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1. 发明授权

KR101853505B1 기판 처리 장치의 데이터 취득 방법 및 센서용 기판 有权
标题翻译：获取传感器的基板处理装置和基板的数据的方法
公开(公告)号：KR101853505B1
公开(公告)日：2018-04-30
申请号：KR1020120070629
申请日：2012-06-29
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아까다히까루
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02
CPC分类号： G01P5/12 , G01P13/045
摘要： 본발명의과제는기판의면 내의각 부에있어서의풍향의데이터를취득할수 있는기술을제공하는것이다. 기류의벡터의데이터를취득하기위한제1 센서와, 제2 센서로이루어지는복수의센서쌍이그 표면에설치된센서용기판을적재부에적재하는공정과, 각제1 센서에의해, 상기센서용기판의표면을따라서설정된제1 직선방향에있어서의기류의벡터의데이터를취득하는공정과, 각제2 센서에의해, 센서용기판의표면을따르고, 또한상기제1 직선방향과는비스듬히설정된제2 직선방향에있어서의기류의벡터의데이터를취득하는공정과, 동일센서쌍을이루는제1 센서및 제2 센서에의해각각취득된기류의벡터를센서쌍마다미리설정된기점에기초하여합성하여, 각기점으로부터의풍향을연산하는공정을실시하고, 기판의면 내의풍향의분포를구한다.

2. 发明公开

KR1020170003963A 풍향계, 풍향 풍량계 및 이동 방향 측정계 审中-实审
标题翻译：风向指示器风向指示和流量计和运动方向表
公开(公告)号：KR1020170003963A
公开(公告)日：2017-01-10
申请号：KR1020167033972
申请日：2015-05-11
申请人： 가부시키가이샤 덴소
发明人： 하라다도시카즈 , 사카이다아츠시 , 다니구치도시히사
IPC分类号： G01P13/02
CPC分类号： G01P13/006 , G01P5/10 , G01P5/12 , G01P13/02
摘要： 풍향계(1)는이하의복수의센서(2)와제어부(3)를갖는다. 센서(2)는일면(2a)을갖고, 서로다른금속또는반도체로구성된제 1, 2 층간접속부재(21a, 21b)를갖는다. 또한, 제 1, 2 층간접속부재(21a, 21b)의각각의일단(21aa, 21ba)과타단(21ab, 21bb)에서온도차가발생했을때에전기적인출력을발생시키는열전변환소자(21)를구비한다. 그리고센서(2)는히터(22)에의하여온도가변화된주위의공기가바람에의해이동되어, 제 1, 2 층간접속부재(21a, 21b)의일단(21aa, 21ba)과타단(21ab, 21bb)에서온도차가발생했을때에전기적인출력을발생시킨다. 제어부(3)는이 출력의차이에기초하여바람의풍향을산출한다. 이때문에, 이풍향계(1)에서는미약한바람의풍향의검출이가능하게된다.
摘要翻译：风向计（1）具有以下多个传感器（2）和控制单元（3）。传感器（2）具有由不同的金属或半导体构成的第一表面（2a）和第一和第二层间连接构件（21a，21b）。此外，第一和第二层间连接构件（21a，21b）设置有热电转换元件（21），用于当第一端部（21aa，21ba）和第二端部（21ab，21bb）之间存在温度差时产生电力输出第一和第二层间连接构件（21a，21b）。另外，传感器（2）在具有被加热器（22）改变的温度的风周围的空气产生电力输出时，第一端（21aa，21ba）和第二端（21ab， 21bb）的第一和第二层间连接构件（21a，21b）。控制单元（3）基于该输出的差异来计算风向。因此，风向计（1）能够检测弱风的风向。

3. 发明公开

KR1020150091479A 기류 센서 审中-实审
标题翻译：气流传感器
公开(公告)号：KR1020150091479A
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：KR1020157015697
申请日：2013-11-21
申请人： 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
发明人： 나가토모노리아키 , 이나바히토시
IPC分类号： G01F1/692 , G01F1/684 , G01P5/12 , H01C1/014 , H01C7/04 , H01C17/065
CPC分类号： G01F1/692 , G01F1/684 , G01P5/12 , H01C1/014 , H01C7/042 , H01C17/06513
摘要： 측정 대상인 기체가 유통하는 풍로 내에 설치되는 측정용 감열 소자와, 풍로 내에 측정용 감열 소자를 지지하는 지지 기구를 구비하고, 측정용 감열 소자가, 절연성 필름과, 그 절연성 필름의 표면에 서미스터 재료로 형성된 박막 서미스터부와, 박막 서미스터부 위에 복수의 빗살부를 갖고 서로 대향하여 금속으로 패턴 형성된 한 쌍의 빗살형 전극과, 한 쌍의 빗살형 전극에 접속되어 절연성 필름의 표면에 패턴 형성된 한 쌍의 패턴 전극을 구비하고, 지지 기구가, 풍로 내의 기류의 방향에 대해 절연성 필름의 평면 방향을 평행하게 배치하고 있는 기류 센서를 제공한다.

