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1. 发明公开

KR1020120108041A 비틀림 공진 모드에서 전기적 성질을 측정하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于测量扭转谐振模式下电气特性的方法和装置
公开(公告)号：KR1020120108041A
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：KR1020127020787
申请日：2005-05-21
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 후앙,린 , 수,샨민
IPC分类号： G01R27/04 , G01R31/00 , G01Q10/04
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , G01Q60/40 , G01Q60/48
摘要： 바람직한 실시예는 SPM(Scanning Probe Microscope)을 동작시키는 방법 및 장치에 관한 것이며, 이는 SPM의 프로브를 상기 프로브의 비틀림 공진으로 진동시키는 단계와, 이와 동시에 이뤄지는, SPM의 프로브와 샘플 사이의 비틀림 공진 모드에 의해 제어되는 이격 거리에서, 전기적 성질, 가령 전류, 용량 임피던스 등을 측정하는 단계를 포함한다. SPM 동작의 설정-포인트를 유지하기 위해 비틀림 공진 피드백을 사용하는 동안, 상기 측정 단계가 이뤄지는 것이 바람직하다.

2. 发明公开

KR1020080068689A 주사 근접장 홀로그래피 방법과 시스템, 및 원자 힘 현미경 시스템 失效
标题翻译：扫描近场超声波全息图
公开(公告)号：KR1020080068689A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：KR1020087010870
申请日：2005-10-06
申请人： 노쓰웨스턴 유니버시티
发明人： 세가와트,가젠드라 , 드라비드,비나야크피.
IPC分类号： G03H3/00 , G03H1/22 , G02B21/00 , B82Y10/00
CPC分类号： G03H3/00 , G01N29/0663 , G01N29/0681 , G01N29/069 , G01N2203/0075 , G01N2203/0094 , G01N2291/012 , G01N2291/014 , G01N2291/0232 , G01N2291/02491 , G01N2291/02827 , G01N2291/0427 , G01Q60/32
摘要： A high spatial resolution phase-sensitive technique employs a scanning near field ultrasound holography methodology (47) for imaging elastic as well as viscoelastic variations across a sample surface. Scanning near field ultrasound holography (47) uses a near-field approach to measure time-resolved variations in ultrasonic oscillations at a sample surface (12). As such, it overcomes the spatial resolution limitations of conventional phase-resolved acoustic microscopy (i.e. holography) by eliminating the need for far-field acoustic lenses.
摘要翻译：高空间分辨率相敏技术采用扫描近场超声全息术方法（47），用于对样品表面的弹性以及粘弹性变化进行成像。扫描近场超声全息术（47）使用近场方法来测量样品表面（12）上的超声振荡中的时间分辨变化。因此，它通过消除对远场声透镜的需要来克服常规相分离声学显微镜（即全息术）的空间分辨率限制。

3. 发明公开

KR1020040042420A 주파수 응답 분리 방식을 이용한 비접촉식 측정 장치 및그 측정 방법 失效
标题翻译：使用频率响应部分的非接触式测量装置及其测量方法
公开(公告)号：KR1020040042420A
公开(公告)日：2004-05-20
申请号：KR1020020070716
申请日：2002-11-14
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이성규 , 송기봉 , 박강호 , 김준호 , 김은경 , 박기환 , 염우섭
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q60/32
摘要： PURPOSE: A non-contact type measurement apparatus by using frequency response division and a measuring method thereof are provided to reduce the number of driving sections by measuring a surface level and vibrating a cantilever using one driver. CONSTITUTION: A non-contact type measurement apparatus includes a base section(10). An X-Y scanner(11) is aligned on the X-Y scanner(11). A sample(12) is positioned on the X-Y scanner(11). A cantilever(15) having a sensing section(13) is formed on the sample(12). One end of the cantilever(15) is supported by a driving section(16) and the other end of the cantilever(15) is provided with a tip(14). A fixing member(17) is provided to support the driving section(16). A sensing section(13) detects amplitude of frequency according to a variation of a distance between the tip(14) and the sample(12).
摘要翻译：目的：提供使用频率响应分割的非接触型测量装置及其测量方法，以通过使用一个驱动器测量表面水平和振动悬臂来减少驱动部分的数量。构成：非接触型测量装置包括基部（10）。 X-Y扫描仪（11）在X-Y扫描仪（11）上对准。样品（12）位于X-Y扫描仪（11）上。在样品（12）上形成具有感测部分（13）的悬臂（15）。悬臂（15）的一端由驱动部分（16）支撑，并且悬臂（15）的另一端设置有尖端（14）。设置固定构件（17）以支撑驱动部分（16）。感测部（13）根据尖端（14）和样本（12）之间的距离的变化来检测频率的振幅。

