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    • 3. 发明公开
    • 에디 전류 측정법을 이용한 고속 주사탐침 현미경
    • 使用EDDY电流测量的高速扫描探测显微镜
    • KR1020110014272A
    • 2011-02-11
    • KR1020090069677
    • 2009-07-29
    • 명지대학교 산학협력단
    • 강치중최영진유재우
    • G01N27/72G01Q60/00G02B21/00
    • G01Q20/04
    • PURPOSE: A high-speed scanning probe microscope using eddy current measurement is provided to ensure high resolution in high-speed scanning and improve the measurement reliability. CONSTITUTION: A high-speed scanning probe microscope using eddy current measurement comprises a magnetic field generator(200) and a cantilever detector(110). The magnetic field generator is fixed to the bottom of a sample holding part(120). The cantilever detector, coated with metal, comprises a cantilever support and a cantilever which is formed with a coil located above a sample. The high-speed scanning probe microscope measures changes in magnetic field created by eddy current created according to the movement of the cantilever detector while maintaining uniform distance between the sample and the cantilever detector probe, and thereby high-speed scanning the sample.
    • 目的:提供使用涡流测量的高速扫描探针显微镜,以确保高分辨率的高速扫描,提高测量可靠性。 构成:使用涡流测量的高速扫描探针显微镜包括磁场发生器(200)和悬臂检测器(110)。 磁场发生器固定在样品保持部件(120)的底部。 用金属涂覆的悬臂检测器包括悬臂支撑件和悬臂,其形成有位于样品上方的线圈。 高速扫描探针显微镜测量根据悬臂检测器的运动产生的涡流产生的磁场变化,同时保持样品和悬臂检测器探头之间的均匀距离,从而高速扫描样品。
    • 6. 发明公开
    • 니켈 나노콘 패턴 형성방법
    • 硝化镍纳米粉体的制备方法
    • KR1020140094755A
    • 2014-07-31
    • KR1020130007067
    • 2013-01-22
    • 명지대학교 산학협력단
    • 최영진이규왕강치중심이레
    • C25D3/02C25D5/02C25D21/12
    • C25D7/123B82B3/00C25D3/12C25D5/022
    • The present invention relates to a method for forming nickel nanocones to have a selected pattern, including the steps of: forming a seed layer, with the surface being exposed to have a specific shape, on a substrate; and forming nickel nanocones on the surface, which is exposed to have the specific shape, of the seed layer by performing an electroplating process in which a nickel electrode serves as an anode in an electrolyte, wherein the seed layer is made of a metal material of a face centered cubic (FCC) structure. Since the nickel nanocones are directly formed to have the specific pattern only by a quick and simple photolithographic process and the electroplating process, the costs required to form the nickel nano-structure is remarkably reduced. Also, since the nickel nanocones are formed in the pattern of the specific shape, the nanocone forming process of the present invention can be applied to a part of the conventional semiconductor process. The connection in the whole semiconductor process is increased, and the efficiency of the fabricated device is improved. In addition, since the process costs are not expensive, the nickel nanocone structure can be applied to a new field which is not used at present.
