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1. 发明公开

KR1020060084852A 표면 3각 측량 및 박막 코팅을 통한 프로파일링 无效
标题翻译：通过薄膜涂层的表面三角形和轮廓
公开(公告)号：KR1020060084852A
公开(公告)日：2006-07-25
申请号：KR1020067005257
申请日：2004-09-15
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 디레가사이비어콜로나 , 드그루트피터제이. , 쿠첼마이클
IPC分类号： G03F7/20 , G01B9/02 , G03F7/00
CPC分类号： G03F7/70491 , G01B9/02019 , G01B9/02022 , G01B9/02084 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B2290/30 , G01B2290/70 , G03F7/70608 , G03F7/70641 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , G03F9/7049 , G03F9/7088
摘要： An apparatus for positioning an object having a substrate and an overlying film and a portion of a photolithography apparatus relative to one another includes a photolithography apparatus relative to one another includes a photolithography system, a positioner, an optical system, and a processor. The photolithography system is configured to illuminate a portion of an object with an first light pattern and includes a reference surface. The positioner can change a relative position between the photolithography system and the object. The light projector is configured to project a second light pattern on the overlying thin film of the object. The optical system images light of the second light pattern that is diffusely scattered by the substrate. The processor is configured to determine a spatial property of the object based on the diffusely scatterd light and operate the positioner to change the relative position between the photolitography system and the object.
摘要翻译：一种用于定位具有基板和上覆膜的对象的设备以及光刻设备的一部分相对于彼此包括的光刻设备包括光刻系统，定位器，光学系统和处理器。光刻系统被配置为用第一光图案照亮物体的一部分并且包括参考表面。定位器可以改变光刻系统和物体之间的相对位置。光投影仪被配置为将第二光图案投影在物体的上覆薄膜上。光学系统对由基板漫反射散射的第二光图案的光进行成像。处理器被配置为基于漫散射的光来确定对象的空间属性，并且操作定位器以改变光学照相系统和对象之间的相对位置。

2. 发明公开

KR1020000022191A 회절 격자를 사용하는 간섭계용 프린지 패턴판별기 无效
标题翻译：使用衍射光栅的干涉仪的FRINGE模式识别器
公开(公告)号：KR1020000022191A
公开(公告)日：2000-04-25
申请号：KR1019980710609
申请日：1997-06-26
申请人： 트로펠 코포레이션
发明人： 트로놀론마크제이. , 플레이그존에프.
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02083 , G01B9/0207 , G01B2290/30
摘要： PURPOSE: A fringe pattern discriminator for interferometer using diffraction gratings is provided to analyze the interferogram produced in the interferometer using a pair of diffraction grating, which separate and reunite both test beam and reference beam for measurement the surface of object. CONSTITUTION: The interferometer separates reference and test beams which can measure the total surface of object arranged between diffraction gratings. The positive order beam, negative order beam, zero order beam passing gratings are generated by the composition of gratings and object surface. An object fringe pattern is distinguished from other fringe patterns in an interferogram produced by an interferometer using a pair of diffraction gratings for separating and recombining test and reference beams. The object on which a test beam is incident is moved in X and Y directions in a plane perpendicular to an optical axis of the interferometer to change the brightness regions of the object fringe pattern. A computer identifies pixels whose irradiance changes in response to object movement, and then only irradiance data from the identified pixels is used in analyzing the interferogram to produce a measurement of a surface of the object.
摘要翻译：目的：提供使用衍射光栅的干涉仪的条纹图案鉴别器，用于分析干涉仪中产生的干涉图，使用一对衍射光栅，该对衍射光栅将测试光束和参考光束分离并重聚用于测量物体表面。构成：干涉仪可以分离可以测量衍射光栅之间布置的物体的总表面的参考和测试光束。正阶光束，负光束，零阶光束通过光栅由光栅和物体表面的组成产生。使用一对用于分离和重组测试和参考光束的衍射光栅由干涉仪产生的干涉图中的目标条纹图案与其他条纹图案区分开。测试光束入射的物体在垂直于干涉仪的光轴的平面中在X和Y方向上移动，以改变物体条纹图案的亮度区域。计算机识别响应于物体移动的辐照度变化的像素，然后仅使用来自识别的像素的辐照度数据来分析干涉图以产生物体表面的测量。

