基本信息:
- 专利标题： 음향 센서 및 이의 제조 방법
- 专利标题（英）：Acoustic sensor and method for fabricating the same
- 专利标题（中）：声传感器及其制造方法
- 申请号：KR1020090123740 申请日：2009-12-14
- 公开(公告)号：KR101300749B1 公开(公告)日：2013-08-28
- 发明人： 이재우 , 박강호 , 김종대
- 申请人： 한국전자통신연구원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 가정로 *** (가정동)
- 专利权人： 한국전자통신연구원
- 当前专利权人： 한국전자통신연구원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 가정로 *** (가정동)
- 代理人： 신영무
- 主分类号： H04R19/04
- IPC分类号： H04R19/04 ; G01H11/06
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면 지지대 및 진동판의 좌우 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하여 음압 응답 특성을 향상시킬 수 있고, 기판의 후면 공정을 생략할 수 있어 공정이 간단해지고 수율이 향상되는 이점이 있다.
음향 센서, 자가 유지 지지대
The present invention relates to a capacitor-type acoustic sensor, the acoustic sensor according to an embodiment of the present invention, the acoustic chamber formed in the upper substrate is etched; Formed on the substrate and the insulating film is etched so as to expose the central region is the acoustic chamber; Vibration plate formed on the insulating film; Self-maintaining support for supporting the vibrating plate on the insulating film; And a fixed electrode formed on the vibration plate. May be in accordance with the present invention as described above by removing the non-linear component due to the left and right movement of the support and the diaphragm improving the sound pressure response characteristics, it is possible to omit the rear step of the substrate is advantageous process that is simplified and improved yield . Acoustic sensors, self-maintenance support
公开/授权文献:
- KR1020110067235A 음향 센서 및 이의 제조 방법 公开/授权日：2011-06-22