专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101483921B1 냉각판, 그 제조방법 및 반도체 제조 장치용 부재 有权
标题翻译：冷却板，其制造方法和半导体制造装置的部件
公开(公告)号：KR101483921B1
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：KR1020147030617
申请日：2014-03-06
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 진도아스미 , 이노우에가츠히로 , 가츠다유지 , 가타이기다카시 , 아마노신고 , 스기모토히로야
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/48 , H01L21/4763
CPC分类号： H01L21/67109 , B21D53/02 , B32B9/005 , B32B37/10 , B32B38/0012 , B32B2311/00 , B32B2311/24 , B32B2315/02 , C04B35/5615 , C04B35/575 , C04B35/62635 , C04B37/006 , C04B2235/3826 , C04B2235/3843 , C04B2235/3891 , C04B2235/5436 , C04B2235/5472 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/365 , C04B2237/366 , C04B2237/402 , C04B2237/708 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H01L21/68757 , Y10T29/4935
摘要： 반도체 제조 장치용 부재(10)는, AlN제의 정전 척(20)과, 냉각판(30)과, 냉각판-척 접합층(40)을 구비한다. 냉각판(30)은, 제1∼제3 기판(31∼33)과, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이에 형성된 제1 금속 접합층(34)과, 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 형성된 제2 금속 접합층(35)과, 냉매 통로(36)를 구비한다. 제1∼제3 기판(31∼33)은, SiC, Ti
3 SiC
2 및 TiC의 순으로 함유량이 많은 치밀질 복합 재료로 형성되어 있다. 금속 접합층(34, 35)은, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이와 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 Al-Si-Mg계 접합재를 끼운 상태로 각 기판(31∼33)을 열 압축 접합함으로써 형성된 것이다.

2. 发明公开

KR1020140113364A 치밀질 복합 재료, 그 제법 및 반도체 제조 장치용 부재 审中-实审
标题翻译： DENSE复合材料及其制造方法以及半导体生产设备的组件
公开(公告)号：KR1020140113364A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：KR1020140026121
申请日：2014-03-05
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 진도아스미 , 이노우에가츠히로 , 가츠다유지
IPC分类号： C04B35/56 , C04B35/565 , C04B35/64
CPC分类号： F28F3/12 , B23K1/0008 , B23K1/19 , C04B35/5611 , C04B35/5615 , C04B35/565 , C04B35/58092 , C04B35/645 , C04B37/006 , C04B2235/3839 , C04B2235/3843 , C04B2235/3891 , C04B2235/404 , C04B2235/428 , C04B2235/5436 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , F28F21/086 , H01L21/6833 , Y10T428/249969
摘要： The present invention has a purpose of providing a composite material having extremely low difference of the thermal linear expansion coefficient with alumina, and having enough high thermal conductivity, densification, and strength. The dense composite material of the present invention contains 37-60 wt% of silica carbide particles, contains the smaller amount of each of silicified titanium, titanium silicon carbide, and titanium carbide than wt% of particles of the silica carbide, and has 1% or less opening porosity. The properties of the dense composite material for example, has 7.2-8.2 ppm/K of average thermal linear expansion coefficient, 75 W/mK or more of thermal conductivity, and 200 MPa or more of four-point bending strength at 40-570 °C.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种具有与氧化铝的热线性膨胀系数极差的复合材料，并具有足够的高导热性，致密化和强度。本发明的致密复合材料含有37-60重量％的二氧化碳碳化物颗粒，比二氧化碳碳化物颗粒的重量百分比含有少量的硅化钛，碳化钛和碳化钛，并且具有1％或更少的开孔度。例如，致密复合材料的性质具有平均热线性膨胀系数7.2-8.2ppm / K，导热系数为75W / mK以上，40-570°下的四点弯曲强度为200MPa以上 C。

