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1. 发明公开

KR1020100111908A 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계 有权
标题翻译：使用高速摄像机和连续相位扫描方法的VIRATION-INSENSITIVE INTERFEROMETER
公开(公告)号：KR1020100111908A
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020090030379
申请日：2009-04-08
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 박정재
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/25 , G02B5/00
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02076 , G01B9/02084 , G01B2290/35 , G01B2290/70
摘要： PURPOSE: A vibration-insensitive interferometer using a high-speed camera and a continuous phase scanning method is provided to enable direct detection of vibration components which may generate in general weather measurement environment. CONSTITUTION: A vibration-insensitive interferometer comprises a light source(100), a light transmission part(200), a continuous phase scanning part(300), and a high speed camera(400). The light transmission part irradiates the light coming out from the light source to a measurement object, and creates an interference pattern by splitting the light reflected off the object into a reference beam and a measurement beam and making them interfere. The continuous phase scanning part scans the reference beam split by the light transmission part with a continuous phase scanning method. The high speed camera acquires the interference pattern created by the measurement beam irradiated by the light transmission part and the reference beam irradiated by the continuous phase scanning part.
摘要翻译：目的：提供使用高速摄像机和连续相位扫描方法的无振动干涉仪，以便直接检测在一般气象测量环境中可能产生的振动成分。构成：无振动干涉仪包括光源（100），光透射部分（200），连续相位扫描部分（300）和高速相机（400）。光传输部分将从光源出射的光照射到测量对象，并通过将从物体反射的光分成参考光束和测量光束并使其干涉而产生干涉图案。连续相位扫描部以连续相位扫描法扫描由透光部分分割的参照光束。高速摄像机获取由透光部照射的测量光和由连续相位扫描部照射的基准光束产生的干涉图。

2. 发明公开

KR1020090106096A 3차원 형상의 고속 형상측정장치 및 방법 有权
标题翻译：用于三维物体快速测量的方法和装置
公开(公告)号：KR1020090106096A
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：KR1020080031602
申请日：2008-04-04
申请人： 선문대학교 산학협력단
发明人： 고국원 , 권영철
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/0209 , G01B2290/35
摘要： PURPOSE: A three dimensional high speed measuring apparatus and a method thereof for measuring the form are provided to reduce an error according to a time by obtaining interference pattern and an image in a desired place. CONSTITUTION: A three dimensional high speed measuring apparatus and a method thereof for measuring the form include an optical source unit(100), a reference mirror, a driver, an image pickup device, and a controller. The optical source section emits the light to office. The reference mirror reflects the light split at the reference beam. The driver operates and moves the reference mirror. The image pickup device obtains the dark fringe of the plural number and interferes the reflection light and the reference beam reflected through the object.
摘要翻译：目的：提供用于测量形式的三维高速测量装置及其方法，以通过获得干涉图案和期望位置的图像来根据时间来减少误差。构成：用于测量形式的三维高速测量装置及其方法包括光源单元（100），参考镜，驱动器，图像拾取装置和控制器。光源部分将光发射到办公室。参考镜反射在参考光束处的光分离。驾驶员操作和移动参考镜。图像拾取装置获得多个黑暗条纹并且干涉反射光和通过物体反射的参考光束。

