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1. 发明公开

KR1020020076131A 정전 마이크로 릴레이, 그 정전 마이크로 릴레이를 이용한무선장치, 계측장치 및 접점 개폐방법 有权
标题翻译：静电微波和无线电设备及其测量装置
公开(公告)号：KR1020020076131A
公开(公告)日：2002-10-09
申请号：KR1020020015990
申请日：2002-03-25
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 세키토모노리
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0063
摘要： PURPOSE: To obtain the suitable contact separation force excellent in a high frequency characteristic with a simple and small-size structure that can be easily manufactured with low cost. CONSTITUTION: Signal lines 5a, 5b formed on a fixed substrate 1 are arranged on the same line. A movable substrate 2 is elastically supported on the fixed substrate 1 through a beam part 11 arranged in two places of point symmetry positions by using a movable contact 16 as a center point. The part facing to the signal lines 5a, 5b is removed from the movable substrate 2. The movable contact is elastically supported on two places orthogonal to the line where the signal lines 5a, 5b are arranged as well as not facing to the signal lines 5a, 5b. A pair of projections 17 are formed in point symmetry to the movable contact 16 as a center on a position attaching to either of the substrates 1, 2 that faces first.
摘要翻译：目的：为了获得具有易于以低成本制造的简单且小型结构的高频特性优异的接触分离力。构成：形成在固定基板1上的信号线5a，5b布置在同一条线上。可动基板2通过以可动触点16为中心点的布置在点对称位置的两个位置的梁部11弹性地支撑在固定基板1上。面向信号线5a，5b的部分从可移动基板2移除。可动触头弹性支撑在与信号线5a，5b布置的线垂直的两个位置上，不面向信号线5a ，5b。一对突起17形成为与可动触头16对称的点作为中心位于与首先面对的基板1,2中的任一者相连的位置上。

2. 发明公开

KR1020030038387A 정전 액추에이터 및 해당 액추에이터를 이용한 정전마이크로 릴레이와 그 밖의 기기 失效
标题翻译：静电执行机构，静电微电脑和其他使用执行机构的设备
公开(公告)号：KR1020030038387A
公开(公告)日：2003-05-16
申请号：KR1020020066394
申请日：2002-10-30
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 아키바아키라 , 우노케이스케 , 조지마마사오 , 세키토모노리 , 사노코지
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： PURPOSE: To suppress fluctuation of operation voltage characteristic of ON voltage, OFF voltage or the like in an electrostatic actuator, and to prevent phenomena where even if the rated voltage is applied to the electrostatic actuator, the electrostatic actuator is not powered ON, or even if a driving voltage is powered OFF, the electrostatic actuator is not powered OFF. CONSTITUTION: A fixed electrode 30 and a movable electrode 38 are disposed to face each other. An insulating film 31 is formed on a surface of the fixed electrode 30. The insulating film 31 contains nitride film (SiN) 37 as a main material. On both of front and back side surfaces of the nitride film 37, oxidized films (SiO2) 39, 48 are formed. A plurality of protrusions 32 are arranged on an upper surface of the insulating film 31 in the regions facing the movable electrode 38. An amount of electrical charge in the insulating film 31 is mainly determined by thickness of the oxidized film 48. The nitride film 47 is used for ensuring the thickness of the film required for withstand voltage characteristic or the like.
摘要翻译：目的：为了抑制静电执行器的ON电压，OFF电压等的动作电压特性的波动，并且为了防止即使向静电致动器施加额定电压的现象，静电致动器也不被接通，甚至如果驱动电压关闭电源，静电执行器不会断电。构成：将固定电极30和可动电极38配置成彼此相对。绝缘膜31形成在固定电极30的表面上。绝缘膜31包含作为主要材料的氮化物膜（SiN）37。在氮化膜37的前表面和背面两面形成氧化膜（SiO 2）39,48。多个突起32布置在面向可动电极38的区域中的绝缘膜31的上表面上。绝缘膜31中的电荷量主要由氧化膜48的厚度确定。氮化膜47 用于确保耐压特性等所需的膜的厚度。