4. 发明公开

KR1020100110214A 열유속 센서의 분해능을 측정하는 시스템 및 그 방법 有权
标题翻译：用于测量热通量传感器分辨力的系统和方法
公开(公告)号：KR1020100110214A
公开(公告)日：2010-10-12
申请号：KR1020090028679
申请日：2009-04-02
申请人： 광주과학기술원
发明人： 이선규 , 조성천 , 김정균 , 김규하
IPC分类号： G01P5/00 , H01L29/84 , H01L21/00
CPC分类号： G01P5/12 , G01F1/684 , H01L21/702 , H01L29/84
摘要： PURPOSE: A resolution measuring system of a heat flux sensor and a method thereof are provided to improve the measuring resolution of a heat flux sensor by reducing low frequency noise. CONSTITUTION: A current supplying unit(120) generates the current for heating a main heater. A frequency generator(150) outputs the reference signal of predetermined frequency. The reference signal is transferred to the heat flux sensor. A noise signal eliminating unit(130) removes the noise from the received signal using the reference signal.
摘要翻译：目的：提供一种热通量传感器的分辨率测量系统及其方法，通过降低低频噪声来提高热通量传感器的测量分辨率。构成：电流供应单元（120）产生用于加热主加热器的电流。频率发生器（150）输出预定频率的参考信号。参考信号被传送到热通量传感器。噪声信号消除单元（130）使用参考信号从接收信号中去除噪声。

5. 发明授权

KR1019920003950B1 개량된 저항소자를 가진 열선식 공기유량계 및 그 제조방법 失效
标题翻译：具有改进电阻元件的热线型气流计及其制造方法
公开(公告)号：KR1019920003950B1
公开(公告)日：1992-05-18
申请号：KR1019880008634
申请日：1988-07-12
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 , 히타치오토모티브엔지니어링 가부시키가이샤
发明人： 니시무라유타카 , 와타나베이즈미 , 요네다히로시 , 도쿠다히로아츠
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： H01C3/14 , G01F1/69 , G01P5/12
摘要： 내용 없음.

6. 发明授权

KR101895302B1 풍향계, 풍향 풍량계 및 이동 방향 측정계 有权
公开(公告)号：KR101895302B1
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：KR1020167033972
申请日：2015-05-11
申请人： 가부시키가이샤 덴소
发明人： 하라다도시카즈 , 사카이다아츠시 , 다니구치도시히사
IPC分类号： G01P13/02
CPC分类号： G01P13/006 , G01P5/10 , G01P5/12 , G01P13/02
摘要： 풍향계(1)는이하의복수의센서(2)와제어부(3)를갖는다. 센서(2)는일면(2a)을갖고, 서로다른금속또는반도체로구성된제 1, 2 층간접속부재(21a, 21b)를갖는다. 또한, 제 1, 2 층간접속부재(21a, 21b)의각각의일단(21aa, 21ba)과타단(21ab, 21bb)에서온도차가발생했을때에전기적인출력을발생시키는열전변환소자(21)를구비한다. 그리고센서(2)는히터(22)에의하여온도가변화된주위의공기가바람에의해이동되어, 제 1, 2 층간접속부재(21a, 21b)의일단(21aa, 21ba)과타단(21ab, 21bb)에서온도차가발생했을때에전기적인출력을발생시킨다. 제어부(3)는이 출력의차이에기초하여바람의풍향을산출한다. 이때문에, 이풍향계(1)에서는미약한바람의풍향의검출이가능하게된다.

7. 发明公开

KR1020060080669A 유량검출소자 및 냉각유로 구조를 갖는 유량측정장치 有权
标题翻译：具有冷却管线的流量传感器和感测装置
公开(公告)号：KR1020060080669A
公开(公告)日：2006-07-11
申请号：KR1020050001061
申请日：2005-01-06
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 박병규 , 이준식 , 오동욱
IPC分类号： G01F1/69
CPC分类号： G01F1/69 , G01P5/12
摘要： 본 발명은 열식 유량센서의 절연막 위에 배치한 저항선에서 각 저항선의 저항이 길이를 따라 선폭을 임의로 변하게 하여 저항이 가중함수로 변할 수 있게 하고, 이를 다중으로 배열하고, 응용조건에 따라 가열 저항체 또는 측온 저항체로서의 기능을 하는 저항선을 인터페이싱 커넥터에 의한 배선 조절로 선택하며, 벽면 온도특성의 영향을 줄여 정밀도 향상이 가능하도록 냉각유로 구조를 갖추며, 웨이퍼에 구현된 각각의 저항선 칩 위에 전기접촉이 불필요한 부분에 감광성 절연물질을 입히고 배선 결합한 후 다시 절연물질을 덧씌워 유량검출소자를 접속함으로써 유량센서의 응답성을 높이고 유량 측정범위를 넓히며 유속 또는 유량의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
유량센서, 유량검출소자, 지지체, 냉각유로, 유량측정장치.

