-12
申请号：KR1020107014228
申请日：2008-11-26
申请人： 인터모듈레이션 프로덕츠 에이비
发明人： 해빌런드데이비드비 , 톨렌에릭 , 플라츠다니엘 , 후터카르스텐 , 한손한스
IPC分类号： G01Q60/24
CPC分类号： G01Q60/34 , B82Y35/00 , G01Q30/04 , G01Q60/24 , G01Q20/00 , G01Q60/52
摘要： 2 개의 이상의 주파수를 가지는 공진기를 구동하고 상호변조의 비선형 현상을 이용하여 표면을 감지하는 방법을 발명하였다. 날카로운 팁을 가지는 공진기(예를 들어 발진 캔틸레버)가 표면 근처로 오는 경우, 비선형 팁-표면 상호작용은 공진기의 상호변조 응답을 발생한다. 상호변조 응답의 측정된 주파수 스펙트럼은 표면의 물질 조성에 대한 많은 정보를 포함한다. 공진기가 표면 상에서 주사되는 경우, 상호변조 스펙트럼은 표면 위의 다른 물질들에 대한 개선된 대비를 가지는 표면의 이미지를 만들기 위해 사용될 수 있거나, 또는 표면 위의 모든 지점에서의 팁-표면 상호작용을 추출하기 위해 사용될 수 있다.

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