3. 发明公开

KR1020110088368A 광 간섭 계측 방법 및 광 간섭 계측 장치 有权
标题翻译：光学干涉测量方法和光学干涉测量装置
公开(公告)号：KR1020110088368A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020100134184
申请日：2010-12-24
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 카베타니야스히로 , 후루타토모타카 , 하마노세이지 , 스가타후미오
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/17
CPC分类号： G01B9/02078 , G01B9/02004 , G01B9/02084 , G01B9/02091 , G01B11/2441 , G01B2290/35
摘要： PURPOSE: An optical interference measuring method and apparatus are provided to create interference light through interference between reflected light and reference light and measure an object using the interference light. CONSTITUTION: An optical interference measuring apparatus comprises a light source unit(2) which emits light, an optical splitter which divides the light emitted from the light source unit into measurement light and reference light, an interference light detector which detects interference light in which the measurement light reflected or scattered from an object(11) and the reference light are interfered, an optical path length adjusting mechanism(13) which is installed in the optical path of the reference light, and an operation control unit(3) which determines whether the image formed by the interference light is a normal image or an inverted image base on the change of the interference light.
摘要翻译：目的：提供光干涉测量方法和装置，通过反射光和参考光之间的干涉产生干涉光，并使用干涉光测量物体。构成：光干涉测量装置包括发光的光源单元（2），将从光源单元发射的光分成测量光和参考光的分光器，检测干涉光的干涉光检测器，从物体（11）反射或散射的测量光和参考光被干扰，安装在参考光的光路中的光程长度调节机构（13）和操作控制单元（3），其确定是否由干涉光形成的图像是基于干涉光的变化的正常图像或反转图像。

4. 发明公开

KR1020040001098A 위상천이 회절격자 간섭계와 그 측정방법 失效
标题翻译：相变过渡光栅干涉仪及其测量方法
公开(公告)号：KR1020040001098A
公开(公告)日：2004-01-07
申请号：KR1020020036183
申请日：2002-06-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 황태준
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B2290/35
摘要： PURPOSE: A phase transition diffraction grating interferometer and a measuring method thereof are provided to measure an object by adopting an interference pattern obtained from an optical system to a phase transition algorithm. CONSTITUTION: A light source(43) radiates light through a lens(53) and an aperture(63). A lens(73) makes parallel light and lens(83) allows parallel light to be focused on a reflective diffraction grating(103). Light incident into the reflective diffraction grating(103) is split into several parts. One of them is reference light(233) and other light(223) forwards to an object to be measured. Light passing through a lens(113) and an iris(123) forms an image on an image obtaining device(23). The image obtaining device(23) includes a CCD camera. A CPU(13) controls a phase transition driver so as to allow the phase transition to apply a signal to a phase transition generator(153).
摘要翻译：目的：提供一种相变衍射光栅干涉仪及其测量方法，通过采用从光学系统获得的干涉图案到相变算法来测量物体。构成：光源（43）通过透镜（53）和光圈（63）辐射光。透镜（73）使得平行光和透镜（83）允许平行光聚焦在反射衍射光栅（103）上。入射到反射衍射光栅（103）中的光被分成若干部分。其中一个是参考光（233）和其他光（223）转发到要测量的对象。通过透镜（113）和光圈（123）的光在图像获取装置（23）上形成图像。图像获取装置（23）包括CCD照相机。 CPU（13）控制相变驱动器，以允许相变将信号施加到相变发生器（153）。

5. 发明授权

KR101264671B1 광 간섭 계측 방법 및 광 간섭 계측 장치 有权
标题翻译：光学干涉测量方法和光学干涉测量装置
公开(公告)号：KR101264671B1
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：KR1020100134184
申请日：2010-12-24
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 카베타니야스히로 , 후루타토모타카 , 하마노세이지 , 스가타후미오
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/17
CPC分类号： G01B9/02078 , G01B9/02004 , G01B9/02084 , G01B9/02091 , G01B11/2441 , G01B2290/35
摘要： 본발명에의한광 간섭계측방법은광원유닛으로부터출사된광을측정광과참조광으로분할하고, 상기참조광과상기측정광이조사된측정대상으로부터반사또는후방산란된광이간섭한간섭광을검출하고, 상기참조광의광로에설치된광로길이가변기구를구동시켜서상기참조광의광로길이를변화시키고, 상기참조광의광로길이의변화에따라서변화된상기간섭광에의거하여상기검출한간섭광에의거한화상이정규의상인지뒤집힌상인지를판정하고, 정규의상인지뒤집힌상인지의판정결과에의거하여상기검출된간섭광으로부터상기측정대상을계측하는것이다.