4. 发明授权

KR101823954B1 탐침형 원자 현미경 작동 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于操作探针型原子显微镜的方法和设备
公开(公告)号：KR101823954B1
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：KR1020177001022
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.
摘要翻译： AFM成像（峰值力带（PFT）模式）的改进模式300提供可变力反馈以减小尖端 - 样品相互作用力，同时保持可通过所有现有AFM操作模式实现的扫描速率。使用。样品成像和力学性能测试是通过提高分辨率和高样品通量来完成的，并且提供了一种在包括气体，流体和真空在内的可变环境中的操作模式。

5. 发明授权

KR101298782B1 비틀림 공진 모드에서 전기적 성질을 측정하기 위한 방법 및 장치 失效
标题翻译：用于测量扭转谐振模式下电气特性的方法和装置
公开(公告)号：KR101298782B1
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：KR1020067025196
申请日：2005-05-21
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 후앙,린 , 수,샨민
IPC分类号： G01R27/04
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , G01Q60/40 , G01Q60/48
摘要： 바람직한 실시예는 SPM(Scanning Probe Microscope)을 동작시키는 방법 및 장치에 관한 것이며, 이는 SPM의 프로브를 상기 프로브의 비틀림 공진으로 진동시키는 단계와, 이와 동시에 이뤄지는, SPM의 프로브와 샘플 사이의 비틀림 공진 모드에 의해 제어되는 이격 거리에서, 전기적 성질, 가령 전류, 용량 임피던스 등을 측정하는 단계를 포함한다. SPM 동작의 설정-포인트를 유지하기 위해 비틀림 공진 피드백을 사용하는 동안, 상기 측정 단계가 이뤄지는 것이 바람직하다.

6. 发明公开

KR1020070042505A 비틀림 공진 모드에서 전기적 성질을 측정하기 위한 방법 및 장치 失效
标题翻译：用于测量扭转谐振模式下电气特性的方法和装置
公开(公告)号：KR1020070042505A
公开(公告)日：2007-04-23
申请号：KR1020067025196
申请日：2005-05-21
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 후앙,린 , 수,샨민
IPC分类号： G01R27/04
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , G01Q60/40 , G01Q60/48
摘要： 바람직한 실시예는 SPM(Scanning Probe Microscope)을 동작시키는 방법 및 장치에 관한 것이며, 이는 SPM의 프로브를 상기 프로브의 비틀림 공진으로 진동시키는 단계와, 이와 동시에 이뤄지는, SPM의 프로브와 샘플 사이의 비틀림 공진 모드에 의해 제어되는 이격 거리에서, 전기적 속성, 가령 전류, 용량 임피던스 등을 측정하는 단계를 포함한다. SPM 동작의 설정-포인트를 유지하기 위해 비틀림 공진 피드백을 사용하는 동안, 상기 측정 단계가 이뤄지는 것이 바람직하다.

7. 发明授权

KR100501893B1 주파수 응답 분리 방식을 이용한 비접촉식 측정 장치 및그 측정 방법 失效
标题翻译：使用频率响应分离方案的非接触式扫描装置及其扫描方法
公开(公告)号：KR100501893B1
公开(公告)日：2005-07-25
申请号：KR1020020070716
申请日：2002-11-14
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이성규 , 송기봉 , 박강호 , 김준호 , 김은경 , 박기환 , 염우섭
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q60/32
摘要： 본 발명은 표면 형상 측정을 위한 Z 방향 구동기를 사용함에 있어서, 하나의 구동기로 표면 높이를 추종하는 역할과 켄티레버를 그 고유진동수로 가진하는 역할을 동시에 할 수 있는 비접촉식 측정 장치 및 주파수 응답 분리법을 이용한 비접촉식 표면 측정 방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, X축 및 Y축 방향으로 이동하는 샘플과 일정 거리를 유지하면서 상기 샘플의 표면 형상을 자신의 공진 주파수의 진폭의 변화를 통해 센싱하는 센싱부; 상기 센싱부를 통해 센싱된 신호를 주파수 형태의 제1신호로 변환하여 출력하는 주파수 변환부; 상기 제1신호와 주파수 발생부로부터 출력되는 제2신호를 합성하는 주파수 합성부-상기 제2신호는 상기 공진 주파수와 동일하며 상기 제1신호에 비해 고주파임; 및 상기 합성된 신호 중 상기 제1신호에 응답하여 상기 센싱수단을 Z축 방향으로 구동시키며, 상기 센싱수단이 상기 제2신호에 선택적으로 동작하도록 하기 위해 상기 센싱수단에 상기 합성된 신호를 제공하는 구동부를 포함하는 비접촉식 측정 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 주파수 응답 분리법을 이용한 비접촉식 표면 측정 방법을 제공한다.

