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1. 发明公开

KR1020170066434A 3-포트 압전 초음파 트랜스듀서 审中-实审
标题翻译： 3端口压电超声波换能器
公开(公告)号：KR1020170066434A
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020177010141
申请日：2015-10-15
申请人： 퀄컴 인코포레이티드
发明人： 판차와그흐리시케쉬비자이쿠마르 , 탕하오-옌 , 루이펑 , 조르제프코스타딘디미트로프 , 간티수리야프라카시 , 번즈데이비드윌리엄 , 쉐노이라빈드라바만 , 레시터존브래들리 , 쿼나이-퀘이 , 삼모우라피라스
IPC分类号： B06B1/06 , B06B1/02 , G06K9/00 , G10K11/34
CPC分类号： G01S7/5208 , B06B1/0207 , B06B1/0607 , B06B1/0644 , B06B1/0666 , B06B2201/20 , B06B2201/55 , G01S7/521 , G01S15/04 , G01S15/89 , G01S15/8915 , G06F3/0412 , G06F3/0416 , G06F3/0436 , G06F2203/04101 , G06K9/0002 , G06K9/00335 , G10K11/26 , G10K11/34 , G10K11/341 , G10K11/346 , H01L41/047 , H01L41/08
摘要： 압전마이크로기계식초음파트랜스듀서 (PMUT) 는공동상에배치된다이어프램을포함하며, 다이어프램은압전층, 송수신기회로와전기적으로커플링된제 1 전극, 및송수신기회로와전기적으로커플링된제 2 전극을포함하는압전층스택을포함한다. 제 1 전극은다이어프램의제 1 부분에배치될수 있고제 2 전극은다이어프램의분리된제 2 부분에배치될수 있다. 제 1 전극및 제 2 전극의각각은압전층의제 1 표면상에또는그 부근에배치되고, 제 1 표면은공동으로부터반대쪽에있다. PMUT 는제 1 기간동안제 1 전극을통해제 1 초음파신호들을송신하고제 2 기간동안제 2 전극을통해제 2 초음파신호들을수신하도록구성되며, 제 1 기간및 제 2 기간은적어도부분적으로중첩된다.
摘要翻译：压电微机械超声换能器（PMUT）包括设置在所述空腔中的隔膜，所述隔膜是压电层，收发器电路和电耦合到所述第一电极，和第二电极耦合到收发器电路和电还有一个压电叠层。第一电极可以设置在隔膜的第一部分中，并且第二电极可以设置在隔膜的第二分离部分中。第一电极和第二电极中的每一个都设置在压电层的第一表面上或附近，并且第一表面与空腔相对。 PMUT发送通过所述第一电极上的第一超声信号期间neunje第一时段，并且被配置在第二时段期间为接收通过所述第二电极的第二超声信号，所述第一时间段和第二时间段是至少部分地重叠。

2. 发明公开

KR1020100071607A 압전형 음향 변환기 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：压电声波传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100071607A
公开(公告)日：2010-06-29
申请号：KR1020080130385
申请日：2008-12-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김동균 , 정석환 , 정병길
IPC分类号： H04R17/00 , H04R17/02 , H04R31/00 , B06B1/06 , G10K9/122
CPC分类号： H04R17/00 , H04R17/02 , Y10T29/42 , H04R17/005 , B06B1/0666 , G10K9/122 , H04R31/006
摘要： PURPOSE: A piezoelectric acoustic transducer and a method for fabricating the same are provided to obtain large transformation amount under a low driving voltage using parlylene or low stress non-stoichiometric silicon nitride film on the external side of a diaphragm. CONSTITUTION: A through region is formed in a substrate(110). A piezoelectric unit(150) is located on a part of the central part of the through region. The piezoelectric unit includes a first electrode and a second electrode which are arranged on both sides of the piezoelectric unit. A transforming film(130) connects and elastically transforms the peripheral of the piezoelectric unit and a substrate. A transformation is delivered to the piezoelectric unit and the transforming film is vibrated with the piezoelectric unit.
摘要翻译：目的：提供一种压电声换能器及其制造方法，以便在隔膜的外侧使用亚甲基或低应力非化学计量的氮化硅膜，在低驱动电压下获得大的相变量。构成：在基板（110）中形成贯通区域。压电单元（150）位于贯通区域的中心部分的一部分。压电单元包括布置在压电单元两侧的第一电极和第二电极。变换膜（130）连接并弹性地变换压电单元的周边和基板。对压电单元进行转换，并且转印膜与压电单元振动。

