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    • 4. 发明公开
    • 멀티 기판 본딩장치
    • 用于连接多个基板的装置
    • KR1020160014141A
    • 2016-02-11
    • KR1020140095618
    • 2014-07-28
    • 주식회사 나노솔텍
    • 이경용김진수최진우
    • H01L33/00H01L21/02H01L21/683H01L21/677H01L21/324
    • H01L33/00B23K20/00B23K20/002B23K20/023B23K20/14H01L21/02H01L21/324H01L21/677H01L21/683
    • 본발명은멀티기판본딩장치에관한것으로서, 챔버와, 기판척과, 이송레일과, 다수의가열유닛과, 다수의냉각유닛과, 이송암을포함한다. 챔버는가열영역과냉각영역으로구분되고, 가열영역과냉각영역사이에설치되어가열영역과냉각영역을연통시키거나또는차단하는게이트를구비한다. 기판척은접합할한 쌍의기판의상부와하부에접촉하며, 한쌍의기판을고정시킨다. 이송레일은냉각영역에설치되고, 다수의기판척을냉각영역내부로이송시키며, 다수의기판척이일시적으로위치한다. 다수의가열유닛은가열영역에배치되고, 서로가까워지거나멀어지게이동될수 있는상부히터와하부히터를구비하며, 이송레일로부터기판척이전달되면기판척 사이에배치된한 쌍의기판에열을가하여서로접합시킨다. 다수의냉각유닛은냉각영역에배치되고, 서로가까워지거나멀어지게이동될수 있는상부쿨러와하부쿨러를구비하며, 가열유닛으로부터기판척이전달되면기판척 사이에서접합된한 쌍의기판을냉각시킨다. 다수의이송암은기판척을이송레일에서가열유닛으로전달하거나기판척을가열유닛에서냉각유닛으로전달한다.
    • 本发明涉及一种通过提高接合工艺的速度来提高生产率的多基板的接合装置,包括:室,基板卡盘,输送轨道,多个加热单元,多个冷却 单位和转移臂。 该室被分为加热区域和冷却区域,并且在加热区域和冷却区域之间具有栅极,以允许加热区域和冷却区域彼此连通或阻止加热区域和冷却区域。 基板卡盘与要接合的一对基板的上部和下部接触,并固定该对基板。 传送轨道安装在冷却区域中,将多个基板卡盘传送到冷却区域的内部,并临时定位基板卡盘。 加热单元设置在加热区域中,具有能够朝向彼此或彼此远离的方向移动的上部加热器和下部加热器,并且当基板卡盘从输送轨道转移时, 加热单元加热设置在基板卡盘之间的一对基板以接合基板。 冷却单元设置在冷却区域中,具有可以朝向彼此或彼此远离的方向移动的上部冷却器和下部冷却器,并且当基板卡盘从加热单元传送时, 冷却单元在衬底卡盘之间冷却一对键合衬底。 传送臂将基板卡盘从传送轨道传送到加热单元或从加热单元传送到冷却单元。