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1. 发明公开

KR1020170114558A 투과형 엑스선 회절 분석시스템용 시료 지지장치 및 이를 이용한 투과형 엑스선 회절 분석시스템 有权
公开(公告)号：KR1020170114558A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：KR1020160041693
申请日：2016-04-05
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 정경윤 , 김동현 , 디키수산토 , 노재교 , 김수진 , 박재호 , 정훈기 , 장원영 , 조병원
IPC分类号： G01N23/20 , G01N25/28 , G01N21/3504
CPC分类号： G01N23/20008 , G01N21/3504 , G01N25/28
摘要： 투과형엑스선회절분석시스템용시료지지장치및 이를이용한투과형엑스선회절분석시스템이개시된다. 본발명의일 실시예에따른투과형엑스선회절분석시스템용시료지지장치는수평방향으로배치되는제1 지지프레임; 제1 지지프레임의상부에배치되어제1 지지프레임에의해지지되되, 단열기능을가지는본체부와본체부를관통하되시료가수용된쿼츠캐필러리(quartz capillary)가삽입되는쿼츠튜브(quartz tube)와쿼츠튜브와쿼츠캐필러리사이에배치되는히팅코일을구비하여시료를가열하고시료의열적평형상태를유지하게하는퍼니스; 및제1 지지프레임의양단부에각각착탈가능하게결합되되, 캐리어가스를공급하는가스공급관과쿼츠튜브의일단부를상호연통되게연결하고캐리어가스를배출하는가스배출관과쿼츠튜브의타단부를상호연통되게연결하는가스관연결부를포함한다.

2. 发明公开

KR1020170020732A 뮤온 단층촬영 검사에서의 1차 및 2차 스캐닝 审中-实审
标题翻译： 1 2 MUON TOMOGRAPHY检查中的主要和次要扫描
公开(公告)号：KR1020170020732A
公开(公告)日：2017-02-24
申请号：KR1020157007022
申请日：2013-08-21
申请人： 디시젼 사이언시스 인터내셔날 코퍼레이션
发明人： 소쏭,마이클,제임스 , 맥켄니,숀 , 왈렌,로버트 , 블란피에드,개리 , 레호비치,안드레 , 커나디,프리스킬라
IPC分类号： G01V5/00 , G01N23/04
CPC分类号： G01V5/0016 , G01N23/046 , G01N23/20008 , G01T1/167 , G01V5/0008
摘要： 모든물체들의초기스캐닝및 초기스캐닝에의해하나이상의의심스러운영역들을잠재적으로포함하는것으로결정되는물체들의부가스캐닝에기초하여물체들을검사하기위해우주선생성뮤온들을사용하는기법들및 시스템들이개시된다. 하나의구현예에서, 시스템은검사의원하는처리율을유지하면서물체들의효율적이고정확한검사를제공하기위해초기또는 1차스캐닝을수행하는 1차스캐너및 부가또는 2차스캐닝을위한보다작은 2차스캐너를포함할수 있다. 다른구현예에서, 검사중인물체들의줄의충분한처리율을유지하면서초기스캐닝과부가스캐닝둘 다를수행하기위해단일의스캐너가사용될수 있다.
摘要翻译：用于使用宇宙射线产生的μ子根据所有对象的初始扫描来检查对象的技术和系统，以及由初始扫描确定的对象的附加扫描可能包括一个或多个可疑区域。在一个实施方案中，系统可以包括用于执行初始扫描和主扫描的主扫描器和用于附加扫描或辅助扫描的较小二次扫描器，以提供对象的有效和准确的检查，同时保持检查的期望吞吐量。在另一实施方案中，可以使用单个扫描仪来执行初始扫描和附加扫描，同时保持检查对象线的足够的吞吐量。

