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    • 3. 发明公开
    • 온도 센서
    • 温度传感器
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    • G01K7/22H01C7/04
    • G01K7/223G01K7/22H01C1/142H01C1/148H01C7/041
    • 외부배선으로부터의열 전도의영향을저감시킬수 있고, 또한굽힌경우에도크랙이잘 발생하지않고, 필름에비소성으로직접성막할수 있는서미스터재료층을가진온도센서를제공한다. 절연성필름 (2) 과, 절연성필름의표면에 TiAlN 의서미스터재료로형성된박막서미스터부 (3) 와, 박막서미스터부상에복수의빗부 (4a) 를갖고서로대향하여금속으로패턴형성된 1 쌍의빗형전극 (4) 과, 1 쌍의빗형전극에접속되고절연성필름의표면에패턴형성된 1 쌍의패턴전극 (5) 을구비하고, 패턴전극의적어도일부가도전성수지로형성되어있다.
    • Sikilsu减少传导的热效应从外部布线,并且还提供与不产生细裂纹的热敏电阻材料层的温度传感器,它直接在弯曲非点火即使当形成在薄膜上。 的绝缘膜(2)和,具有的TiAlN uiseo先生材料上的绝缘膜中,一个对的多个上彼此相对形成在金属梳状电极的图案的薄膜热敏电阻部bitbu(4a)的形成的薄膜的热敏电阻部3的表面 是4和,至少连接到一对电极的叉指式换能器的一部分上设置有图案电极5,一对形成在所述绝缘膜的表面上的图案,并且图案电极由导电性树脂形成。