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1. 发明授权

KR102226228B1 스텝 크기 및 도금된 금속 두께의 광학적 측정 有权
公开(公告)号：KR102226228B1
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020197006769
申请日：2017-08-08
申请人： 케이엘에이 코포레이션
发明人： 수제임스지앙구오 , 소에타만로니 , 하토노부디
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/04 , G01B11/24 , G06T1/00 , G06T7/60
摘要： 3차원(3-D) 정보를생성하는방법은, 미리결정된단계들에서샘플과광학현미경의대물렌즈사이의거리를변화시키는단계; 각각의미리결정된단계에서이미지를캡처하는단계; 각각의캡처된이미지내의각각의픽셀의특성값을결정하는단계; 각각의캡처된이미지에대해, 상기캡처된이미지내의모든픽셀에걸쳐최대특성값을결정하는단계; 각각의캡처된이미지에대한최대특성값을비교하여각각의미리결정된단계에서상기샘플의표면이존재하는지여부를결정하는단계; 각각의캡처된이미지내의각각의픽셀의특성값에기초하여상기샘플의제1 표면에포커스되는제1 캡처된이미지를결정하는단계; 각각의캡처된이미지내의각각의픽셀의특성값에기초하여상기샘플의제2 표면에포커스되는제2 캡처된이미지를결정하는단계; 및상기제1 표면과상기제2 표면사이의제1 거리를결정하는단계를포함한다.

2. 发明授权

KR102035636B1 현미경 有权
公开(公告)号：KR102035636B1
公开(公告)日：2019-10-23
申请号：KR1020120156264
申请日：2012-12-28
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 표현봉
IPC分类号： G02B21/00 , G01B9/04

3. 发明授权

KR101872434B1 두께 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101872434B1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：KR1020170022698
申请日：2017-02-21
申请人： 나노스코프시스템즈 주식회사
发明人： 이승우 , 송인천 , 전병선
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/04 , G06F17/10
CPC分类号： G01B11/06 , G01B9/04 , G01S17/08 , G06F17/10
摘要： 본발명의목적은광학 3차원측정기중 하나인공초점현미경의원리를이용하여비접촉식으로시편의두께를측정하되, 양면이평평하지않은시편의두께를보다정확히측정할수 있게하는두께측정장치를제공함에있다.

4. 发明授权

KR101838329B1 표면을 비접촉 측정하기 위한 방법 및 디바이스 有权
公开(公告)号：KR101838329B1
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：KR1020137032251
申请日：2011-05-20
申请人： 유니베르시타트 폴리테크니카 데 카탈루냐
发明人： 라구아르타베르트란,페란 , 핀토빌라,아구스티 , 아르티가스퍼살스,로저 , 카데발아르티구에스,크리스티나
IPC分类号： G01B11/25 , G01B9/04
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/2518 , G01M11/025 , G02B21/0016 , G02B21/06
摘要： 슬릿(m)은기준점(X)이최적초점위치(P)에가장가까운수평축(x)에있는, 대상표면상에투사된다. 관측영역의필드(F)의하나의이미지가언급된기준점(X)을포함하는빛의반사후에얻어진다. 수직축(z)에서대상(300)의위치(Z)가결정된다. 각각의관측영역의필드(F)의이미지가최적초점위치(P)에가장가까운기준점(X, X...X)을유지하도록축(z)을따라서대상(300)을동시에이동시키는것에의해기준점(X, X...X)을갖는빛의반사후에얻어진다. 이미지가얻어지는위치(Z, Z...Z)가결정된다. 수평축(x)에따른최적초점위치가각각의이미지에대해결정된다. 최적초점위치(P)와기준점(X, X...X) 사이의보정차(Δ,Δ...Δ)가계산된다.

5. 发明授权

KR101731498B1 표면 검사 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101731498B1
公开(公告)日：2017-04-28
申请号：KR1020150127024
申请日：2015-09-08
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 전영민 , 박준 , 김재헌 , 서민아 , 김철기 , 이택진 , 우덕하
IPC分类号： G01N21/88 , G01B9/04 , G01B9/02 , G02B21/00 , G02B21/06 , G02B21/14
摘要： 본발명에의한표면검사장치는, 검사대상에대해미분간섭현미경검사또는광학현미경검사를수행하는현미경유닛, 상기현미경유닛에서제공된미분간섭현미경검사결과와광학현미경검사결과를비교분석하여검사대상에대한불순물종류를확인하는제어유닛및, 상기현미경유닛의편광기와프리즘을이동시키는이동유닛을포함하되, 상기제어유닛은상기현미경유닛의미분간섭현미경검사결과불순물이확인되면, 상기현미경유닛의편광기와프리즘을광경로상에서벗어나게이동시켜상기현미경유닛이광학현미경검사를수행하도록한다.