3. 发明授权

KR101275532B1 표면 층을 갖는 샘플을 분석하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于分析具有表面层的样品的装置和方法
公开(公告)号：KR101275532B1
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：KR1020050083542
申请日：2005-09-08
申请人： 조르단 밸리 세미컨덕터즈 리미티드
发明人： 요킨보리스 , 마조르이삭 , 라파엘리짜치
IPC分类号： G01N23/20
CPC分类号： G01N23/20008
摘要： X-선의 컨버징 빔을 샘플의 표면을 향해 지향시키도록 된 방사선 소스를 포함하는 샘플을 분석하기 위한 장치가 개시되었다. 적어도 하나의 검출기 어레이는 엘리베이션 각도 범위에 대한 엘리베이션 각도의 함수로서 샘플로부터 스캐터링된 X-선을 동시에 감지하고 스캐터링된 X-선에 응답하여 출력신호를 발생시키도록 배치된다. 이 검출기 어레이는, 검출기 어레이가 스침각으로 샘플의 표면으로부터 반사된 X-선을 감지하는 제1구성과, 샘플의 브래그 각도 근방에서 표면으로부터 회절된 X-선을 감지하는 제2구성을 갖는다. 신호 처리기는 샘플의 표면층의 특성을 결정하기 위해 출력 신호를 처리한다.
방사선 소스, 반도체 웨이퍼, X-선 반사측정, X-선 회절분석

4. 实用新型

KR2020120005349U 전지의 엑스선 회절 측정용 인시추 셀 有权
标题翻译：用于电池X射线衍射测量的原位电池
公开(公告)号：KR2020120005349U
公开(公告)日：2012-07-24
申请号：KR2020110000384
申请日：2011-01-14
申请人： 전자부품연구원
发明人： 김점수 , 김영준 , 조우석
IPC分类号： G01N23/207 , G01N23/20 , G01T7/00
CPC分类号： G01N23/207 , G01N23/20008 , G01N2223/056 , H01M10/44 , H01M10/48 , Y02E60/12
摘要： 본 고안은 엑스선(X-ray) 회절 측정용 인시추 셀(in-situ cell)에 관한 것으로, 전지의 분해 없이 충방전을 행하면서 전극에 엑스선을 조사하여 얻어지는 회절 상을 이용하여 전극의 구조 변화를 측정하기 위한 것이다. 본 고안에 따르면, 전기 전도성을 갖는 설치판은 중심 부분에 판 상의 베릴리움 윈도우가 삽입되어 탑재되고, 베릴리움 윈도우 위에 전지가 삽입되어 탑재되는 삽입홈이 형성되어 있고, 삽입홈의 중심 부분에 엑스선이 입사될 수 있는 개방부가 형성되어 있다. 전기 전도성을 갖는 셀 몸체는 설치판의 상부에 결합되어 전지 외곽의 베릴리움 윈도우를 밀폐하며, 중심 부분에 전지가 노출되는 관통 구멍이 형성되어 있다. 링 형상의 절연성 고정 부재는 셀 몸체 상부의 관통 구멍에 일부가 삽입되어 탑재된다. 전기 전도성을 갖는 전지 고정 로드는 일부가 셀 몸체의 관통 구멍을 통하여 삽입되어 전지를 탄성적으로 눌러 고정하며, 셀 몸체의 관통 구멍을 통하여 삽입되는 부분은 절연성 고정 부재에 의해 셀 몸체의 관통 구멍 내주면에서 이격되게 설치된다. 그리고 고정 캡은 전지 고정 로드를 통하여 셀 몸체의 외측면에 체결되면서 절연성 고정 부재를 전지 고정 로드와 셀 몸체의 관통 구멍 사이로 밀어넣어 전지 고정 로드와 셀 몸체를 서로 밀폐되게 고정한다.
摘要翻译：本主题创新是透视（X射线）涉及一种衍射工时重量细胞（原位细胞），用于测量，而通过使用由照射X射线到在所述电极的电极结构的变化而获得的衍射图像执行没有电池的劣化的充电和放电它旨在衡量。根据本发明，具有导电性的安装板安装在中央部的板一个berilrium窗口被插入，并且被安装在所述插入孔berilrium电池插在一个窗口中形成，在X射线入射到插入槽的中央部开口形成。具有导电性的细胞体被接合到所述安装板的顶部，并密封所述电池berilrium外，在电池中形成的通孔的窗口在中央部分露出。环形绝缘固定构件部分地插入电池体上部的通孔中。具有导电性的细胞固定杆通过固定的细胞体的所述部分的所述通孔由弹性地挤压所述电池通过所述绝缘固定构件在细胞体内的孔插入并且一部分通过所述电池主体的所述通孔插入是内周面它被安装成从间隔开。和同时通过细胞固定杆有绝缘保持构件紧固到所述电池主体的外表面的固定帽固定到通过装有电池体的固定细胞的通孔被压入到闭孔和固定负载细胞体彼此。