    • 本发明涉及一种用于形成具有选定图案的镍纳米酮的方法,包括以下步骤:在基材上形成表面暴露于具有特定形状的种子层; 以及通过进行电解工艺中的镍电极作为电解质中的阳极而形成种子层的暴露于特定形状的表面上的镍纳米酮,其中种子层由金属材料制成 面心立方(FCC)结构。 由于仅通过快速且简单的光刻工艺和电镀工艺直接形成具有特定图案的镍纳米骨,因此形成镍纳米结构所需的成本显着降低。 此外,由于镍纳米酮以特定形状的图案形成,所以本发明的纳米骨形成方法可以应用于常规半导体工艺的一部分。 整个半导体工艺中的连接增加,并且制造的器件的效率提高。 此外,由于工艺成本不昂贵,镍纳米结构可以应用于目前未使用的新领域。
    • 9. 发明授权
    • 분자탐지 장치
    • 分子检测装置
    • KR100922765B1
    • 2009-10-21
    • KR1020070048821
    • 2007-05-18
    • 명지대학교 산학협력단
    • 김재완김용상강치중최영진
    • G01B11/00G01N33/48
    • 본 발명은 광섬유에 형성되는 원통형 캔틸레버의 수용체와 유동체 내의 타깃 분자의 결합에 의해 원통형 캔틸레버에 가해지는 표면 응력 또는 원통형 캔틸레버의 진동 주파수의 변동을 이용하여 유동체 내의 타깃 분자를 탐지하는 분자탐지 장치에 관한 것으로, 제1코어와 상기 제1코어를 보호하는 클래딩으로 이루어진 제1광섬유; 상기 제1광섬유와 일직선상에 위치하고 소정 간격으로 이격된, 제2코어와 상기 제2코어를 보호하는 클래딩으로 이루어진 제2광섬유; 및 상기 제1광섬유와 상기 제2광섬유 사이의 이격된 공간에 상기 제2코어로부터 연장된 원통형 캔틸레버를 포함하여 이루어지고, 상기 원통형 캔틸레버의 외주면에 적어도 일부에 유동체 내의 타깃 분자를 결합시키기 위한 수용체가 고정되는 것을 특징으로 한다.
      본 발명에 따른 광섬유 기반의 분자탐지 장치에 의하면, 직육면체 캔틸레버를 채용하는 종래의 분자 탐지 장치보다 정확하고 뛰어난 감도를 가지면서도, 내구성이 좋고, 구조가 보다 간단하며 보다 작은 스케일로 제작 가능하고, 광원과 광 검출기에 일체형으로 부착할 수 있어 재위치설정의 필요가 없는 광섬유 기반의 분자 탐지 장치를 제공할 수 있다.
      분자 탐지, 광섬유, 수용체, 인공코
    • 10. 发明公开
    • 힘 상수 보정 주사탐침 현미경 및 그의 보정 방법
    • 具有校准力的扫描探针显微镜及其校准方法
    • KR1020140141234A
    • 2014-12-10
    • KR1020130062740
    • 2013-05-31
    • 명지대학교 산학협력단
    • 강치중최영진박미라
    • G01Q40/00
    • G01Q40/02G01N33/5735G01Q60/52G01R1/06727H01J37/20
    • 본 발명은 힘 상수 보정 주사탐침 현미경 및 그 보정 방법에 관한 것으로, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 주사탐침 현미경은, 시료가 고정되는 시료 고정대; 상기 시료 고정대의 상부에 배치고 탐침이 부착된 캔틸레버 검출기; 및 상기 탐침이 상기 시료에 접촉할 때 상기 캔틸레버 검출기의 공명진동수를 이용하여 상기 탐침에 의해 상기 시료에 가해지는 힘의 크기를 보정할 수 있는 힘 상수를 산출하는 산출부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 주사탐침 현미경을 이용하여 단분자 측정을 위한 힘-거리 측정에서 탐침과 시료와의 접촉 면적이 가장 큰 변수 중 하나로 적용되는데, 이를 위해 탐침이 부착된 캔틸레버 검출기의 공명진동수를 이용하여 시료에 가해지는 힘의 힘 상수를 산출하여 이를 캔틸레버 검출기에 적용하여 더욱 정확하게 시료를 스캔할 수 있는 효과가 있다.
    • 本发明涉及用于校正恒定力的扫描探针显微镜及其校准方法。 根据本发明,扫描探针显微镜包括:固定有样本的样本固定支架; 布置在具有探针的样本固定支架的上侧的悬臂检测器; 计算部,当所述探针接触所述检体时,使用所述悬臂检测器的共振频率来计算恒定力,所述恒定力能够校准由所述探针施加到所述检体的力的大小。 根据本发明,当通过扫描探针显微镜对探针和样品之间的接触面积作为对单分子测量进行的力距离测量中的一个主要变量应用时,扫描探针显微镜能够计算 使用悬臂检测器与探头的共振频率施加到试样的力的力距离,并且能够将恒定力施加到悬臂检测器; 从而更准确地扫描样品。