3. 发明公开

KR1020110060189A 압전 스피커 无效
标题翻译：压电扬声器
公开(公告)号：KR1020110060189A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：KR1020090116704
申请日：2009-11-30
申请人： (주)세미로드
发明人： 김홍성 , 천인호
IPC分类号： H04R17/10 , B06B1/06 , G10K9/122 , H04R31/00
CPC分类号： H04R17/10 , B06B1/0666 , G10K9/122 , H04R31/006
摘要： PURPOSE: A piezoelectric speaker is provided to generate resonance of a piezoelectric diaphragm by forming a sound chamber in an inner space of a ceramic frame. CONSTITUTION: A piezoelectric diaphragm(120) made of a piezoelectric body(121) is formed on a metal plate(122). A piezoelectric diaphragm adhesive part(131) is adhered with the metal plate. The ceramic frame(130) consisting of an acoustic chamber(132) is formed within the piezoelectric diaphragm adhesive part. The metal plate can be formed in a circular or elliptic shape. The thickness of the metal plate can be changed according to a size of the metal plate. The piezoelectric body is adhered on a surface of the metal plate. The piezoelectric body is formed in the center of the metal plate.
摘要翻译：目的：提供一种压电扬声器，通过在陶瓷框架的内部空间中形成声室来产生压电振动膜的共振。构成：在金属板（122）上形成由压电体（121）构成的压电振动膜（120）。压电隔膜粘合部分（131）与金属板粘合。在压电隔膜粘合部内形成由声室132构成的陶瓷框架130。金属板可以形成为圆形或椭圆形。可以根据金属板的尺寸来改变金属板的厚度。压电体粘附在金属板的表面上。压电体形成在金属板的中心。

4. 发明授权

KR101883209B1 마이크로기계식 초음파 트랜스듀서 및 디스플레이 有权
公开(公告)号：KR101883209B1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：KR1020167018019
申请日：2014-12-12
申请人： 퀄컴 인코포레이티드
发明人： 간티,서야프라카쉬 , 번스,데이비드,윌리엄 , 그리피트스,조나단,찰스
IPC分类号： G06F3/043 , G06F3/041 , G06K9/00 , G10K9/125 , H01L41/31 , B06B1/06
CPC分类号： B06B1/0666 , G06F3/0412 , G06F3/043 , G06F3/0436 , G06K9/0002 , G06K9/00335 , G10K9/125 , H01L41/31 , Y10T29/42
摘要： 장치는시각적디스플레이의백플레인하부, 옆, 함께, 상부에, 또는위에위치되는 PMUT(micromechanical ultrasonic transducer) 엘리먼트들의 1차원어레이또는 2차원어레이를포함할수 있다. 백플레인은 TFT(thin-film transistor) 백플레인일수 있다. PMUT 엘리먼트들의어레이는 PMUT(piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer) 어레이또는 CMUT(capacitive micromechanical ultrasonic transducer) 어레이일수 있다. PMUT 어레이는여러주파수범위들에대응하는모드들에서동작하도록구성가능할수 있다. 저주파수모드로동작할경우, 장치는제스처검출이가능할수 있다. 고주파수모드는지문센서모드또는스타일러스검출모드를포함할수 있다.

5. 发明公开

KR20180008587A 초음파 트랜스듀서 审中-公开
标题翻译：超声波换能器
公开(公告)号：KR20180008587A
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：KR20177035808
申请日：2016-05-19
申请人： UBEAM INC
发明人： JOYCE ANDREW , TAFFLER SEAN , REYNOLDS PAUL , LAKE JONATHAN
IPC分类号： B06B1/06
CPC分类号： B06B1/0666
摘要： 초음파트랜스듀서를위한시스템및 기술이제공된다. 기판은메인공동, 제2 공동, 및채널을포함할수 있다. 상기메인공동은상기제2 공동보다더 깊은깊이를가질수 있다. 상기제2 공동은채널보다더 깊은깊이를가질수 있다. 상기메인공동과제2 공동이중첩되는곳에제1 계단이형성될수 있다. 상기제2 공동과메인공동이중접되는공세제2 계단이형성될수 있다. 전기기계식활성장치는상기제1 계단및 제2 계단에서상기기판에부착되어상기전기기계식활성장치의자유말단부가상기메인공동위에매달릴수 있다. 상기기판에멤브레인섹션이접착되어상기멤브레인이상기메인공동및 제2 공동을덮고상기전기기계식활성장치의자유단에접착될수 있다.
摘要翻译：提供了超声波换能器的系统和技术。衬底可以包括主腔体，第二腔体和通道。主腔可以具有比第二腔更深的深度。第二个腔体可以具有比通道更深的深度。在主关节任务2的腔体重叠的地方可以形成第一步骤。并且可以形成第二公共腔的第二阶梯与第二腔的双重接触。机电有源装置可以在第一和第二台阶处附接到基板，使得机电有源装置的自由远端可以悬挂在主腔体上方。膜部分可以粘合到基底以覆盖膜相位主和第二腔并粘附到机电有源装置的自由端。