5. 发明公开

KR1020170120182A 적응형 뉴슨스 필터 审中-实审
标题翻译：适应性Newson的过滤器
公开(公告)号：KR1020170120182A
公开(公告)日：2017-10-30
申请号：KR1020177027771
申请日：2016-03-03
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 리앙아디스 , 플리할마틴 , 바불나스라가브 , 벤카타라만산카르
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/88 , G01N23/20 , G01N21/01
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N23/20008 , G01N2021/8809 , G01N2201/061 , G01N2201/0683
摘要： 적응형뉴슨스필터를사용하여표본에대한검사결과들을생성하는방법및 시스템이제공된다. 하나의방법은이벤트들의다른부분의적어도하나의특징에대한값들보다뉴슨스필터의적어도하나의파라미터의적어도하나의값에더 가까운, 이벤트들의적어도하나의특징에대한값들을갖는표본의검사동안에검출된이벤트들의부분을선택하는단계를포함한다. 본방법은또한이벤트들의샘플에대한출력획득서브시스템의출력을획득하는단계, 획득된출력에기초하여샘플내의이벤트들을분류하는단계, 및분류의결과들에기초하여뉴슨스필터의하나이상의파라미터들이수정되어야하는지를결정하는단계를포함한다. 그런후, 뉴슨스필터또는수정된뉴슨스필터는표본의검사의결과들에적용되어표본의최종적인검사결과들이생성될수 있다.
摘要翻译：提供了一种使用自适应标准滤波器产生样本测试结果的方法和系统。一种方法是具有用于越近，所述事件中的所述至少一个特征的值的所述样品的测试期间比对事件的不同部分的至少一个特征的值的新CL滤波器的至少一个参数的至少一个值并选择一部分检测到的事件。该方法还包括获得所述输出采集子系统的输出的情况下，所获得的输出，并且基于分类结果有新的CL滤波器的一个或多个参数的一个样本的基础上，在样品中的事件进行分类并确定是否应该修改。 Newson过滤器或修改后的Newson过滤器可应用于检查样本的结果以产生样本的最终检查结果。

