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1. 发明授权

KR100211468B1 액티브제진장치 및 그의 제조방법 失效
标题翻译：主动抗振装置及其制造方法
公开(公告)号：KR100211468B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960021128
申请日：1996-06-13
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 카토히로아키
IPC分类号： F16F15/00
CPC分类号： G05D19/02 , F16F15/02 , G03F7/70716 , G03F7/70833 , G03F7/709 , Y10S73/01 , Y10S73/10
摘要： 본 발명의 목적은, 관측잡음 등의 오차요인의 영향을 최소화하여 제진대의 강체운동으로서의 병진 및 회전운동을 정밀하게 산출함으로써 매우 정밀하게 제진동작을 행하는 것이다. 기기를 지지하는 제진대(4)의 운동을 복수의 센서(2a),(2b),(2c)에 의해 검출하고, 상기 센서로부터의 검출출력에 의거해서 액츄에이터(3a),(3b),(3c)를 제어하는 것에 의해 제진대의 제진동작을 행하는 액티브제진장치에 있어서, 제진대의 XY평면에 관한 운동의 운동파라미터를 Px, Py, Pez, 각 센서로부터의 출력신호를 s
n 이라 정의하면, 상기 센서의 기하학적 배치에 의해서 벡터[p
x , p
y , pe
z ]와 벡터 [s
1 , ,s
n ]사이에 성립된 연립방정식 s=Ap의 계수행렬A의 조건수가 최소가 되도록 센서를 배치한다.

2. 发明公开

KR1020010050327A 마이크로기계 장치 无效
标题翻译：微生物装置
公开(公告)号：KR1020010050327A
公开(公告)日：2001-06-15
申请号：KR1020000051999
申请日：2000-09-04
申请人： 센소노르 아사
发明人： 다니엘라파다투 , 테르제크비스터로이 , 헨릭쟈코브센
IPC分类号： G01P3/00
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/032 , B81B2203/0109 , G01C19/5755 , G01P1/006 , G01P15/0802 , G01P2015/0828 , Y10S73/01
摘要： PURPOSE: A micromechanical device is provided to reduce the assembly-related strains, stress and associated temperature-induced variations of the overall device, thus simplifying the evaluation electronics of the device. CONSTITUTION: A pedestal structure and its fabrication method provide a stress release assembly of micromechanical sensors, in particular acceleration sensors, angular rate sensors, inclination sensors or angular acceleration sensors. At least one silicon seismic mass(32) is used as sensing element. The at least one silicon seismic mass(32) is joined to the silicon frame via at least one elongate assembly pedestal, the surface of which is bonded to a covering wafer, either glass or silicon. Signals may be transmitted via buried conductors in the pedestal. The bonding area is reduced by shallow transversal recesses in the surface of the pedestal.
摘要翻译：目的：提供一种微机械装置，以减少与装置有关的应变，应力和相关温度引起的整个装置的变化，从而简化了装置的评估电子装置。构造：基座结构及其制造方法提供微机械传感器的应力释放组件，特别是加速度传感器，角速度传感器，倾斜传感器或角加速度传感器。至少有一个硅质量块（32）用作传感元件。所述至少一个硅抗震块（32）经由至少一个细长的组件基座接合到所述硅框架，所述细长组件基座的表面与玻璃或硅的覆盖晶片结合。信号可以通过基座中的埋地导体传输。接合区域由底座表面的浅横向凹槽减少。

3. 发明公开

KR1020160070514A 센서 패키지 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：传感器封装及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160070514A
公开(公告)日：2016-06-20
申请号：KR1020140177557
申请日：2014-12-10
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 이강현
IPC分类号： G01P15/12 , G01P15/125 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/12 , G01P15/125 , H01L29/84 , Y10S73/01
摘要： 본발명은본 발명의목적은이물질이내부로침투하는것을효과적으로차단할수 있는센서패키지및 그제조방법에관한것이다. 이를위한본 발명의실시예에따른센서패키지는, 내부에질량체가배치되는베이스, 상기베이스의일면에결합되어상기질량체가배치된공간을밀봉하는적어도하나의캡, 및상기베이스와상기캡을상호접합하는접합부재를포함하며, 상기캡은상기접합부재가접합되는접합면에적어도하나의확장홈이형성되고, 상기접합부재는상기확장홈에충진될수 있다.
摘要翻译：传感器封装及其制造方法技术领域本发明涉及传感器封装及其制造方法。根据本发明，传感器封装可以有效地防止异物进入传感器封装的内部。为此，根据本发明的实施例，传感器封装包括：具有布置在其中的质量的基座; 至少一个帽连接到所述基座的一个表面以密封所述质量被布置的空间; 以及接合部件，其相互接合所述基部和所述盖。盖具有接合部件接合的接合面，并且在接合面上形成有至少一个延伸槽。接合部件可以填充延伸槽。