3. 发明授权

KR100799454B1 정전 마이크로 접점 개폐기 및 그 제조 방법, 및 정전 마이크로 접점 개폐기를 이용한 전자 장치 有权
标题翻译：静电微型接触断路开关及其制造方法及使用其的电子器件
公开(公告)号：KR100799454B1
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：KR1020060016569
申请日：2006-02-21
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 마스다타카히로 , 세키토모노리
IPC分类号： H01H59/00 , H01H3/54
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H1/0036 , H01H2001/0084 , H01H2001/0089 , H01H2059/0081
摘要： 본 발명은 종래와 동등한 복귀력을 확보하면서, 접촉력의 향상, 인가 전압의 저감, 및/또는, 전극의 치수의 축소를 실현하기 위한 것으로서, 상기 목적을 달성하기 위한 해결 수단에 있어서, 정전 마이크로 릴레이(10)는, 베이스(11)에 마련한 고정 전극(12)과, 액추에이터(21)의 가동 전극(24) 사이에 전압을 인가하여 생기는 정전 인력으로 가동 전극(24)을 구동하고, 베이스(11)에 마련한 고정 접점(13a·14a)에 액추에이터(21)에 마련한 가동 접점(26)을 접리시켜서 전기 회로를 개폐한다. 액추에이터(21)는, 베이스(11)에 마련한 지지부(22)와, 지지부(22)로부터 측방으로 연재되고, 가동 전극(24) 및 가동 접점(26)을 탄성 지지하는 들보부(23)를 구비한다. 들보부(23)는, 지지부(22)의 측으로부터 가동 전극(24) 및 가동 접점(26)의 순번으로 탄성 지지하고 있다. 들보부(23)와 가동 전극(24)을 접속하는 접속부(28)는, 지지부(22)의 측으로부터 슬릿(27)이 형성되어 있다.
정전 마이크로 접점 개폐기

4. 发明授权

KR100499823B1 정전 액추에이터 및 해당 액추에이터를 이용한 정전마이크로 릴레이와 그 밖의 기기 失效
标题翻译：静电致动器和静电微型放映机及其它使用该设备的设备
公开(公告)号：KR100499823B1
公开(公告)日：2005-07-08
申请号：KR1020020066394
申请日：2002-10-30
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 아키바아키라 , 우노케이스케 , 조지마마사오 , 세키토모노리 , 사노코지
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 본 발명은 정전 액추에이터에 있어서의 온 전압이나 오프 전압 등의 동작 전압 특성의 변동을 억제하여, 정전 액추에이터에 정격 전압을 인가하여도 정전 액추에이터가 온이 되지 않거나, 구동 전압을 오프로 하여도 정전 액추에이터가 오프로되지 않거나 하는 현상을 방지하는 것을 목적으로 하며 그것을 위한 수단으로서, 고정 전극(30)과 가동 전극(38)을 대향시켜 설치하고, 고정 전극(3)의 표면에 절연막(31)을 형성한다. 절연막(31)은 질화막(SiN)(37)을 주재료로서 구성되고, 질화막(37)의 표리 양면에 산화막(SiO
2 )(39, 48)이 형성된다. 또한, 절연막(31)의 윗 면중, 가동 전극(38)과 대향하는 영역에는 복수의 돌기(32)가 마련된다. 절연막(31)에 있어서의 대전량은 주로 산화막(48)의 막두께로 결정되고, 질화막(47)은 내전압 특성 등 필요한 막두께를 확보하기 위해 사용된다.

5. 发明公开

KR1020060100928A 정전 마이크로 접점 개폐기 및 그 제조 방법, 및 정전 마이크로 접점 개폐기를 이용한 전자 장치 有权
标题翻译：静电微接触断路开关及其制造方法及使用该装置的装置
公开(公告)号：KR1020060100928A
公开(公告)日：2006-09-21
申请号：KR1020060016569
申请日：2006-02-21
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 마스다타카히로 , 세키토모노리
IPC分类号： H01H59/00 , H01H3/54
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H1/0036 , H01H2001/0084 , H01H2001/0089 , H01H2059/0081
摘要： 본 발명은 종래와 동등한 복귀력을 확보하면서, 접촉력의 향상, 인가 전압의 저감, 및/또는, 전극의 치수의 축소를 실현하기 위한 것으로서, 상기 목적을 달성하기 위한 해결 수단에 있어서, 정전 마이크로 릴레이(10)는, 베이스(11)에 마련한 고정 전극(12)과, 액추에이터(21)의 가동 전극(24) 사이에 전압을 인가하여 생기는 정전 인력으로 가동 전극(24)을 구동하고, 베이스(11)에 마련한 고정 접점(13a·14a)에 액추에이터(21)에 마련한 가동 접점(26)을 접리시켜서 전기 회로를 개폐한다. 액추에이터(21)는, 베이스(11)에 마련한 지지부(22)와, 지지부(22)로부터 측방으로 연재되고, 가동 전극(24) 및 가동 접점(26)을 탄성 지지하는 들보부(23)를 구비한다. 들보부(23)는, 지지부(22)의 측으로부터 가동 전극(24) 및 가동 접점(26)의 순번으로 탄성 지지하고 있다. 들보부(23)와 가동 전극(24)을 접속하는 접속부(28)는, 지지부(22)의 측으로부터 슬릿(27)이 형성되어 있다.
정전 마이크로 접점 개폐기