6. 发明授权

KR101644603B1 탄소나노소재-고분자 복합소재 내의 탄소나노소재의 분산도 측정방법 有权
标题翻译： - 碳纳米材料 - 聚合物复合材料中碳纳米材料的分散度测定方法
公开(公告)号：KR101644603B1
公开(公告)日：2016-08-02
申请号：KR1020140042898
申请日：2014-04-10
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 박민 , 곽순종 , 김명종 , 김희숙 , 오진우 , 이광훈
IPC分类号： G01N21/00 , G01N21/59 , G01B9/04
摘要： 본발명은탄소나노소재-고분자복합소재내의탄소나노소재의정량적으로수치화된분산도를얻을수 있는분산도측정방법에관한것이다. 본발명의여러구현예에따르면, 종래탄소나노소재-고분자복합소재내의탄소나노소재의일부분만측정되거나물성을예측하기어려운문제점을해결할수 있고, 탄소나노소재를직접적으로확인하고정량화시켜분산도를측정할수 있어분산도를수치화할수 있으며, 이에따라탄소나노소재-고분자복합소재의신뢰성평가에중요한기술로응용할수 있는효과를달성할수 있다.

7. 发明授权

KR101611482B1 세포 정렬 기판을 이용한 시료 분석 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：用于分析样品使用基片进行细胞分析的装置及其方法
公开(公告)号：KR101611482B1
公开(公告)日：2016-04-19
申请号：KR1020130095896
申请日：2013-08-13
申请人： 포항공과대학교 산학협력단 , (주) 더바이오
发明人： 김현기 , 도준상 , 최종철 , 김동성 , 황지영 , 서경덕 , 최동휘
IPC分类号： G01N21/01 , G01N33/483 , G01B9/04
摘要： 세포정렬기판및 이에기반한시료분석장치및 방법이개시된다. 시료분석장치는광(Light)을방출하는광원, 시료에포함된세포가정렬하도록평판의일면에적어도하나의홈을구비하는세포정렬기판, 세포정렬기판상에놓인시료에제공된광을통하여세포의이미지를획득하는이미지생성부, 획득한세포의이미지를분석하여세포에대한정보를추출하는이미지처리부를포함한다. 세포정렬기판과시료분석장치및 방법을이용하여인라인홀로그램분석에서샘플의밀도가높아서발생하는영상복원알고리즘성능저하문제를원천적으로제거함으로써시료의분석대상이되는세포에대한정보를용이하게습득할수 있다.

8. 发明公开

KR1020150114177A 측면 유전영동기술 기반의 힘 분광기법을 이용하여 생체분자 간 화학결합력을 측정하는 방법 有权
标题翻译：生物分子结合力测量方法采用横向电离激光光谱法
公开(公告)号：KR1020150114177A
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020140038426
申请日：2014-04-01
申请人： 연세대학교 원주산학협력단
发明人： 최범준 , 손명구 , 최승엽 , 곽태준 , 박인수 , 남기환 , 이상우
IPC分类号： G01N27/447 , G01N33/483 , G01B9/04 , G01N35/08
CPC分类号： G01N27/447 , G01B9/04 , G01N33/483 , G01N35/08
摘要： 본발명은측면유전영동기술(Lateral Dielectrophoretic Technique)을이용하여생체분자간 화학결합력을측정하는방법에관한것으로서, 불균일한전기장에의해형성되는유전영동력이수평인방향으로전극중앙부근으로이동함에따라일정하게감소되어지는데이때생체분자간에존재하는화학결합력보다측면유전영동력이작아지는지점부근에서비즈(beads)는정지한다고할 수있기때문에비즈가정지한지점에서의유전영동력의힘을생체분자간 화학결합력으로측정하여적은반복실험및 간단한분석방법으로신뢰할 수있는화학결합력을측정할수 방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用侧向介电泳技术测量生物分子结合力的方法，更具体地说，涉及一种用少量重复实验可靠地测量化学结合力的方法和简单的分析方法，该方法通过用化学品测量介电电泳力当通过水平移动到电极中心部分来减小当由不均匀电场形成的介电电泳力时，生物分子附近的生物分子与侧向介电泳力之间的结合力小于生物分子之间的化学结合力。

