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1. 发明授权

KR101195202B1 나노 와이어를 이용한 프로브, 및 프로브 제조방법 有权
标题翻译：使用NANOWIRE及其方法的探索
公开(公告)号：KR101195202B1
公开(公告)日：2012-10-29
申请号：KR1020110037226
申请日：2011-04-21
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 안재평 , 서종현 , 윤상원
IPC分类号： G01Q70/12 , G01Q70/16 , G01Q70/14
CPC分类号： G01Q70/12 , G01Q70/14 , G01Q70/18 , Y10S977/85
摘要： PURPOSE: A probe using a nano wire and a manufacturing method therefor are provided to manufacture a probe using a single-crystal metal nano probe, thereby measuring electrical properties of the probe without damage on a surface of the probe. CONSTITUTION: Single-crystal metal nano wires(110) are formed on a substrate(100). A mother body(200) contacts the single-crystal metal nano wires. An electronic beam or an ion beam are irradiated onto a portion where the motor body contacts the single-crystal metal nano wires so that bonded mother body are bonded with the single-crystal metal nano wires. The mother body bonded with the single-crystal metal nano wires is separated from the substrate. [Reference numerals] (AA) Detaching from substrate
摘要翻译：目的：提供使用纳米线的探针及其制造方法，以制造使用单晶金属纳米探针的探针，由此测量探针的电性能而不会在探针表面受损。构成：在基板（100）上形成单晶金属纳米线（110）。母体（200）接触单晶金属纳米线。将电子束或离子束照射到电动机体与单晶金属纳米线接触的部分上，使得结合母体与单晶金属纳米线接合。与单晶金属纳米线接合的母体与基板分离。（附图标记）（AA）从基板脱离

2. 发明公开

KR1020110103198A 현미경 탐침의 제조 방법 有权
标题翻译：制造微波探针的方法
公开(公告)号：KR1020110103198A
公开(公告)日：2011-09-20
申请号：KR1020100022415
申请日：2010-03-12
申请人： 한국화학연구원 , 서울대학교산학협력단
发明人： 서영덕 , 전기석 , 김형민 , 홍승훈 , 김태경
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10 , G01Q70/14
CPC分类号： G01Q70/18 , G01N21/65 , G01Q70/12 , G01Q70/14
摘要： 본 발명은, (A)현미경 탐침의 팁을 덮도록 희생 물질막을 증착하는 단계와, (B)상기 희생 물질막이 증착된 상기 팁의 일 말단를 절삭(grinding)하여 첨단부를 형성하고 상기 팁의 첨단부에 증착된 희생 물질막을 제거하는 단계와, (C)상기 팁에 복수의 물질이 적층된 다중층을 형성하는 단계와, (D)상기 다중층이 형성된 팁을 식각(etching)하여 상기 팁의 첨단부 이외에 증착된 희생 물질막 및 상기 희생 물질막에 적층된 다중층을 제거하는 단계를 포함하는 현미경 탐침의 제조 방법을 제공한다.
이러한 제조 방법에 따라 제조된 현미경 탐침의 팁 상에 라만 증강을 가져올 수 있도록 복수의 물질이 적층된 구조의 다중층을 형성하는 과정을 통하여 선명도 및 분해능을 향상할 수 있게 한다.

3. 发明公开

KR1020090117177A 미세 프로브 제작 방법 및 그 미세 프로브 失效
标题翻译： NANOPROBE制造方法及其纳米材料
公开(公告)号：KR1020090117177A
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：KR1020080043093
申请日：2008-05-08
申请人： 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 안태창 , 최우석 , 임근배
IPC分类号： G01Q70/12 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q60/40 , B82Y15/00 , G01Q70/12 , G01Q70/18
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a micro probe and a micro probe thereof are provided to easily control shape, thickness, and length of a micro probe by controlling a concentrating region of an electric field. CONSTITUTION: A body of a micro probe is formed by aligning at least two electrodes(ST10). A solution for forming a micro probe formed by mixing a nano wire and one of nano particle to monomer is prepared(ST20). The solution for forming the micro probe is supplied between the electrodes(ST30). An electric field is concentrated between corresponding tips by applying a voltage between the electrodes(ST40). A micro probe is formed in an end of the electrode(ST50). The solution for forming the micro probe includes catalyst.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造微型探针及其微型探针的方法，以通过控制电场的集中区域来容易地控制微型探针的形状，厚度和长度。构成：通过对准至少两个电极（ST10）形成微探针体。制备通过将纳米线和纳米粒子之一混合到单体形成的微探针的溶液（ST20）。用于形成微探针的解决方案被提供在电极（ST30）之间。通过在电极之间施加电压（ST40），电场集中在相应的尖端之间。微电极形成在电极的末端（ST50）。用于形成微探针的溶液包括催化剂。