6. 发明公开

KR1020170029497A 압전 초음파 트랜스듀서 및 프로세스 审中-实审
标题翻译：压电超声波传感器和工艺
公开(公告)号：KR1020170029497A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：KR1020177000538
申请日：2015-06-08
申请人： 퀄컴 인코포레이티드
发明人： 레시터존브래들리 , 쉐노이라빈드라바만 , 구세프예브게니페트로비치 , 판차와그흐리시케쉬 , 번즈데이비드윌리엄 , 쿼나이-퀘이 , 그리피스조나단찰스 , 간티수리야프라카시
IPC分类号： B06B1/06 , G06F3/043 , G06K9/00 , H01L41/09
CPC分类号： B06B1/0666 , B06B1/0622 , B06B1/0648 , B06B1/0651 , B06B1/067 , B06B1/0674 , B06B1/0677 , G06F3/043 , G06K9/0002 , H01L41/0973
摘要： 압전마이크로기계식초음파트랜스듀서 (PMUT) 는기판상에배치된다중층스택을포함한다. 다중층스택은기판위에배치된앵커구조, 앵커구조위에배치된압전층스택, 및압전층스택에근접하게배치된기계적층을포함할수도있다. 압전층스택은공동위에배치될수도있다. 기계적층은공동을실링할수도있고, 압전층스택과함께, 앵커구조에의해지지되어공동위에멤브레인을형성하며, 멤브레인은 PMUT 가초음파신호들을수신하거나송신할때 구부러짐모션및 진동중 하나또는양자를경험하도록구성된다.
摘要翻译：压电微机械超声换能器（PMUT）包括设置在基板上的多层堆叠。多层堆叠可以包括设置在衬底上的锚结构，设置在锚结构上的压电层堆叠，以及靠近压电层堆叠设置的机械层。压电层堆叠可以设置在空腔上。机械层可以密封空腔，并且与压电层堆叠一起由锚结构支撑并且在空腔上形成膜，该膜被配置为当PMUT接收或传输时经历挠曲运动和振动中的一个或两个超声信号。

7. 发明公开

KR1020160096648A 마이크로기계식 초음파 트랜스듀서 및 디스플레이 审中-实审
标题翻译：微机械超声波传感器和显示器
公开(公告)号：KR1020160096648A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：KR1020167018019
申请日：2014-12-12
申请人： 퀄컴 인코포레이티드
发明人： 간티,서야프라카쉬 , 번스,데이비드,윌리엄 , 그리피트스,조나단,찰스
IPC分类号： G06F3/043 , G06F3/041 , G06K9/00 , G10K9/125 , H01L41/31 , B06B1/06
CPC分类号： B06B1/0666 , G06F3/0412 , G06F3/043 , G06F3/0436 , G06K9/0002 , G06K9/00335 , G10K9/125 , H01L41/31 , Y10T29/42
摘要： 장치는시각적디스플레이의백플레인하부, 옆, 함께, 상부에, 또는위에위치되는 PMUT(micromechanical ultrasonic transducer) 엘리먼트들의 1차원어레이또는 2차원어레이를포함할수 있다. 백플레인은 TFT(thin-film transistor) 백플레인일수 있다. PMUT 엘리먼트들의어레이는 PMUT(piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer) 어레이또는 CMUT(capacitive micromechanical ultrasonic transducer) 어레이일수 있다. PMUT 어레이는여러주파수범위들에대응하는모드들에서동작하도록구성가능할수 있다. 저주파수모드로동작할경우, 장치는제스처검출이가능할수 있다. 고주파수모드는지문센서모드또는스타일러스검출모드를포함할수 있다.

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