8. 发明授权

KR100263528B1 교환 상호 작용력의 측정 장치 失效
标题翻译：用于测量交换力的装置
公开(公告)号：KR100263528B1
公开(公告)日：2000-08-01
申请号：KR1019980013437
申请日：1998-04-15
申请人： 홋까이도 유니버시티
发明人： 무까사고이찌 , 하야까와가즈노부 , 스에오까가즈히사 , 나까무라고지 , 다즈께유이찌 , 하세가와히데오 , 오구찌다미오
IPC分类号： G01B7/34
CPC分类号： G01Q60/08 , G01Q60/32 , G01Q60/38 , G01Q60/54 , Y10S977/852
摘要： 시료와 탐침 사이의 교환 상호 작용력을 측정하기 위한 장치에 있어서, 상기 시료와 탐침은 근접 거리로 또는 도전 전자운이 서로 중첩되기 시작하는 거리로부터 국지적으로 존재하는 전자운이 실질적으로 서로 중첩되지 않는 거리까지의 RKKY형 교환 상호 작용 영역만큼 서로 떨어져서 대향된다. 시료와 탐침 사이의 힘만큼 탐침이 시료로 끌리는 것을 방지하기 위해서, 압전 소자가 캔틸레버에 제공되고, 압전 소자로 공급되는 제어 신호가 캔틸레버의 스프링 상수를 제어하기 위해서 캔틸레버의 변위에 따라 생성된다. 시료와 탐침 사이의 교환 상호 작용력은 압전 소자로 공급되는 제어 신호로부터 연산된다.

9. 发明授权

KR101873936B1 탐침형 원자 현미경 有权
公开(公告)号：KR101873936B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020187002304
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.

10. 发明公开

KR1020160078534A 헤드 일체형 원자간력 현미경 및 이를 포함한 융합 현미경 有权
标题翻译：具有集成头和包括其的融合显微镜的原子力显微镜
公开(公告)号：KR1020160078534A
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：KR1020140187700
申请日：2014-12-24
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김달현 , 박병천 , 유현웅
IPC分类号： G01Q60/24
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q20/02 , G01Q30/02 , G01Q30/18 , G01Q60/38 , G01Q60/24 , G01Q60/00 , G01Q60/34 , Y10S977/852
摘要： 본발명의목적은원자간력현미경(AFM)의헤드구조를최적화함으로써, 중량및 부피최소화와구조적안정성향상을실현하는원자간력현미경용일체형헤드를제공함에있다. 본발명의다른목적은, 이러한일체형헤드를장착함으로써동적특성이향상되어고속헤드스캔이가능해서대면적샘플이미징에활용할수 있는헤드일체형원자간력현미경을제공함에있다. 본발명의또다른목적은, 이처럼동적특성이향상된헤드일체형원자간력현미경과전자현미경또는광학현미경을융합함으로써, 고속위치탐색및 이미징이가능함과동시에관심영역에서는원자상수준까지의 3차원형상의정밀관찰이가능하도록하는, 헤드일체형원자간력현미경을포함한융합현미경을제공함에있다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种具有最小重量和体积的原子力显微镜（AFM）的集成头，以及通过优化AFM的头部结构来提高结构稳定性。本发明的另一个目的是提供一种头部集成的AFM，其具有安装在其上的上述集成头，具有改善的动态特性，使得能够进行高速头扫描，并且AFM能够用于宽 - 样品成像。本发明的另一个目的是提供一种包括头部集成的AFM的融合显微镜。融合显微镜是具有改进的动态特性的上述头部集成AFM和电子显微镜或光学显微镜的组合，使得高速位置搜索和成像以及兴趣区域中的3D形状的详细观察原子级别是可能的。用于AFM的集成头部包括：测量单元（110），其形成为沿纵向从其一侧延伸到另一侧的板，其中具有第一反射镜（211）的第一反射镜安装座（111）和具有第二反射镜（212）的第二反射镜安装座（112）在纵向方向上从一侧到另一侧彼此预定距离地连续地放置和固定，并且具有尖端（115） 215），其具有探针并且形成为沿着从第一反射镜安装件（111）放置的长度方向延伸并且沿高度方向和宽度方向固定的板，并且所述尖端（215）的下部具有：一个空的空间; 源单元（120），其形成为连接到所述测量单元（110）的一侧的块，所述块在长度方向上具有贯通路径（125），所述通孔设置有透镜（225），所述透镜侧具有固定光源单元（220）; 以及感测单元（130），其形成为连接到所述测量单元（110）的另一侧的块，所述测量单元（110）的另一侧具有容纳所述位置敏感光电检测器（PSPD）（230）的纵向方向上的容纳路径（135），并且迷恋。

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