基本信息:
- 专利标题： 비틀림 공진 모드에서 전기적 성질을 측정하기 위한 방법 및 장치
- 专利标题（英）：Method and apparatus for measuring electrical properties in torsional resonance mode
- 专利标题（中）：用于测量扭转谐振模式下电气特性的方法和装置
- 申请号：KR1020127020787 申请日：2005-05-21
- 公开(公告)号：KR1020120108041A 公开(公告)日：2012-10-04
- 发明人： 후앙,린 , 수,샨민
- 申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
- 申请人地址： Terminal Drive, Plainview, NY *****, U.S.A.
- 专利权人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
- 当前专利权人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
- 当前专利权人地址： Terminal Drive, Plainview, NY *****, U.S.A.
- 代理人： 강명구
- 优先权： US60/573,464 2004-05-21
- 国际申请： PCT/US2005/017920 2005-05-21
- 国际公布： WO2005114230 2005-12-01
- 主分类号： G01R27/04
- IPC分类号： G01R27/04 ; G01R31/00 ; G01Q10/04
摘要：
바람직한 실시예는 SPM(Scanning Probe Microscope)을 동작시키는 방법 및 장치에 관한 것이며, 이는 SPM의 프로브를 상기 프로브의 비틀림 공진으로 진동시키는 단계와, 이와 동시에 이뤄지는, SPM의 프로브와 샘플 사이의 비틀림 공진 모드에 의해 제어되는 이격 거리에서, 전기적 성질, 가령 전류, 용량 임피던스 등을 측정하는 단계를 포함한다. SPM 동작의 설정-포인트를 유지하기 위해 비틀림 공진 피드백을 사용하는 동안, 상기 측정 단계가 이뤄지는 것이 바람직하다.
摘要（英）：
The preferred embodiment relates to a method and apparatus for operating an SPM (Scanning Probe Microscope), which torsional resonant mode between the steps of oscillating the probe of SPM in a torsional resonance of the probe, and at the same time goes, SPM of the probe and the sample in the separation distance it is controlled by a, and a step for measuring the electrical properties, for example, current, capacity, impedance and the like. SPM of Operation - it is, preferred that the measuring step goes while using the feedback to maintain the torsional resonance point.
公开/授权文献:
- KR101382000B1 비틀림 공진 모드에서 전기적 성질을 측정하기 위한 방법 및 장치 公开/授权日：2014-04-04
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R27/00 | 测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置 |
| --------G01R27/02 | .电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量 |
| ----------G01R27/04 | ..在具有分布常数的电路中的测量 |