9. 发明授权

KR101533997B1 유체 렌즈를 이용한 다층 구조 측정 장치 및 그 측정 방법 有权
标题翻译：使用流体透镜的多层结构测量装置及其多层结构测量方法
公开(公告)号：KR101533997B1
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：KR1020140011965
申请日：2014-02-03
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 진종한 , 김재완 , 강주식 , 김종안
IPC分类号： G01B9/04 , G02B3/12
CPC分类号： G01B9/04 , G02B3/12
摘要： 본발명은다층구조측정장치및 그측정방법을제공한다. 상기다층구조측정장치는광원; 상기광원의출력광을제공받아평행광을제공하는시준렌즈; 상기시준렌즈를통과한입사광을제공받아다층구조의시료에제공하고상기시료로부터반사된샘플광을투과시키는광분할기; 상기광분할기가제공하는상기입사광을집속시키어상기시료에제공하고가변초점거리를가지는유체렌즈부; 상기광분할기를투과한상기샘플광을집속시키는집속렌즈; 상기집속렌즈의초점거리에배치된핀홀; 상기핀홀의후단에배치되는광검출기; 및상기유체렌즈부의초점거리를가변하기위하여상기유체렌즈부의내부에유체를제공하는유체량조절부를포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种使用流体透镜测量多层结构的装置及其方法。用于测量多层结构的装置包括：光源; 接收光源的输出光以提供水平光的准直透镜; 接收通过准直透镜的入射光的分光器，以提供多层结构的样本，并使得从样品反射的样品光能够穿透; 允许由分光器提供的入射光聚焦以提供给样品并具有可变焦距的流体透镜单元; 使透过分光器的样品光聚焦的聚焦透镜; 设置在聚焦透镜的焦距中的针孔; 设置在销孔的后端的光检测器; 以及流体量控制单元，其向所述流体透镜的内部提供流体，以使得所述流体透镜单元的焦距变化。

10. 发明授权

KR101505745B1 이중 검출 반사 공초점 현미경 및 이를 사용하는 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법 有权
标题翻译：双重检测共焦反射显微镜及使用其测定样品高度信息的方法
公开(公告)号：KR101505745B1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：KR1020130128066
申请日：2013-10-25
申请人： 한양대학교 산학협력단 , 한국과학기술원
发明人： 유홍기 , 이동령 , 권대갑 , 김영덕
IPC分类号： G02B21/00 , G01B9/04 , G01B11/22
CPC分类号： G02B21/008 , G02B21/0032 , G02B21/06 , G02B21/18 , G02B21/26
摘要： 시편의 높이의 정보를 검출하는 공초점 현미경 및 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법이 제공된다. 실시예의 공초점 현미경은 복수의 핀홀을 구비하고, 복수의 핀홀을 통과한 반사광의 세기에 기반하여 시편의 높이의 정보를 검출할 수 있고, 검출된 시편의 높이의 정보에 기반하여 시편의 3 차원이 생성될 수 있다. 실시예의 공초점 현미경은 공초점 현미경 및/또는 시편의 기계적인 이송 없이 시편의 높이의 정보를 검출할 수 있고, 시편을 2 차원 평면에서 스캔하는 것만으로 시편의 3 차원 영상을 생성할 수 있다.
摘要翻译：提供了共焦显微镜和用于检测关于样品的高度的信息的方法。根据本发明的实施例，具有多个针孔的共聚焦显微镜能够基于穿过针孔传输的反射光的强度来检测样本的高度的信息，并且能够产生三维图像基于检测到的关于样品高度的信息。共聚焦显微镜能够检测样品的高度信息，而不需要共聚焦显微镜和/或样品的机械运动，并且能够通过在两个样品上扫描样品来产生样品的三维图像维平面。共聚焦显微镜包括：透射发射到样本的光的物镜，并且当光发射到样本时由样本反射的反射光被透射; 透射通过分束器从反射光分离第一反射光的第一针孔; 第二针孔，通过分束器沿与第一反射光不同的方向从反射光分离的第二反射光透过该第二针孔; 以及处理部，其基于所述第一反射光的第一强度和所述第二反射光的第二强度，检测由所述共聚焦显微镜观察到的所述样本的高度的信息，其中，所述第一和第二销孔的尺寸不同。

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