6. 发明公开

KR1020170077227A 반도체 기판 및 반도체 기판의 검사 방법 审中-实审
标题翻译：检查半导体衬底和半导体衬底的方法
公开(公告)号：KR1020170077227A
公开(公告)日：2017-07-05
申请号：KR1020177014968
申请日：2015-11-06
申请人： 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
发明人： 야마다,히사시 , 야마모토,다이키 , 가사하라,겐지
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/66
CPC分类号： H01L29/2003 , G01N23/20008 , G01N2223/6116 , H01L21/02381 , H01L21/02458 , H01L21/02505 , H01L21/0254 , H01L21/02579 , H01L23/562 , H01L29/7787 , H01L21/02527 , H01L22/12
摘要： Si 기판상에에피택셜성장법을사용하여 III족질화물반도체층을형성하는경우에있어서, 당해 III족질화물반도체층에요구되는내전압등의특성을충족하고, 또한시트저항등 물성값의면내균일성을확보하면서, 휨량이작은반도체기판을제공한다. 실리콘기판상의질화물결정층이, 실리콘원자와 III족원자의반응을억제하는반응억제층과, 압축응력을발생하는응력발생층과, 전자소자가형성되는활성층을갖고, 반응억제층, 응력발생층및 활성층이실리콘기판의측으로부터, 반응억제층, 응력발생층, 활성층의순서대로배치되고, 응력발생층이, 벌크결정상태에있어서의격자상수가 a1인제1 결정층과, 제1 결정층의활성층측에접하여위치하고, 벌크결정상태에있어서의격자상수가 a2(a1
摘要翻译：根据该III族中形成氮化物半导体层的情况下在Si基板上利用外延生长方法，III族的技术满足电动强度等的氮化物半导体层所需的特性，并且进一步的物理性质的面内均匀性如片电阻提供具有少量翘曲的半导体衬底。硅衬底上的氮化物晶体层具有用于抑制硅原子与III族原子之间的反应的反应抑制层，用于产生压缩应力的应力产生层和用于形成电子元件的有源层，和有源层被设置，以便从硅衬底的一侧上，该反应抑制层，应力产生层，有源层，应力产生层，块状晶体的状态的晶格常数的顺序A1摄取第一晶体层，第一结晶层并且在与有源层侧接触的块状晶体状态中具有晶格常数a2（a1

7. 发明公开

KR1020160076109A 전류유도 방식의 입자 검출센서 및 측정방법 有权
标题翻译：电流感应式粒子检测传感器和测量方法
公开(公告)号：KR1020160076109A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140185862
申请日：2014-12-22
申请人： 주식회사 현대케피코
发明人： 조성은 , 고양주 , 김정택 , 박헌준 , 이대건 , 정윤기
IPC分类号： G01N27/72 , G01N15/06 , G01N15/02 , F01N11/00
CPC分类号： Y02T10/47 , G01N27/72 , F01N11/00 , G01N15/02 , G01N15/06 , G01N23/20008
摘要： 본발명은자동차배기가스내 함유된매연과같은입자를검출하는센서에관한것으로서, 구체적으로배기가스와접촉하는평판형전극과맴돌이전류를유도하도록이격배치된자기장유도전극을구비하여입자가축적됨에따라변하는소비전력을측정하여입자의농도를측정하는센서에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于具有磁场感应电极间隔开，以引导所述板状电极和与排气颗粒积聚在涡流接触检测颗粒，例如包含在汽车废气，尤其是传感器还有一种传感器，用于通过测量随温度变化的功耗来测量颗粒浓度。

8. 发明公开

KR1020160014576A 고 에너지에서의 X-선 위상 콘트라스트 이미징 및 CT를 위한 넓은 시야 격자 간섭계 审中-实审
标题翻译：用于X射线相位成像和大功率CT的大视场光栅干涉仪
公开(公告)号：KR1020160014576A
公开(公告)日：2016-02-11
申请号：KR1020157025056
申请日：2014-04-09
申请人： 더 존스 홉킨스 유니버시티
发明人： 스터트맨,댄 , 핀켄탈,마이클
IPC分类号： A61B6/00 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/207
CPC分类号： A61B6/484 , A61B6/4035 , G01N23/046 , G01N23/20008 , G01N23/20075 , G01N23/207 , G01N2015/1454 , G01N2021/4186 , G01N2223/419 , G02B5/1814 , G02B5/1819 , G02B5/1838 , G02B5/1842 , G02B5/1871 , G02B6/02085 , G06K9/2036 , G21K2207/005
摘要： 본개시의디바이스및 방법은매우높은 X-선에너지까지의넓은시야탤버트-라우위상콘트라스트 CT 시스템을제공한다. 상기디바이스는단일기판상에타일링되고글랜싱입사로기울어진마이크로간격의격자들을포함하여, 넓은시야위상콘트라스트 CT 시스템을제공한다. 본개시는큰 물체에대해위상-콘트라스트단층촬영(PC-CT)을실행할수 있는, 다수의 GAI들을넓은 FOV 시스템에결합하기위한간단하고경제적이며정확한방법이다. 상기디바이스및 방법은의료 X-선이미징, 산업적비파괴검사, 및보안스크리닝에적용될수 있다.