4. 发明公开

KR1020070021711A 나노 팁 및 이의 제조방법 有权
标题翻译： Nanotips及其制造方法
公开(公告)号：KR1020070021711A
公开(公告)日：2007-02-23
申请号：KR1020050076283
申请日：2005-08-19
申请人： 한국기계연구원
发明人： 한창수 , 박준기
IPC分类号： G01Q70/10 , H01J37/28 , C01B31/02 , B82Y40/00
CPC分类号： H01J37/073 , G01Q70/12 , G01Q70/16 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , Y10S977/876 , B82Y40/00 , C01B32/158 , G01Q70/14 , H01J37/28
摘要： 본 발명은 일반적으로 표면신호나 화학적 신호를 검출하는 기계적, 물리적 및 전기적 장치 또는 에너지 빔을 조사하는 소스(Source)로서 활용이 가능한 나노 팁과 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 나노 팁의 제조방법은, 일단이 상기 기계적 또는 전기적 장치에 고정되는 지지홀더를 제공하는 단계와, 상기 지지홀더의 자유단에 탄소나노튜브(carbon nanotube)를 부착하는 단계와, 상기 탄소나노튜브에 에너지 빔을 조사(照射)하여 성질 또는 형상을 변경시키는 단계를 포함한다.
탄소나노튜브가 부착된 탄소나노튜브 팁을 에너지 빔을 이용해 길이와 직경, 끝단의 형상 등을 조절하여 견고하고 수직성이 향상된 나노 팁을 제작하여 종래의 프로브보다 안정적으로 샘플의 정보를 반복성 있게 재현할 수 있으며, 팁 간의 편차를 최대한 줄일 수 있는 효과가 있다.
프로브, 탄소나노튜브, 탄소 팁, 에너지 빔, 나노 팁
摘要翻译：本发明一般涉及一种表面信号或机械，物理，和能够纳米提示和用作源（Source）它们的制备，以检查所述电气设备或用于检测化学信号中的能量束。

5. 发明公开

KR1020070012803A 주사형 프로브 현미경 탐침 및 그 제조 방법 및 주사형프로브 현미경 및 그 사용 방법 및 침상체 및 그 제조 방법및 전자 소자 및 그 제조 방법 및 전하 밀도파 양자 위상현미경 및 전하 밀도파 양자 간섭계 无效
标题翻译：扫描探针微波探测器及其扫描探针显微镜及其应用方法及其等效元件及其生产方法及其电子元件及其生产方法及其充电密度波量子相位微波和电荷密度波量子干涉仪
公开(公告)号：KR1020070012803A
公开(公告)日：2007-01-29
申请号：KR1020067020386
申请日：2005-04-22
申请人： 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 카가쿠기쥬츠신코키코
发明人： 단다사토시 , 오다미가쿠 , 이나가키가쓰히코 , 오카와히로유키 , 도시마다케시 , 모모노나오키 , 니시다무네히로 , 이도마사유키
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/06 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q70/06 , G01Q70/12
摘要： A material film is deposited on the surface of a circular cone consisting of Si or the like and an electron beam is applied to a portion a specified distance away from the tip end of the circular cone along its side surface under the condition of not melting the circular cone to thereby grow needle-like crystal using the material film, whereby a scanning probe microscope probe is produced. A probe consisting of charge density wave crystal is used to constitute a charge density wave quantum phase microscope. Also, needle-like crystal consisting of charge density wave crystal is used to constitute a charge density wave quantum interferometer. In addition, a material consisting of pressure-induced superconducting substance is used for a scanning probe microscope probe. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：将材料膜沉积在由Si等构成的圆锥体的表面上，并且在不熔化的条件下，将电子束沿着其侧表面沿着其侧面施加到距离圆锥体的尖端特定距离的部分使用该材料膜生长针状晶体，由此生成扫描探针显微镜探针。由电荷密度波晶体构成的探针用于构成电荷密度波量子相显微镜。此外，由电荷密度波晶体构成的针状晶体用于构成电荷密度波量子干涉仪。此外，由扫描探针显微镜探针使用由压力诱导的超导物质组成的材料。 ®KIPO＆WIPO 2007