3. 发明公开

KR1020000005525A OBJECT FIXTURING INTERFEROMETER 无效
标题翻译：对象隔离干扰仪
公开(公告)号：KR1020000005525A
公开(公告)日：2000-01-25
申请号：KR1019980708320
申请日：1997-04-11
申请人： 트로펠 코포레이션
发明人： 플래튼제임스이. , 호딘리차드에스.
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02022 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02049 , G01B2290/30
摘要： PURPOSE: An object fixturing in interferometer is provided to improve accuracy of positioning establishment and to let the object situated in interferometer of the same measured position. CONSTITUTION: The object fixturing system applied to an interferometer which has a pair of diffraction gratings arranged to produce and recombine test and reference beams. The object positions between diffraction gratings so that a test beam is incident on a surface of the object at a grazing incidence angle. The object platform which is arranged movably between diffraction grainings has the window supporting object and transmitting a test beam. The fixture is then removed for a simultaneous measurement of an entire surface of the object, which can be clamped in place if necessary by a clamping window that also transmits the test and reference beams.
摘要翻译：目的：提供干涉仪中固定的物体，以提高定位建立的准确性，并使位于干涉仪中的物体处于相同的测量位置。构成：应用于干涉仪的物体固定系统，其具有布置成产生和重组测试和参考光束的一对衍射光栅。衍射光栅之间的物体位置，使得测试光束以掠入射角入射到物体的表面上。在衍射纹理之间可移动地布置的物体平台具有窗口支撑物体并且传输测试光束。然后移除夹具以同时测量物体的整个表面，如果需要，夹具可以通过夹持窗口夹紧就位，该夹紧窗口也传输测试和参考光束。

4. 发明授权

KR101295207B1 표면에 대한 간섭 측정의 분석 有权
标题翻译：表面的平均分析
公开(公告)号：KR101295207B1
公开(公告)日：2013-08-09
申请号：KR1020127005506
申请日：2004-09-15
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드그루트피터제이.
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/45
CPC分类号： G03F7/70491 , G01B9/02019 , G01B9/02022 , G01B9/02084 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B2290/30 , G01B2290/70 , G03F7/70608 , G03F7/70641 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , G03F9/7049 , G03F9/7088
摘要： 대상물의 공간 특성을 결정하는 방법은 2 이상의 접경을 포함하는 측정 대상물로부터 스캐닝 저 코히어런스 간섭 신호를 획득하는 단계를 포함한다. 상기 스캐닝 저 코히어런스 간섭 신호는 각각의 접경으로부터 각각 생기는 2 이상의 중첩 저 코히어런스 간섭 신호를 포함한다. 상기 저 코히어런스 간섭 신호에 근거하여, 상기 접경들 중 적어도 하나의 공간 특성을 결정한다. 일부의 경우, 상기 결정은 상기 신호의 전체보다는 상기 저 코히어런스 간섭 신호의 서브세트에 근거한다. 대안으로 또는 부가해서, 상기 결정은 템플릿에 근거할 수 있는데, 이 템플릿은 상기 저 코히어런스 간섭 신호를 획득하는데 사용되는 간섭계의 측정 응답을 나타낸다.

5. 发明授权

KR100225923B1 이상 회절 간섭계 失效
标题翻译：相移差分干涉仪
公开(公告)号：KR100225923B1
公开(公告)日：1999-10-15
申请号：KR1019970703617
申请日：1995-11-21
申请人： 더 리전트 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아
发明人： 개리이.섬마아그렌
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/255 , G01B9/02012 , G01B9/02039 , G01B11/2441 , G01B2290/30 , G01B2290/70 , G01J9/02
摘要： 광원(12)으로부터의 선형 편광빔(10)이 중성필터(14)를 통과하는 간섭계 시스템. 이 빔(10)은 다음, 두 직교편광 빔을 발생하는 반파 지연판(16)을 통과한다. 상기 반파 지연판(16)의 각도 배향은 수직 및 수평 편광 성분간의 상대 강도를 조정하기 위해 사용된다. 이 편광 빔은 다음, 편광 빔스플플리터(22)에 의해 분할된다. 다음, 전송 빔(20)은 편광 빔스플리터(22)를 통해 회전 미러(26)으로 고정 재귀반사기에 의해 반사된다. 이 반사된 빔(18)은 다른 빔과 평행하지만 그로부터 횡변위되지 않도록 압전 트랜슬레이터(30)에 장착된 재귀반사기에 의해 반사되어, 빔스플리트(22)를 통해 미러로 진행된다. 이는 발산되어 개구(42)에 의해 회절된 기준 빔(48)과 일치된다. 측정 빔(46)과 기준 빔(48)은 간섭하여, 광학계(50)와 완전한 구형 파두간의 광결로 차의 윤곽 맵을 나타내는 프린지 패턴을 발생시킨다.

