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    • 8. 发明授权
    • 양극산화법을 이용한 순간펄스필터 제조방법 및 이에 의해제조된 순간펄스필터
    • 使用阳极氧化铝和瞬态脉冲滤波器的瞬态脉冲滤波器制造方法
    • KR100975530B1
    • 2010-08-12
    • KR1020080076812
    • 2008-08-06
    • 주식회사 넥스트론
    • 문학범조진형방석현김철환장윤형
    • H01L21/316H01L21/20
    • H01C7/108H01C7/10H01C7/12Y10S977/932Y10T29/41
    • 본 발명은 반도체 소자의 오동작, 짧은 수명 등의 원인이 될 수 있는 순간펄스필터를 알루미늄 양극산화법을 이용하여 제조한 것으로, 특히 절연체 기판(100) 상측에 알루미늄 박막층(200)을 형성시키는 제1단계와; 양극산화법에 의해 상기 알루미늄 박막층(200)을 산화시켜 구멍(pore)(310)이 형성된 알루미늄 산화물 박막층(300)을 형성시키는 제2단계와; 상기 구멍(310)을 채우기 위해 금속물질을 상기 알루미늄 산화물 박막층(300) 상측에 증착시키는 제3단계와; 상기 구멍(310) 내부 이외에 증착된 금속물질을 제거하여, 상기 알루미늄 박막층(200) 내부에 나노봉(400)을 형성시키는 제4단계와; 상기 나노봉(400)이 형성된 알루미늄 박막층(200) 상부에 내부전극(500)을 형성시키는 제5단계와; 상기 알루미늄 박막층(200) 및 내부전극(500)을 외부환경으로부터 보호하기 위해 그 상층에 보호막층(600)을 형성시키는 제6단계와; 상기 보호막층(600)이 형성된 기판 양측에 외부전극(700)을 형성시키는 제7단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 양극산화법을 이용한 순간펄스필터 제조방법 및 이에 의해 제조된 순간펄스필터를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 전도성 나노봉으로 이루어진 전도체들의 규칙적인 분포와 에너지 장벽의 균일성을 확보할 수 있어, 기존 기술에 비해 더 좋은 비선형 특성과 더 높은 순간펄스 내량의 특성을 갖는 칩 형태의 과전압 보호 부품을 제조할 수 있는 이점이 있다.
      양극산화 순간펄스필터 알루미늄 나노봉 순간펄스