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1. 发明公开

KR1020170065499A 비전 가이드 정렬을 이용하는 전기적 시험 시스템 审中-实审
标题翻译：电气测试系统使用视觉引导对齐
公开(公告)号：KR1020170065499A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：KR1020177006502
申请日：2015-09-24
申请人： 이스트맨 코닥 캄파니
发明人： 제이스에릭케이 , 르블랑토마스에이 , 오코너케빈마이클
IPC分类号： G01R31/28 , G06T7/00 , G06T7/73 , H05K1/02 , G01B11/14 , G01R1/04 , G01R1/073
CPC分类号： G01R31/2891 , G01B11/14 , G01R1/0408 , G01R1/07364 , G01R31/2808 , G01R31/2818 , G01R31/2887 , G06F3/0412 , G06F3/044 , G06F2203/04101 , G06F2203/04111 , G06T7/001 , G06T7/74 , G06T2207/10004 , H05K1/0266 , H05K1/0268 , H05K2203/1545
摘要： 본전기적시험시스템은각 프레임이복수의기표(fiducial mark)를포함하는, 기판의웹의연속적인프레임들상에제조된디바이스들에대한전기적시험들을수행하기에적합하다. 본디지털이미징시스템은프레임의디지털이미지를캡처하며, 이는시험패드들의세트의위치들및 기표들의위치들간 공간적관계들을결정하기위해분석된다. 프레임은시험패드들과전기접촉하도록조정되는시험프로브들의세트를포함하는전기적시험고정부로전진한다. 복수의기점센서를포함하는기점감지시스템은기표들의위치들을결정한다. 전기적시험고정부의위치는시험프로브들이대응하는시험패드들과정렬되도록결정된공간적관계들및 결정된기표위치들에응답하여조정되고, 디바이스의전기적시험이수행된다.
摘要翻译：该电气测试系统适用于对在基片网的连续框架上制造的装置进行电气测试，每个框架包括多个基准标记。该数字成像系统捕获的帧，其被分析，以确定位置和该组的测试垫的能指的位置之间的空间关系的数字图像。框架前进到包括一组测试探针的电测试夹具，所述测试探针被调整为与测试垫电接触。包括多个起点传感器的起点检测系统确定目标的位置。电气测试的部件的固定位置，以便与所述测试探针的测试焊盘和所确定的位置能指相应的响应对齐，进行器件的电测试调节到所确定的空间关系。

2. 发明公开

KR1020160112346A 전기 검사용 지그 및 그의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：电气检查用电气及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160112346A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：KR1020150037960
申请日：2015-03-19
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김명규 , 전승호 , 남효승
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/07321 , G01R1/07328
摘要： 본발명은전기검사용지그및 그의제조방법에관한것으로, 본발명에따른전기검사용지그는복수의전도성와이어(wire)가구비된전극부; 및상기전극부하부에장착되되, 상기전도성와이어간의피치(pitch)를줄이는공간변형기및 상기공간변형기의하면에복수의전도성포스트(post)가구비된헤드부;를포함함으로써, 미세피치제품의전기검사에대응가능하다.
摘要翻译：电气检查用夹具及其制造方法技术领域本发明涉及电气检查用夹具及其制造方法。根据本发明的用于电气检查的夹具包括具有多根导线的电极部分; 以及头部，其包括安装在电极部分的下部中的空间变压器，并且减小了导线之间的间距，以及空间变压器的下表面上的多个导电柱。因此，可以对应于细间距产品的电检。