6. 发明公开

KR1020160043108A 양측면 측정 성능을 갖는 스침-입사 간섭계 审中-实审
标题翻译：具有双侧测量能力的雷击干扰仪
公开(公告)号：KR1020160043108A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：KR1020167006977
申请日：2014-08-14
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 콥,조슈아몬로에 , 던,토마스제임스 , 프랑코비치,존웨스턴
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/02022 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02041 , G01B9/02072 , G01B11/06 , G01B2290/30
摘要： 스침-입사간섭계는사이에통상의평면대상이있는공간이격된제1 및제2회절광학소자를포함한다. 제1회절광학소자는스침-입사각으로대상의대향하는제1 및제2표면으로부터반사되는전단된 1차회절광 빔을형성하고, 반면 0차회절광 빔은반사되지않는다. 제2회절광학소자는시준된결합광 빔을형성하기위해비반사의 0차회절광 빔과전단된반사광 빔을결합한다. 1X 더블-텔레센트릭릴레이시스템은이미지평면에위치된확산스크린상에제1 및제2간섭이미지를형성하는폴딩광학시스템에결합된광 빔을릴레이한다. 제1 및제2간섭이미지의디지털이미지가얻어지고대상의두께변화를특징화하도록처리된다.
摘要翻译：放射入射干涉仪包括第一和第二间隔开的衍射光学元件，其间设置有大致平面的物体。第一衍射光学元件形成剪切的第一衍射级光束，其以掠射入射角从物体的相对的第一和第二表面反射，而零衍射光束不被反射。第二衍射光学元件组合未反射的零衍射光束和剪切的反射光束以形成准直的组合光束。 1X双心中继系统将组合的光束中继到折叠光学系统，其在位于图像平面的漫射屏上形成第一和第二干涉图像。获得并处理第一和第二干涉图像的数字图像以表征物体的厚度变化。

7. 发明公开

KR1020070008126A 실시간 광간섭계에 사용하기 위한 공간위상천이장치 失效
标题翻译：用于实时光学干涉的空间相移
公开(公告)号：KR1020070008126A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：KR1020050063110
申请日：2005-07-13
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김학용
IPC分类号： G02B27/00
CPC分类号： G01B9/0207 , G01B9/0201 , G01B2290/30 , G02B6/04
摘要： A spatial phase shifter for a real-time optical interferometer is provided to measure interference in real time by making phase-shifted interference patterns identical and to improve utility by applying the phase shifter for all interferometers. A spatial phase shifter for obtaining plural interference patterns, which are phase-shifted by 90 degrees, includes an optical path compensation block for matching optical paths of corresponding emitted lights to obtain plural interference patterns; and a distortion preventing block(500) for restricting image distortion of the interference pattern by equalizing the ends of the emitted lights output from the optical path compensation block. The optical path compensation block is a glass block with a refractive index equal to the refractive index of a medium positioned in the optical path.
摘要翻译：提供了一种用于实时光干涉仪的空间移相器，通过使相移干涉图案相同而实时测量干涉，并通过应用所有干涉仪的移相器来提高效用。用于获得90度相移的多个干涉图案的空间移相器包括用于匹配相应发射光的光路以获得多个干涉图案的光路补偿块; 以及通过均衡从光路补偿块输出的发射光的端部来限制干涉图案的图像失真的失真防止块（500）。光路补偿块是折射率等于位于光路中的介质的折射率的玻璃块。

8. 发明公开

KR1020050099218A 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계 失效
标题翻译：使用相位移动的光学测量装置
公开(公告)号：KR1020050099218A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020040024446
申请日：2004-04-09
申请人： 학교법인연세대학교
发明人： 유장훈 , 임상엽 , 박승한
IPC分类号： G01N21/45 , B82Y35/00
CPC分类号： G01N21/45 , G01B9/02007 , G01B2290/30 , G02B21/002
摘要： 위상 천이를 이용한 광학 측정 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 광학 측정 장치는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.