6. 发明授权

KR100516278B1 접점 개폐기 및 접점 개폐기를 구비한 장치 失效
标题翻译：接触开关和设备提供接触开关
公开(公告)号：KR100516278B1
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：KR1020030086637
申请日：2003-12-02
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 세키토모노리 , 우노유타카 , 마스다타카히로
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01P1/127 , H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01H2059/0063
摘要： 요약
접점 부분에 있어서의 막두께 편차를, 간단한 구조 변경으로 저감할 수 있고, 접점간 갭 량의 편차를 저감하고, 접점 폐쇄시의 동작을 안정화함과 함께, 고주파 특성을 향상시켜서 신호의 전반 손실을 저감한다.
해결 수단
고정 기판(1)에, 복수의 고정 접점(4a, 5a)과 신호선(4, 5)을 배설한다. 고정 기판(1)에 대향하는 가동 기판(10)에, 고정 접점(4a, 5a)과 폐쇄, 개리를 행하는 가동 접점(18)을 마련한다. 고정 접점(4a, 5a)의 막두께를 신호선(4, 5)의 막두께보다 작게 하고, 고정 접점(4a, 5a)과 가동 접점(18)의 폐쇄시에, 고정 접점(4a, 5a)에 의해 구성된 오목부에 가동 접점(18)을 들어가게 하여, 신호선(4, 5)을 직선적으로 도통시킨다.

7. 发明授权

KR100506583B1 정전형 릴레이 및 해당 릴레이를 이용한 통신용 기기 失效
标题翻译：使用静态继电器的静态继电器和通信装置
公开(公告)号：KR100506583B1
公开(公告)日：2005-08-08
申请号：KR1020017015445
申请日：2001-04-23
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 후지이미츠루 , 사카타미노루 , 세키토모노리 , 사토쇼부
IPC分类号： H01H59/00
摘要： 본 발명은 실리콘기판(21)의 상면에는 고정접점(23A, 24A)이 마련되어 있고 고정접점(23A, 24A)과 도통된 신호선(23, 24)은 Si기판(21)을 표면으로부터 이면으로 관통하여 마련되어 있고 실리콘기판(21)의 이면에는 신호선(23, 24)과 도통된 범프(32, 33)가 마련되어 있다. 고정접점(23A, 24A)의 양측에는 고정전극(22)이 마련되어 있고 고정전극(22)과 도통된 배선(30, 31)은 Si기판(21)을 표면으로부터 이면으로 관통하여 마련되어 있고 실리콘기판(21)의 이면에는 배선(30, 31)과 도통된 범프(34, 35)가 마련되어 있다. 신호선(23, 24)을 관통시킨 실리콘기판(21)의 스루 홀(26, 27)과 배선(30, 31)을 관통시킨 실리콘기판(21)의 스루 홀(28, 29)은 가동기판(40) 또는 캡(50)에 의해 밀폐 밀봉되어 있다.