4. 发明授权

KR100364096B1 촉감-음향정보탐지및측정장치및그방법 失效
标题翻译： 촉감 - 음향정보탐지및측정장치및그방법
公开(公告)号：KR100364096B1
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：KR1019970700706
申请日：1995-08-04
申请人： 아폴론' 스 앨지브라지브랄타리미티드 , 제롬, 쟝-뽈
发明人： 제롬,쟝-뽈
IPC分类号： G01V1/00 , G01V9/00
CPC分类号： G01V9/00 , G01V1/001 , Y10S47/09 , Y10S73/01
摘要： PCT No. PCT/IB95/00615 Sec. 371 Date Jan. 31, 1997 Sec. 102(e) Date Jan. 31, 1997 PCT Filed Aug. 4, 1995 PCT Pub. No. WO96/04574 PCT Pub. Date Feb. 15, 1996A tactile-acoustic transducer comprises a vibrator plate, microphone means and first and second electrode members which are connected to a source of information through a tuneable network. The microphone means are coupled to a computer having display devices and a control output delivering control signals to the tuneable network. Rubbing the vibrator plate with the fingertip of his middle finger allows an operator to assess two different states of the transducer, perceived as "stick" and "non-stick" rubbing conditions, the "stick" condition being accompanied by emission of a characteristic sound and occurring when the network is tuned exactly in accordance with the phenomenon or condition of the source to be detected or measured.
摘要翻译： PCT No.PCT / IB95 / 00615 Sec。 371日期1997年1月31日Sec。 102（e）日期1997年1月31日PCT申请日1995年8月4日PCT Pub。 WO96 / 04574 PCT Pub。日期1996年2月15日触觉 - 声学换能器包括振动器板，麦克风装置以及通过可调谐网络连接到信息源的第一和第二电极构件。麦克风装置耦合到具有显示装置和控制输出端的计算机，控制输出端向可调谐网络传送控制信号。用他的中指的指尖摩擦振动器板允许操作者评估换能器的两种不同状态，被感知为“棒” 和“不粘” 摩擦条件，“棒” 条件伴随着特征性声音的发射，并且当网络根据要被检测或测量的源的现象或条件精确调谐时发生。

5. 发明公开

KR1020150006901A 멀티레이어 플레이트들 내의 불균일 변형들에 대한 평가 시스템 및 방법 无效
标题翻译：用于评估多层板中非均质变形的系统和方法
公开(公告)号：KR1020150006901A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：KR1020147036799
申请日：2011-01-24
申请人： 소이텍
发明人： 브로카르마르셀 , 카스테스아르노 , 마리니에르로랑
IPC分类号： G01B17/06 , G01B21/32 , G03F7/20 , G01N29/06 , H01L21/66
CPC分类号： G01B17/06 , G01B21/32 , G01N29/0681 , G01N2291/2697 , G03F7/70616 , G03F7/70633 , G01N29/06 , G03F7/20 , Y10S73/01
摘要： 본 발명은 제1 플레이트(110) 내의 불균일(inhomogeneous) 변형들에 대한 평가(assess) 방법에 관한 것으로, 제1 플레이트는 분자 본딩에 의해 제2 플레이트(120)에 접착된다. 이러한 방법은 복수의 측정 지점들을 기록하는 단계로서, 상기 측정 지점들의 각각은 상기 제1 플레이트의 표면의 레벨을 국부적으로 나타내는 기록 단계; 복수의 측정 지점들을 지나가는 제1 플레이트의 표면 프로파일을 결정하는 단계; 상기 표면 프로파일의 대표적인(typical) 크기를 정의하기 위하여, 상기 제1 플레이트의 상기 표면 프로파일을 처리하는 단계; 및 상기 대표적인 크기에 따라 상기 제1 플레이트 내의 불균일 변형들의 레벨을 평가하는 단계를 포함한다. 나아가, 본 발명은 그러한 불균일 변형들에 대한 평가 장치(147)에 관한 것이다.
摘要翻译：一种用于评估通过分子粘附到第二晶片的第一晶片中的不均匀变形的方法和装置。该评估方法包括以下步骤：沿着预定义的方向和超过预定长度进行多个测量点的至少一次读取，对应于第一晶片的表面轮廓的读数，计算来自第一晶片的测量点的二阶导数表面轮廓和根据二阶导数评估第一晶片中的不均匀变形的水平。

6. 发明授权

KR1019950000333B1 표준질량의 과도한 편향 방지수단을 갖춘 가속도계 및 그 제조방법 失效
标题翻译：具有标准质量的过度偏转装置的加速度计及其制造方法
公开(公告)号：KR1019950000333B1
公开(公告)日：1995-01-13
申请号：KR1019910022140
申请日：1991-12-04
申请人： 델코 엘렉트로닉스 코포레이션
发明人： 스티븐에드워드스탈러 , 데이비드윌리암드루
IPC分类号： G01P3/44
CPC分类号： G01P15/0802 , G01P2015/084 , Y10S73/01
摘要： 내용 없음.

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