6. 发明授权

KR100635546B1 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 스캐닝 프로브마이크로 스코프의 탐침 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：具有场效应晶体管沟道的扫描探针显微镜探针及其制造方法
公开(公告)号：KR100635546B1
公开(公告)日：2006-10-17
申请号：KR1020040112159
申请日：2004-12-24
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 문원규 , 임근배 , 이상훈
IPC分类号： H01L29/78 , B82Y40/00
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q70/12 , G11B9/02 , G11B9/1409 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/855 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/862 , Y10S977/863 , Y10S977/864 , Y10S977/876
摘要： 본 발명은 평면형 전계 효과 트랜지스터를 제작하고, 그 위에 전도체의 탄소 나노 튜브를 제작함으로써, 날카로운 팁이 형성됨과 아울러 전기적 특성 또한 증가시킨 스캐닝 프로브 마이크로 스코프의 탐침을 제공하며, 이를 위하여, 본 발명은 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브를 성장시키기 위하여 준비하는 제 2 단계; 그리고 상기 준비된 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브 생성하는 제 3 단계; 를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법을 제공한다.
전계 효과 트랜지스터, 탄소 나노 튜브, 스캐닝 프로브 마이크로 스코프(SPM), 탐침, 게이트 전극, 시드 전극

7. 发明公开

KR1020060073765A 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 스캐닝 프로브마이크로 스코프의 탐침 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：具有场效应晶体管通道的扫描探针显微镜探测及其制作方法
公开(公告)号：KR1020060073765A
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：KR1020040112159
申请日：2004-12-24
申请人： 학교법인 포항공과대학교
发明人： 문원규 , 임근배 , 이상훈
IPC分类号： H01L29/78 , B82Y40/00
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q70/12 , G11B9/02 , G11B9/1409 , Y10S977/849 , Y10S977/85 , Y10S977/855 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/862 , Y10S977/863 , Y10S977/864 , Y10S977/876 , B82Y35/00 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
摘要： 본 발명은 평면형 전계 효과 트랜지스터를 제작하고, 그 위에 전도체의 탄소 나노 튜브를 제작함으로써, 날카로운 팁이 형성됨과 아울러 전기적 특성 또한 증가시킨 스캐닝 프로브 마이크로 스코프의 탐침을 제공하며, 이를 위하여, 본 발명은 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브를 성장시키기 위하여 준비하는 제 2 단계; 그리고 상기 준비된 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브 생성하는 제 3 단계; 를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법을 제공한다.
전계 효과 트랜지스터, 탄소 나노 튜브, 스캐닝 프로브 마이크로 스코프(SPM), 탐침, 게이트 전극, 시드 전극

8. 发明公开

KR1020030004070A 스캐닝 프로브 현미경 无效
标题翻译：扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR1020030004070A
公开(公告)日：2003-01-14
申请号：KR1020020036052
申请日：2002-06-26
申请人： 홋카이도 유니버시티
发明人： 고이찌무까사 , 카주히사수에오까 , 나오끼카모 , 히로타카호소이 , 마코또사와무라
IPC分类号： G01Q60/10 , B82Y15/00
CPC分类号： G01Q60/54 , G01Q70/12 , G01Q70/18 , Y10S977/838 , Y10S977/869 , Y10S977/876
摘要： PURPOSE: To provide a scanning probe microscope of novel arrangement applicable to various fields, e.g. biochemical field, for measuring various physical properties. CONSTITUTION: At the forward end part of a probe 2 in the scanning probe microscope, a carbon nanotube 3 having a conductive armchair type crystal structure or a carbon nanotube 3 having a forward end part modified chemically with a specified modifier molecule is provided.
摘要翻译：目的：提供适用于各种领域的新颖布置的扫描探针显微镜，例如生物化学领域，用于测量各种物理性质。构成：在扫描探针显微镜中的探针2的前端部，设置具有导电性扶手椅型晶体结构的碳纳米管3或具有通过特定的改性分子化学改性的前端部的碳纳米管3。