3. 发明公开

KR1020160091557A 공간변형기능을 가진 검사접촉장치 有权
标题翻译：具有空间变换功能的测试接触装置
公开(公告)号：KR1020160091557A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：KR1020150011727
申请日：2015-01-25
申请人： 김일
发明人： 김일
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07364
摘要： 본발명은검사접촉장치에관한것으로서; 플레이트의넓은면이시험체와마주보게되며, 위치고정핀이삽입되는위치고정홀이 1개이상형성되어있으며, 프로브가삽입설치되는복수의프로브홀이형성되어있는제1 가이드플레이트와; 상기제1 가이드플레이트와평행하게위치하며, 위치고정핀이삽입되는위치고정홀이 1개이상형성되어있으며, 프로브가삽입설치되는복수의프로브홀이형성되어있는제2 가이드플레이트와; 상기제1 가이드플레이트와상기제2 가이드플레이트사이에있으며, 프로브가관통하는프로브홀이형성되어있으며, 상기제1 가이드플레이트와상대적위치가변화가능한중간플레이트와; 상기제1 가이드플레이트에형성된위치고정홀과상기제2 가이드플레이트에형성된위치고정홀에공통으로삽입되며, 제1 가이드플레이트와제2 가이드플레이트의상대적위치를고정하는위치고정핀과; 상기제1 가이드플레이트에형성된프로브홀과상기제2 가이드플레이트에형성된프로브홀과상기중간플레이트에형성된프로브홀에공통으로삽입되며, 하단부가시험체에접촉하게되는복수의프로브를포함하여구성되며; 상기제1 가이드플레이트에형성된프로브홀의중심간의최소거리가상기제2 가이드플레이트에형성된프로브홀의중심간의최소거리와서로다른것을특징으로하는검사접촉장치를제공한다. 상기와같은본 발명에따르면, 인접한프로브가서로평행하지않게되므로, 프로브의흔들림이있어도이웃한프로브와합선될가능성이매우낮아지며, 프로브간의합선을방지할수 있다. 또한, 제2 가이드플레이트에있는프로브홀의피치가시험체전극의피치보다더 크게되어서, 공간변형기의기능을수행하게된다.
摘要翻译：本发明涉及具有空间变换功能的测试接触装置。测试接触装置包括：第一引导板，其中形成有位置固定销插入其中的至少一个位置固定孔; 第二引导板，其中形成有位置固定销插入其中的至少一个位置固定孔; 第一导板和第二导板之间的中间板; 所述定位固定销被构造成固定所述第一和第二引导板的相对位置; 和多个探针。因此，测试接触装置可以防止探针之间的短路。

4. 发明授权

KR101304031B1 상호 교환 가능한 프로브 인서트를 구비한 프로브 카드조립체 有权
标题翻译：探针卡组装与可交换的探头插入
公开(公告)号：KR101304031B1
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：KR1020087003169
申请日：2006-07-07
申请人： 폼팩터, 인코포레이티드
发明人： 엘드리지벤자민엔 , 레이놀즈칼브이 , 가와마타노부히로 , 사에키타카오
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/07378
摘要： 프로브 카드 조립체는 시험할 장치를 프로브하기 위한 특별한 구성으로 배치된 프로브를 포함할 수 있는 프로브 인서트를 붙들도록 구성된 인서트 홀더를 포함할 수 있다. 상기 프로브 카드 조립체는 장치의 시험을 제어할 수 있는 시험기와의 전기 인터페이스를 제공하며, 프로브 카드 조립체에 부착되어 있는 동안 인서트 홀더가 프로브 인서트를 붙들 수 있기 때문에, 프로브 인서트는 시험기로의 인터페이스의 일부인 프로브 카드 조립체 내의 전기 경로에 전기적으로 접속된다. 프로브 카드 조립체의 프로브 인서트는 인서트 홀더를 분리하고, 이 프로브 인서트를 신규한 프로브 인서트로 교체한 후, 프로브 카드 조립체에 이 인서트 홀더를 재부착함으로써 교체될 수 있다. 프로브 인서트 및 홀더는 프로브 카드 조립체로부터 분리되고 상이한 프로브 인서트 및 홀더로 교체될 수 있는 단일 구초제를 내부적으로 형성할 수 있고 포함할 수 있다.

5. 发明授权

KR100904388B1 다층 기판 및 이를 포함하는 전기 검사 장치 失效
标题翻译：多层板和用于检查具有该电路的电气条件的装置
公开(公告)号：KR100904388B1
公开(公告)日：2009-06-26
申请号：KR1020070044676
申请日：2007-05-08
申请人： 폭스브레인 주식회사
发明人： 유정선 , 박정애
IPC分类号： G01R1/06 , G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07342 , G01R1/06772 , G01R1/07364 , G01R31/2889 , H05K1/024 , H05K3/4626 , H05K3/4688
摘要： 개시된 다층 기판은 제1 유전율을 갖는 제1 서브-기판과, 상기 제1 유전율과 다른 제2 유전율을 갖는 제2 서브-기판을 포함하고, 상기 제1 서브-기판과 제2 서브-기판을 서로 겹치게 적층시킨다. 그리고, 개시된 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁들이 구비된 제1 기판과, 언급한 다층 기판과 동일한 구조를 갖는 다층의 제2 기판 및 상기 제1 기판과 상기 다층의 제2 기판을 전기적으로 연결하는 연결부를 포함한다.