6. 发明授权

KR100939538B1 입체 형상 측정 장치 有权
标题翻译：用于测量三维尺寸的装置
公开(公告)号：KR100939538B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020070131393
申请日：2007-12-14
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 유준호 , 강민구 , 임쌍근
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/30
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02028 , G01B2290/35
摘要： 본 발명은 입체 형상을 가지는 측정물에 대한 최고점의 측정광과 동일한 기준광 및 최저점의 측정광과 동일한 기준광을 각각 생성하는 반사거리 조절수단을 구비하여, 측정물의 최저점과 최고점에 대한 간섭무늬를 동시에 획득할 수 있도록 하는 입체 형상 측정장치에 관한 것이다.
이를 위한, 본 발명의 입체형상 측정장치는, 광원과, 상기 원으로부터의 조명광을 분할시키는 빔분할기와, 상기 빔분할기로부터의 조명광이 조사되며 최고점과 최저점 단차를 가지는 측정물과, 상기 빔분할기로부터의 조명광이 조사되는 기준미러와, 상기 측정물 표면으로부터의 측정광과 상기 기준미러에서 반사되는 기준광이 합쳐져 생성되는 간섭무늬를 검출하는 광검출소자, 및 상기 광검출소자를 통해 검출된 화상을 처리하는 제어 컴퓨터를 포함하는 입체 형상 측정장치에 있어서, 상기 빔분할기와 상기 기준미러 사이에는 상기 빔분할기로부터의 광의 경로를 변환하여 보조 기준광을 생성하는 보조기준광 생성수단이 구비하는 것이다.
입체 형상, 기준미러, 보조기준미러, 보조기준광 생성수단, 간섭

7. 发明授权

KR100465784B1 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계 및 측정방법 失效
标题翻译： 경사단면광섬유광원을이용한점회절섭계섭계및측정방
公开(公告)号：KR100465784B1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：KR1020020024361
申请日：2002-05-03
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 김학용
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02074 , G01B9/02012 , G01B11/2441 , G01B2290/35 , G01D5/266
摘要： Disclosed is a point diffraction interferometer for analyzing the surface profile of an object in a predetermined shape. The present invention relates to a phase-shifting point diffraction interferometer using inclined-section optical fiber light source, which is capable of minimizing a system error by directly using spherical waves emitted from a point beam source as a reference wavefront to move an error caused by a reference surface.
摘要翻译：公开了用于分析预定形状的物体的表面轮廓的点衍射干涉仪。本发明涉及一种使用倾斜截面光纤光源的相移点衍射干涉仪，其能够通过直接使用从点光束源发射的球形波作为参考波阵面来将系统误差最小化，一个参考面。

8. 发明授权

KR101085061B1 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계 有权
标题翻译：使用高速摄像机和连续相位扫描方法的不吸水干涉仪
公开(公告)号：KR101085061B1
公开(公告)日：2011-11-18
申请号：KR1020090030379
申请日：2009-04-08
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 박정재
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/25 , G02B5/00
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02076 , G01B9/02084 , G01B2290/35 , G01B2290/70
摘要： 본 발명은 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계에 관한 것으로, 외부에서 발생되는 진동에 의한 영향을 주파수 영역에서 완벽히 고립시킴으로써 측정대상물을 측정하는 간섭계에 있어서, 광을 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 광을 측정대상물에 조사시키고, 여기서 반사되는 광을 기준광과 측정광으로 분할한 후 이를 다시 간섭시켜 간섭무늬를 생성시키는 광전달부, 상기 광전달부에서 분할된 기준광을 연속적인 위상주사를 통해 주사하는 연속위상주사부 및 상기 광전달부를 통해 조사된 측정광과 상기 연속위상주사부를 통해 조사된 기준광에 의해 생성된 간섭무늬를 획득하는 고속카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시스템 구성측면이나 해석 알고리즘 측면에서 매우 간소화할 수 있으며, step형태의 위상천이 방법에서 나타나는 비선형오차 및 측정 속도의 문제점을 해소할 수 있다.
진동둔감, 연속 위상 주사, 공통 경로, 고속 카메라, 간섭계