9. 发明公开

KR1020040001098A 위상천이 회절격자 간섭계와 그 측정방법 失效
标题翻译：相变过渡光栅干涉仪及其测量方法
公开(公告)号：KR1020040001098A
公开(公告)日：2004-01-07
申请号：KR1020020036183
申请日：2002-06-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 황태준
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B2290/35
摘要： PURPOSE: A phase transition diffraction grating interferometer and a measuring method thereof are provided to measure an object by adopting an interference pattern obtained from an optical system to a phase transition algorithm. CONSTITUTION: A light source(43) radiates light through a lens(53) and an aperture(63). A lens(73) makes parallel light and lens(83) allows parallel light to be focused on a reflective diffraction grating(103). Light incident into the reflective diffraction grating(103) is split into several parts. One of them is reference light(233) and other light(223) forwards to an object to be measured. Light passing through a lens(113) and an iris(123) forms an image on an image obtaining device(23). The image obtaining device(23) includes a CCD camera. A CPU(13) controls a phase transition driver so as to allow the phase transition to apply a signal to a phase transition generator(153).
摘要翻译：目的：提供一种相变衍射光栅干涉仪及其测量方法，通过采用从光学系统获得的干涉图案到相变算法来测量物体。构成：光源（43）通过透镜（53）和光圈（63）辐射光。透镜（73）使得平行光和透镜（83）允许平行光聚焦在反射衍射光栅（103）上。入射到反射衍射光栅（103）中的光被分成若干部分。其中一个是参考光（233）和其他光（223）转发到要测量的对象。通过透镜（113）和光圈（123）的光在图像获取装置（23）上形成图像。图像获取装置（23）包括CCD照相机。 CPU（13）控制相变驱动器，以允许相变将信号施加到相变发生器（153）。

10. 发明授权

KR101746353B1 공통 광경로식 광섬유기반 핸드 헬드 병렬 광간섭 단층 촬영 장치 有权
标题翻译：常见的基于光纤的手持并行光学相干断层扫描系统
公开(公告)号：KR101746353B1
公开(公告)日：2017-06-12
申请号：KR1020160148708
申请日：2016-11-09
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 이계승 , 김건희 , 허환 , 김이종 , 장기수
IPC分类号： G01B9/02 , A61B5/00 , G02B13/00 , G02B26/10 , G02B27/30
CPC分类号： G01B9/02091 , G01B9/02007 , G01B9/02023 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B2290/30 , A61B5/0066 , G02B13/0095 , G02B26/105 , G02B27/30
摘要： 일실시예의공통광경로식광섬유기반핸드헬드병렬광간섭단층촬영장치는적외선을포함하는광을방출하는광대역광원, 상기광대역광원으로부터광을입력받아측정대상을비추고, 손으로파지할수 있는프로브, 상기프로브로부터출력된광을입력받고, 입력된광의파장을분석하는분광기, 상기분광기에서분석한광의파장을패스트푸리에변환을함으로써, 상기측정대상의단층이미지를생성하는연산처리부, 상기광대역광원, 상기프로브및 상기디텍터사이에서이동하는광의경로및 비율을조절하는광섬유서큘레이터, 상기광대역광원과상기광섬유서큘레이터사이에연결되고, 유연한소재로형성되는제 1 광섬유케이블, 상기프로브와상기광섬유서큘레이터사이에연결되고, 유연한소재로형성되는제 2 광섬유케이블및 상기분광기와상기광섬유서큘레이터사이에연결되고, 유연한소재로형성되는제 3 광섬유케이블을포함할수 있다.
摘要翻译：基于纤维公共光路型手持式并行的光学相干断层扫描，用于从宽带光源接收光的一个实施例中，用于发射光，包括设定值的宽带光源是红外光将被测量的对象，探针可通过手柄中，探针从输入到输出的光接收，分析该输入光的波长光谱，由快速傅立叶光谱仪分析汉王的波长变换，用于产生对象的断层图像的运算处理进行测量时，所述宽带光源，探头和连接的光纤环行器，所述宽带光源来控制光路中，并且所述检测器和所述光纤循环器存在之间移动的比率，由柔性材料形成之间的第一光纤电缆，连接在所述探头和光纤循环器之间由柔性材料形成的第二光缆和连接在分光镜和光纤环行器之间的第二光缆以及由柔性材料形成的第三光缆。

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