6. 发明公开

KR1020090057902A 프로브 카드 有权
标题翻译：探针卡
公开(公告)号：KR1020090057902A
公开(公告)日：2009-06-08
申请号：KR1020080118297
申请日：2008-11-26
申请人： 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
发明人： 나리타,사토시 , 나리타,히사오 , 야마구치,노부유키
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/07342
摘要： A probe card is provided to prevent a contact between probes by alternately positioning probe tips of a third probe group and a fourth probe group. A plurality of connection parts is arranged on a bottom surface of a substrate. A first probe group, a second probe group, a third probe group, and a fourth probe group(46a-46d) include base parts connected to the connection parts and main body parts extended from a bottom end of the base parts to a right and left direction. A probe tip part is extended from a front end of the main body part to a bottom side. The main body part of the probe of the first probe group and the third probe group is extended from a bottom end of the base part to a probe side of the second probe group and the fourth probe group. The main body part of the probe of the second probe group and the fourth probe group is extended from a bottom end of the base part to a probe side of the first probe group and the third probe group.
摘要翻译：提供探针卡以通过交替地定位第三探针组和第四探针组的探针尖来防止探针之间的接触。多个连接部件布置在基板的底表面上。第一探针组，第二探针组，第三探针组和第四探针组（46a-46d）包括连接到连接部的基部和从基部的底端向右延伸的主体部，以及左方向探针尖端部分从主体部分的前端延伸到底侧。第一探针组和第三探针组的探针的主体部分从基部的底端延伸到第二探针组和第四探针组的探针侧。第二探针组和第四探针组的探针的主体部分从基部的底端延伸到第一探针组和第三探针组的探针侧。

7. 发明授权

KR100674938B1 멀티칩 테스트용 프로브 카드 失效
标题翻译：探针卡用于测试多芯片
公开(公告)号：KR100674938B1
公开(公告)日：2007-01-26
申请号：KR1020050002873
申请日：2005-01-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 유상규 , 강기상 , 김훈정 , 강성모 , 조창현
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/0491
摘要： 본 발명은 멀티칩 테스트용 프로브 카드에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼에 형성된 다수개의 반도체 칩들 중 일부를 동시에 테스트하기 위한 프로브 카드에 있어서, 기판; 상기 기판 상에 배열되며, 전체적인 모양이 상기 웨이퍼에 형성된 반도체 칩들의 전체적인 모양과 유사하도록 배열된 다수개의 프로브 블록들; 및 상기 프로브 블록들 내에 설치되며 상기 반도체 칩들에 형성된 다수개의 패드들에 대응하도록 배열된 다수개의 프로브 니들들을 구비하며, 상기 프로브 블록들의 전체적인 모양을 구성하는 다수개의 변들 중에서 2개의 변들의 길이가 상기 반도체 칩들의 전체적인 모양을 구성하는 다수개의 변들 중에서 대응되는 2변들의 길이보다 짧게 구성됨으로써, 웨이퍼에 대한 테스트 시간이 대폭적으로 감소된다.

8. 发明公开

KR1020060132733A 프로브 장치 및 이 프로브 장치를 구비한 웨이퍼 검사 장치및 웨이퍼 검사 방법 有权
标题翻译：探头装置，探头装置和波浪检测方法提供的检测装置
公开(公告)号：KR1020060132733A
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：KR1020067019147
申请日：2005-03-30
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 이가라시,히사오 , 사또,가쯔미 , 이노우에,가즈오
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/07314 , G01R1/07371 , G01R1/07378
摘要： A wafer inspecting apparatus, a wafer inspecting method and a probe apparatus, by which electrical inspection can be performed in batch to many electrodes to be tested and excellent electrical connection status can be surely attained for all the electrodes to be tested with a small load. The probe apparatus is provided with an inspection circuit board having many inspection electrodes, a probe card, which has a connecting circuit board having many terminal electrodes and a contact member, an anisotropically conductive connector, which is arranged between the inspection circuit board and the connecting circuit board for electrically connecting each of the inspection electrodes and each of the terminal electrodes, and a parallelism adjusting mechanism, which adjusts parallelism of the inspection circuit board and the connecting circuit board to a wafer. The parallelism adjusting mechanism is provided with a position variable mechanism which relatively displaces the inspection circuit board or the connecting circuit board in a thickness direction of the anisotropically conductive connector. The wafer inspecting apparatus is provided with the probe apparatus.
摘要翻译：晶片检查装置，晶片检查方法和探针装置，可以批量地进行许多待测试的电极的电检查，并且可以确保以小的负载测试所有电极的良好的电连接状态。该探针装置设置有具有许多检查电极的检查电路板，具有多个端子电极和接触构件的连接电路板的探针卡，各向异性导电连接器，其布置在检查电路板和连接用于电连接每个检查电极和每个端子电极的电路板，以及平行度调节机构，其将检查电路板和连接电路板的平行度调整到晶片。平行度调节机构设置有位置可变机构，其在各向异性导电连接器的厚度方向上使检查电路板或连接电路板相对移位。晶片检查装置设置有探针装置。