8. 发明公开

KR1020010092290A 유량 및 유속 측정장치 无效
标题翻译：流量和流量测量装置
公开(公告)号：KR1020010092290A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：KR1020010012915
申请日：2001-03-13
申请人： 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤
发明人： 마에다순스코 , 고무라요시히코 , 고지마다키오 , 구즈야야스히사 , 스다마사노리 , 오시마다카후미
IPC分类号： G01F1/32
CPC分类号： G01F5/00 , G01F1/44 , G01F1/692 , G01D21/02 , G01P5/12
摘要： PURPOSE: To provide a flow rate and flowing velocity measuring apparatus, capable of stably and accurately measuring the flow rate and flowing velocity in both the forward flow and backward flow. CONSTITUTION: The flow rate and flowing velocity measuring apparatus comprises a measuring distributing tube 332, mounted perpendicularly to a suction tube 1 of an engine to be detected and introduced with a fluid flow in the tube 1, an inlet plate 334 extended in a direction perpendicular to a flowing direction in the tube 1 to form a U-shaped pipeline in the tube 332, and a detection element 331 disposed to be exposed with the fluid flow in the tube 332 out of the tube 1 to detect the flow rate and the flowing velocity. In this case, one end of the plate 334 is projected into the tube 1 through a top opening of the tube 332. The tube 332 has a symmetrical channel structure at the element 331 as a center. The element 331 obtains equivalent outputs, when the flow flows in both the forward flow and a backward flow directions in the tube 1.
摘要翻译：目的：提供流速和流速测量装置，能够稳定准确地测量正向流和逆流中的流量和流速。构成：流量和流速测量装置包括测量分配管332，其垂直于待检测的发动机的吸入管1安装并在管1中被引入流体流;入口板334，其在垂直方向上延伸在管1中的流动方向上，以在管332中形成U形管道，以及检测元件331，其设置成暴露于管332中的流体流出管1以检测流量和流动速度。在这种情况下，板334的一端通过管332的顶部开口突出到管1中。管332在元件331处具有对称的通道结构作为中心。元件331在管1中流向正向流动和向后流动方向时获得等效输出。

9. 发明公开

KR1020000022197A 시차 열선 기압계 无效
标题翻译：差分热线空气量规
公开(公告)号：KR1020000022197A
公开(公告)日：2000-04-25
申请号：KR1019980710615
申请日：1998-04-10
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 토마스티모씨엔 , 미로유진주니어
IPC分类号： G01B13/12
CPC分类号： G01B13/02 , G01B13/00 , G01F1/684 , G01F1/69 , G01P5/12
摘要： PURPOSE: A differential hot wire air gauge is provided for accurately measuring small distances using flow sensing in the photo lithograph for a semi conductive production. CONSTITUTION: A device and method for accurately measuring small distances using gas flow sensing. The gas flow sensing system for control a distance between probe and target surface, includes the two hot wires situated on two independent gas stream. The device has both a measurement and a reference gaging conduit, each including a hot-wire anemometer. The differential sensing achieved by use of the reference filters out changes in the gas property. The matched physical configuration of the reference and the measurement gas flow paths minimizes sensitivity of the system to acoustic disturbances. High-mass high thermal conductivity support needles significantly improve the response time for the hot-wires. A sintered metal diffuser in the gas flow path reduces the noise originating in the gas supply
摘要翻译：目的：提供差分热线空气量计，用于在半导体生产的光刻胶中使用流量感测精确测量小距离。构成：使用气体流量检测精确测量小距离的装置和方法。用于控制探头和目标表面之间距离的气流检测系统包括位于两个独立气流上的两根热丝。该装置具有测量和参考测量导管，每个管道包括热线风速计。通过使用参考滤波实现的差分传感器滤除气体性质的变化。参考和测量气体流路的匹配物理配置使系统对声学干扰的灵敏度最小化。高质量高导热性支撑针显着提高了热丝的响应时间。气体流路中的烧结金属扩散器减少了源自气体供应的噪声

10. 发明授权

KR1019960015068B1 브릿지 회로에서 동작되는 플로우 탐침을 갖는 회로 장치 失效
标题翻译：电路布置与电路启动的流程探头
公开(公告)号：KR1019960015068B1
公开(公告)日：1996-10-24
申请号：KR1019890701839
申请日：1988-12-13
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 요제프클라인한스
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01P5/12 , G01F1/6986 , G01R17/00
摘要： 내용없음.

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