9. 发明授权

KR100956853B1 3차원 형상의 고속 형상측정장치 및 방법 有权
标题翻译： 3维物体快速测量的方法和装置
公开(公告)号：KR100956853B1
公开(公告)日：2010-05-11
申请号：KR1020080031602
申请日：2008-04-04
申请人： 선문대학교 산학협력단
发明人： 고국원 , 권영철
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/0209 , G01B2290/35
摘要： 본 발명은 3차원 형상의 고속 형상측정장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은광을 출사하는 광원부; 상기 광원부의 광을 분광하는 분광기; 상기 분광기에서 분광된 광을 기준광으로 반사하는 기준미러; 상기 기준미러를 구동하는 구동기; 상기 분광기에서 분광된 광 중 상기 물체를 통해서 반사된 반사광과 상기 기준광을 간섭시켜 복수개의 간섭무늬를 획득하는 촬상소자; 및 상기 획득된 복수개의 간섭무늬로부터 상기 물체의 형상을 측정하고 상기 구동기에 기준미러구동신호를 출력하고 세틀링타임보다 상대적으로 짧은 영상캡처타임(도 4의 t1)에 영상캡처명령을 출력하도록 하는 제어부를 포함한다. 따라서, 본 발명은 복수개의 간섭무늬를 얻기 위한 소요시간을 최소화하여 고속의 형상측정이 가능한 효과를 제공한다.
형상측정, 고속

10. 发明授权

KR100457656B1 위상천이 회절격자 간섭계와 그 측정방법 失效
标题翻译：上一次的会议时间和会议时间
公开(公告)号：KR100457656B1
公开(公告)日：2004-11-18
申请号：KR1020020036183
申请日：2002-06-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 황태준
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B2290/35
摘要： Disclosed is a phase-shifting diffraction grating interferometer using diffraction grating. When a light source incident to the diffraction grating is resolved into several diffraction lights, one of them having a diffraction element is selected as a reference light, and other part having the diffraction element or another light having other diffraction element is selected as a light directing to an object to be measured. The light directing to the object to be measured is reflected from the object and is incident to the diffraction grating and then diffracted, and object lights made by the diffraction generates the reference light and an interference pattern. When the diffraction grating is moved in a longitudinal direction, the object light or the reference light is phase-shifted, a number of interference patterns are obtained, and the interference patterns are analyzed to obtain a shape of the measured object. The present invention relates to an improved diffraction grating interferometer capable of being used in an optical metrology field, and the interferometer includes interferometers of various types, which is capable of measuring various kinds of objects to be measured. The phase-shifting diffraction grating interferometer includes a light source part, a beam splitter or a light direction controller, a phase-shifting generator, an interference pattern generator, an interference pattern obtaining part, a central processing unit and a result displaying part. The light source part includes a light source and a lens, a pinhole, a collimator or an optical fiber. The optical elements can be removed according to characteristics of this system or replaced by other optical elements.
摘要翻译：公开了一种使用衍射光栅的移相衍射光栅干涉仪。当入射到衍射光栅的光源被分解成多个衍射光时，其中一个具有衍射元件被选择作为参考光，而另一个具有衍射元件的部分或具有其他衍射元件的另一个光被选择为光导到要测量的对象。指向待测量物体的光从物体反射并入射到衍射光栅然后衍射，并且由衍射产生的物体光产生参考光和干涉图案。当衍射光栅在纵向上移动时，物光或参考光被相移，获得多个干涉图案，并且分析干涉图案以获得被测物体的形状。本发明涉及一种能够用于光学测量领域的改进衍射光栅干涉仪，并且该干涉仪包括能够测量各种待测量物体的各种干涉仪。相移衍射光栅干涉仪包括光源部分，分束器或光方向控制器，相移发生器，干涉图样发生器，干涉图样获取部分，中央处理单元和结果显示部分。光源部件包括光源和透镜，针孔，准直器或光纤。光学元件可根据该系统的特性被移除或被其他光学元件取代。

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