9. 发明公开

KR20180004753A 특히 감소된 피치 적용을 위한, 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드 审中-公开
标题翻译：带垂直探头的测试头，特别适用于节距应用
公开(公告)号：KR20180004753A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：KR20177034399
申请日：2016-05-05
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/28
CPC分类号： G01R1/07357 , G01R1/07364
摘要： 테스트중인장치(24)의작동을테스트하기위한수직형프로브를구비한테스트헤드(20)가설명되며, 이러한테스트헤드는복수의접촉프로브(21)를포함하고, 각각의접촉프로브(21)는제1 단부및 제2 단부(21A, 21B) 사이에서연장되는미리결정된길이의로드형몸체를갖고, 서로평행하고굽힘영역(29)에의해이격되는하나이상의플레이트형하부가이드(22) 및플레이트형상부가이드(23)에형성된각각의가이드구멍(22A, 23A)에수용된다. 적절하게, 하나이상의상기하부가이드(22) 및상부가이드(23)는복수의이들가이드구멍(22A, 23A)에서형성되고상기복수의이들가이드구멍(22A, 23A)의두께를감소시키는단차부(26A, 26B)를구현하는하나이상의함몰부(27)를구비한다.
摘要翻译：示出了具有用于测试被测装置24的操作的垂直探针的测试头20，并且包括多个接触探针21，具有在第一和第二端部21A和21B之间延伸的预定长度的棒状体并且彼此平行并由弯曲区域29隔开的成形的底部引导件22，并且分别容纳在形成在引导件23中的引导孔22A和23A中。该正确地，一个或多个所述下导向22和上引导部23的由多个这些引导孔（22A，23A）的形成，以减少所述多个这些引导孔（22A，23A）的厚度阶梯部（ 26A，26B。

10. 发明公开

KR1020170104905A 반도체 디바이스 테스트용 양방향 도전성 소켓, 반도체 디바이스 테스트용 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：用于测试半导体器件的双向导电插座，用于测试半导体器件的双向导电模块及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170104905A
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020160043241
申请日：2016-04-08
申请人： 주식회사 이노글로벌
发明人： 이은주 , 김근택
IPC分类号： G01R1/04
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R1/0408 , G01R1/0416 , G01R1/06711 , G01R1/06733 , G01R1/06755 , G01R1/07364 , G01R3/00
摘要： 본발명의일 실시예에따른반도체디바이스테스트용양방향도전성모듈은일면이반도체소자를향하고다른일면이검사회로기판을향하도록절곡된구조를가진기판부; 기판부의일면에서상호간에제 1 피치간격으로일렬로이격되어반도체소자의단자에각각전기적으로연결되는복수의제 1 도전성패턴과, 기판부의다른일면에서상호간에제 1 피치간격보다큰 제 2 피치간격으로일렬로이격되어검사회로기판의단자에각각전기적으로연결되는복수의제 2 도전성패턴이마련된복수의단자핀; 및기판부를탄성지지토록기판부에연결된탄성지지부를포함하고, 복수의단자핀은기판부의일면에서복수의제 1 도전성패턴이제 1 피치간격만큼이격되어일렬로배열되고, 기판부의다른일면에서복수의제 2 도전성패턴이제 2 피치간격만큼어긋나게배치되어지그재그형태로배열되도록기판부에마련되어, 복수의제 1 도전성패턴이반도체소자의단자에대해제 1 피치간격으로접촉되고, 복수의제 2 도전성패턴이검사회로기판의단자에대해제 2 피치간격으로접촉되어, 반도체소자의단자와검사회로기판의단자를전기적으로연결하는것이바람직하다.
摘要翻译：根据本发明实施例的用于测试半导体器件的双向导电模块包括：基板部分，具有其中一个表面朝向半导体元件且另一个表面朝着测试电路基板弯曲的结构; 多个第一导电图案以第一间距间隔彼此间隔开并且电连接到衬底部分的一个表面上的半导体元件的端子，以及多个第二导电图案以第二间距间隔彼此间隔开多个端子引脚，分别排成一行，并且设置有分别与检查电路板的端子电连接的多个第二导电图案; 以及多个端子引脚，所述多个端子引脚排列在所述基板部分的所述一个表面上，彼此间隔开间距并具有布置在所述基板部分的所述另一个表面上的多个第一导电图案，第二导电图案设置在基板部分上，从而通过偏移两个节距间隔以交错排列的方式布置，使得多个第一导电图案以第一节距间隔与半导体元件的端子接触，优选以第二节距间隔接触检查电路板的端子以电连接半导体元件的端子和检查电路板的端子。

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