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    • 3. 发明授权
    • 도선 및 반도체 소자 배선용 나노 카본 재료 및 육방정계 질화붕소 적층구조물 및 이의 제조 방법
    • 用于布线和半导体器件布线的纳米碳材料和六方氮化硼叠层结构及其制造方法
    • KR101685791B1
    • 2016-12-13
    • KR1020150037562
    • 2015-03-18
    • 성균관대학교산학협력단
    • 김상우김태호이강혁
    • H01B13/00H01B5/14
    • 본발명은도선및 반도체소자배선용나노카본재료및 육방정계질화붕소적층구조물에관한것이고, 또한도선및 반도체소자배선용나노카본재료및 육방정계질화붕소적층구조물의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른도선및 반도체소자배선용나노카본재료및 육방정계질화붕소적층구조물을제조하는방법은, 기판상에나노카본재료를전사하는단계; 상기전사된나노카본재료상에패턴된전극을형성하는단계; 상기전사된나노카본재료를상기전극과연결시키기위한전자수송채널을형성하는단계; 및상기나노카본재료를보호하기위해육방정계질화붕소를전사하는단계를포함한다.
    • 本发明涉及一种半导体元件的配线导体和纳米碳材料和六方氮化硼栈,还涉及一种制造半导体元件的配线导体的方法和纳米碳材料和六方氮化硼栈。 用于制造根据本发明的一个实施例的半导体元件的布线导体和纳米碳材料和六方氮化硼堆方法包括传送所述衬底上的纳米碳材料的工序; 在转移的纳米碳材料上形成图案化的电极; 形成用于将转移的纳米碳材料连接到电极的电子传输通道; 并转移六方氮化硼保护纳米碳材料。
    • 5. 发明授权
    • 프로브 시스템 및 이를 위한 캘리브레이션 키트
    • 用于探测系统的探测系统和校准工具包
    • KR101552440B1
    • 2015-09-10
    • KR1020140077534
    • 2014-06-24
    • 성균관대학교산학협력단
    • 나완수김태호김종현
    • G01R1/073G01R31/28
    • 프로브 시스템이 개시된다. 프로브 시스템은 베이스 플레이트의 상부에 배치되고, 회로기판을 베이스 플레이트에 대해 수직하게 파지할 수 있는 지지부재; 회로기판에 형성된 도전성 패턴과 접촉하는 탐침을 구비하는 적어도 하나 이상의 프로브팁 부재; 제1 수평방향을 따라 왕복 운동이 가능하게 베이스 플레이트에 결합된 제1 수평운동부, 제2 수평방향을 따라 왕복 운동이 가능하게 제1 수평운동부에 결합된 제2 수평운동부, 제2 수평운동부의 측면에 결합되고 회전운동이 가능한 회전운동부 및 회전운동부 및 프로브팁 부재와 결합하는 가이드부를 구비하는 가이드팔 부재; 및 프로브팁 부재의 탐침에 전기적으로 연결되어 상기 도전성 패턴의 전자기적 특성을 분석하는 네트워크 분석 장치를 포함한다.
    • 公开了一种探针系统。 探针系统包括:支撑构件,其布置在基板的上侧并且夹持电路板垂直于基板;至少一个探针尖端构件,其包括与形成在基板上的导电图案相接触的探针 引导臂构件,其包括与所述基板组合以在第一水平方向上往复运动的第一水平运动单元,与所述基板组合以在第二水平方向上往复运动的第二水平运动单元, 旋转运动单元,其与第二水平运动单元的侧面结合并且可以旋转;以及引导单元,其与旋转运动单元和探针末端构件组合,以及网络分析装置,其与 探针头部件的探针,并分析导电图案的电磁特性。