9. 发明公开

KR20180035710A Ｘ 선 나이프 에지의 폐루프 제어 审中-公开
标题翻译： XRAY刀刃的闭环控制
公开(公告)号：KR20180035710A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：KR20170125963
申请日：2017-09-28
IPC分类号： G01T1/36 , G01B11/02 , G01B11/14 , G01N23/02
CPC分类号： G01N23/20091 , G01N23/20008 , G01S17/08
摘要： X 선스케터로메트리장치는샘플의표면영역에그레이징각도로입사되도록 X 선빔을지향시키는 X 선소스를포함하고, X 선검출기는상기영역으로부터산란된 X 선을측정한다. 나이프에지는상기표면과상기나이프에지사이에갭을정의하고상기갭을통과하지않는 X 선빔의부분을차단하도록상기영역에인접한위치에서상기샘플의상기표면에평행하게배열된다. 모터는상기갭의크기를제어하기위해상기나이프에지를상기표면에수직으로이동시킨다. 광학거리측정기는상기표면으로부터반사된광학방사선을수신하고상기표면으로부터의상기나이프에지의거리를나타내는신호를출력한다. 제어회로는상기갭의크기를조절하기위해상기신호에응답하여상기모터를구동시킨다.
摘要翻译：用于X射线散射测量的装置包括X射线源，其引导X射线束以掠射角入射到样本表面的区域上，并且X射线探测器测量从X射线散射的X射线区。在与该区域相邻的位置处平行于样本的表面布置刀刃，以在表面和刀刃之间限定间隙并且阻挡未穿过间隙的X射线束的一部分。马达使刀刃垂直于表面移动以控制间隙的尺寸。光学测距仪接收从表面反射的光辐射并输出指示刀刃距表面的距离的信号。控制电路响应信号驱动电机，以调节间隙的大小。

10. 发明公开

KR1020170016374A X선 회절장치 审中-实审
标题翻译： X X射线衍射仪
公开(公告)号：KR1020170016374A
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020167035839
申请日：2015-01-14
申请人： 가부시키가이샤 리가쿠
发明人： 오사카베다케시 , 오자와데쓰야 , 오모테가즈히코 , 지앙리사이 , 버먼보리스 , 플라토노브유리
IPC分类号： G01N23/207 , G21K1/06 , G02B5/08
CPC分类号： G01N23/20008 , G01N23/205 , G01N23/207 , G01N2223/056 , G02B5/0816 , G21K1/06
摘要： 시료(S)로부터회절된집광 X선(2)을, 브래그의조건에기초하여특정파장의 X선만을모노크로메이터(60)에서반사시키고, 또한수광슬릿(30)을통과시켜, X선검출기(20)에의해검출한다. 모노크로메이터(60)는탈착가능하게하고, 시료(S)로부터의집광 X선(2)을그대로수렴시켰을때의집광점(2a)과상기시료(S)와의사이에배치한다. 이때, 모노크로메이터(60)는, 상기집광점(2a)에가능한한 접근시킨다. 또, 모노크로메이터(60)는, 내부의격자면간격이일단으로부터타단에걸쳐연속적으로변화된다층막미러로구성된다.
摘要翻译：仅从采样S衍射的聚焦X射线2中的特定波长的X射线基于布拉格条件从单色仪60反射，穿过接收狭缝30并由X射线检测器20检测。单色仪 60被配置为可自由地移除，并且布置在样本S和从样本S衍射的聚焦X射线2直接聚焦的焦点2a之间。此时，单色器60尽可能接近接近焦点2a。单色器60包括具有从一端到另一端连续变化的内部晶面间距的多层反射镜。

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