9. 发明公开

KR1020130044674A 나노 전극 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：纳米电极及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130044674A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110108858
申请日：2011-10-24
申请人： 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 임근배 , 안태창 , 이은주
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q60/24
CPC分类号： H01B7/00 , G01Q60/60 , G01Q70/12 , H01B13/06
摘要： PURPOSE: A nano electrode and a manufacturing method thereof are provided to accurately measure an electric chemical reaction in a micro area by selectively using the top of a probe as an electrode. CONSTITUTION: A nano electrode includes a main body(100), a nano wire(300), an insulating layer(400), and a nano electrode(500). The main body includes a protruding probe(200). The nano wire is attached to the probe. The insulating layer surrounds the nano wire. An opening unit of the insulating layer exposes a top surface of the nano wire. The nano electrode is formed into a size smaller than 200nm.
摘要翻译：目的：提供纳米电极及其制造方法，以通过选择性地使用探针的顶部作为电极来精确地测量微区域中的电化学反应。构成：纳米电极包括主体（100），纳米线（300），绝缘层（400）和纳米电极（500）。主体包括突出的探针（200）。纳米线连接到探头。绝缘层围绕纳米线。绝缘层的开口单元露出纳米线的顶表面。纳米电极形成为小于200nm的尺寸。

10. 发明公开

KR1020130027960A 절연막이 코팅된 전도성 탐침을 이용한 액상 정전기력 현미경 有权
标题翻译：使用绝缘体涂覆导电器的液体中的电力显微镜
公开(公告)号：KR1020130027960A
公开(公告)日：2013-03-18
申请号：KR1020110091507
申请日：2011-09-08
申请人： 명지대학교 산학협력단
发明人： 강치중 , 이남주 , 송가람
IPC分类号： G01Q60/00 , G01Q70/08 , G01N33/487
CPC分类号： G01Q60/34 , G01N33/487 , G01Q60/40 , G01Q70/12
摘要： PURPOSE: A liquid electrostatic force microscope using a conductive probe coated with an insulating layer is provided to improve the reliability of the measurement, and to accurately measure the electrical characteristic of a local domain in a biological liquid sample. CONSTITUTION: A liquid electrostatic force microscope(100) includes a liquid sample stage(125) for loading a biological liquid sample of an object. A lower electrode(127) is located inside the liquid sample stage. A cantilever detector(110) is located on the upper side of the liquid sample stage. A conductive probe(130) is combined to the cantilever detector, and is partially coated with a soft film as an upper electrode. Scanners(120, 190) monitor electrostatic force between the sample and the conductive probe. [Reference numerals] (120) Flat scanner; (125) Liquid sample stage; (127) Electrode; (140) Lock-in amplifier; (150) Manipulator; (160) Computer; (170,171) Mirror; (180) Laser light source; (190) Stepped scanner; (AA) Light detector; (BB) Conductive probe
摘要翻译：目的：提供一种使用涂有绝缘层的导电探针的液体静电力显微镜，以提高测量的可靠性，并精确测量生物液体样品中局域的电特性。构成：液体静电力显微镜（100）包括用于装载物体的生物液体样品的液体样品台（125）。下部电极（127）位于液体样品台内部。悬臂检测器（110）位于液体样品台的上侧。将导电探针（130）组合到悬臂检测器，并且部分地涂覆有作为上电极的软膜。扫描仪（120,190）监测样品和导电探针之间的静电力。（附图标记）（120）平面扫描器; （125）液体样品台; （127）电极; （140）锁定放大器; （150）机械手; （160）电脑; （170,171）镜; （180）激光光源; （190）步进扫描仪; （AA）光检测器; （BB）导电探针

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