8. 发明授权

KR100455949B1 정전 마이크로 릴레이, 그 정전 마이크로 릴레이를 이용한무선장치, 계측장치 및 접점 개폐방법 有权
标题翻译： 정전마이크로릴레이，그정전마이크로릴레이를이용한무선장치，계측장치및접점개폐방
公开(公告)号：KR100455949B1
公开(公告)日：2004-11-08
申请号：KR1020020015990
申请日：2002-03-25
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 세키토모노리
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0063
摘要： Signal lines (5a, 5b) formed on a fixed substrate 1 are arranged on the same straight line. A movable substrate (2) is elastically supported on the fixed substrate (1) through beam portions (11) provided at two positions which are point-symmetrical with each other with a movable contact (16) centered thereon. At least portions opposing the signal lines (5a, 5b) are removed from the movable substrate (2). The movable contact (16) is elastically supported at two points that are orthogonal to the straight line on which the signal lines (5a, 5b) are arranged and do not face the signal lines (5a, 5b). A pair of protrusions 17 are formed at positions at which after closing the contacts, if a voltage were applied between the fixed electrode 4 and the movable electrode 12 without the protrusion, the fixed substrate 1 and the movable substrate 2 would contact each other following the contact between the fixed contact 7 and the movable contact 16, in a point-symmetrical manner with the movable contact 16 centered thereon. With this arrangement, it is possible to provide an electrostatic micro-relay which has a simple and small-size structure that is easily manufactured at low costs, and is superior in high-frequency characteristics with a suitable contact release force.
摘要翻译：形成在固定基板1上的信号线（5a，5b）布置在同一直线上。可动基板（2）通过设置在彼此点对称的两个位置处的梁部分（11）弹性支撑在固定基板（1）上，所述两个位置处具有居中的可移动触点（16）。至少与信号线（5a，5b）相对的部分从可动基板（2）上被去除。可动接点16被弹性支撑在与配置有信号线5a，5b的直线正交且不与信号线5a，5b正交的两点上。在关闭触点之后，如果在没有突起的情况下在固定电极4和可移动电极12之间施加电压，那么固定基板1和可移动基板2会在接触之后彼此接触的位置处形成一对突起17 固定触点7和可动触点16之间以点对称的方式与其上居中的可动触点16接触。利用这种布置，可以提供一种具有简单和小尺寸结构的静电微型继电器，其以低成本容易地制造，并且具有适当的接触释放力的高频特性优异。＆lt;图像＆GT;

9. 发明公开

KR1020040049796A 접점 개폐기 및 접점 개폐기를 구비한 장치 失效
标题翻译：接触开关包括第一个接触薄膜厚度超过信号线的厚度，以及包括接触开关的设备
公开(公告)号：KR1020040049796A
公开(公告)日：2004-06-12
申请号：KR1020030086637
申请日：2003-12-02
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 세키토모노리 , 우노유타카 , 마스다타카히로
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01P1/127 , H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01H2059/0063
摘要： PURPOSE: A contact switch and an apparatus including the contact switch are provided to reduce variations of film thickness in a contact portion and variations of gap volume between contacts, and achieve improved operating stability. CONSTITUTION: A contact switch comprises a first contact arranged on a substrate; a second contact for performing shutting and opening operation with respect to the first contact; and signal lines(4,5) electrically connected by the shutting operation of the first contact and the second contact, wherein the signal lines are arranged on the substrate and insulated from each other. The film thickness of the first contact is smaller than the film thickness of the signal lines.
摘要翻译：目的：提供接触开关和包括接触开关的装置，以减少接触部分中的膜厚度的变化和触点之间的间隙体积的变化，并且实现改善的操作稳定性。构成：接触开关包括布置在基板上的第一触点; 用于相对于所述第一触点执行关闭和打开操作的第二触点; 以及通过第一触点和第二触点的关闭操作电连接的信号线（4,5），其中信号线布置在基板上并彼此绝缘。第一触点的膜厚度小于信号线的膜厚度。

10. 发明公开

KR1020020075824A 정전형 릴레이 및 해당 릴레이를 이용한 통신용 기기 失效
标题翻译：静电继电器和使用继电器的通信设备
公开(公告)号：KR1020020075824A
公开(公告)日：2002-10-07
申请号：KR1020017015445
申请日：2001-04-23
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 후지이미츠루 , 사카타미노루 , 세키토모노리 , 사토쇼부
IPC分类号： H01H59/00
摘要： 본 발명은 실리콘기판(21)의 상면에는 고정접점(23A, 24A)이 마련되어 있고 고정접점(23A, 24A)과 도통된 신호선(23, 24)은 Si기판(21)을 표면으로부터 이면으로 관통하여 마련되어 있고 실리콘기판(21)의 이면에는 신호선(23, 24)과 도통된 범프(32, 33)가 마련되어 있다. 고정접점(23A, 24A)의 양측에는 고정전극(22)이 마련되어 있고 고정전극(22)과 도통된 배선(30, 31)은 Si기판(21)을 표면으로부터 이면으로 관통하여 마련되어 있고 실리콘기판(21)의 이면에는 배선(30, 31)과 도통된 범프(34, 35)가 마련되어 있다. 신호선(23, 24)을 관통시킨 실리콘기판(21)의 스루 홀(26, 27)과 배선(30, 31)을 관통시킨 실리콘기판(21)의 스루 홀(28, 29)은 가동기판(40) 또는 캡(50)에 의해 밀폐 밀봉되어 있다.

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