3. 发明公开

KR1020050005755A 고온 프레스 공구 无效
标题翻译：用于制造高温压制工艺的制造材料的高温压力工具
公开(公告)号：KR1020050005755A
公开(公告)日：2005-01-14
申请号：KR1020040040947
申请日：2004-06-04
申请人： 힐티 악티엔게젤샤프트 , 3-원-2 엘엘씨
发明人： 데프림아퀴쯔 , 테이머엘-라기
IPC分类号： C22C29/00 , C22C29/02 , C22C29/16
CPC分类号： C04B35/58 , B22F3/03 , C04B35/56 , C04B35/5615 , C04B35/5618 , C04B35/58014 , C04B35/645 , C04B2235/402
摘要： PURPOSE: To provide a high temperature press tool capable of being used economically under the natural environmental conditions, wherein the high temperature press tool not only should have high wear resistance and low weight, but also should be easily processed and economically manufactured. CONSTITUTION: In a high temperature press tool consisted of at least one fabrication material for manufacturing an artifact by high temperature press process, the high temperature press tool is characterized in that the at least one fabrication material contains a material compound consisting of a group(Mn+1AXn), where M is an element selected from the group consisting of Sc, Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta and W, A is an element selected from the group consisting of Al, Si, P, S, Ga, E, As, Cd, In, Sn, Ti and Pb, and X is an element selected from the group consisting of C and N, wherein the material consisted of the group(Mn+1AXn) is Ti3SiC2, Ti2AlC or Ti4AlN3, wherein the high temperature press tool is substantially manufactured from the material group(Mn+1AXn), wherein the high temperature press tool comprises an outer layer(13) consisted of the material group(Mn+1AXn) and formed on a basic body(12), and wherein the high temperature press tool formed in a stamp(11) and/or a bush.
摘要翻译：目的：提供一种能够在自然环境条件下经济地使用的高温压力机械，其中高温冲压工具不仅应具有高耐磨性和低重量，而且还应易于加工和经济地制造。构成：在通过高温压制方法制造伪像的至少一种制造材料的高温压制工具中，高温压制工具的特征在于，至少一种制造材料含有由基团（Mn + 1AXn），其中M是选自Sc，Ti，V，Cr，Zr，Nb，Mo，Hf，Ta和W的元素，A是选自Al，Si，P ，S，Ga，E，As，Cd，In，Sn，Ti和Pb，X是选自C和N的元素，其中由（Mn + 1AXn）组成的材料为Ti 3 SiC 2，Ti 2 AlC 或Ti4AlN3，其中高温压制工具基本上由材料组（Mn + 1AXn）制成，其中高温压制工具包括由材料组（Mn + 1A×n）构成的外层（13），并形成在基体主体（12），并且其中形成在印模（11）和/或衬套中的高温压制工具。

4. 发明公开

KR1020170130567A MAX 상으로부터 부품을 제조하는 방법 审中-实审
标题翻译：如何从MAX制造零件
公开(公告)号：KR1020170130567A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：KR1020177030716
申请日：2016-03-21
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 데프카티모 , 플로레스렌테리아아르투로 , 라욱스브릿타 , 옷트미햐엘 , 피게르트제바스티안
IPC分类号： C04B35/56 , B28B1/00 , B33Y70/00 , B33Y10/00
CPC分类号： B28B1/001 , B33Y10/00 , B33Y70/00 , C01B32/90 , C04B35/5607 , C04B35/5615 , C04B35/653 , C04B2235/3817 , C04B2235/5436 , C04B2235/6026 , C04B2235/665
摘要： 최초로, 추가식제조방법의사용에의해 MAX 상으로부터부품이제조될수 있다.
摘要翻译：这是第一次使用增材制造方法从MAX相制造组件。

5. 发明授权

KR101499409B1 냉각판, 그 제조방법 및 반도체 제조 장치용 부재 有权
标题翻译：冷却板及其制造方法以及半导体制造装置用部件
公开(公告)号：KR101499409B1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：KR1020147030457
申请日：2014-03-05
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 진도아스미 , 이노우에가츠히로 , 가츠다유지 , 가타이기다카시 , 아마노신고 , 스기모토히로야
IPC分类号： H01L21/683 , C04B35/565
CPC分类号： F28F3/12 , B23K1/0008 , B23K1/19 , C04B35/5611 , C04B35/5615 , C04B35/565 , C04B35/58092 , C04B35/645 , C04B37/006 , C04B2235/3839 , C04B2235/3843 , C04B2235/3891 , C04B2235/404 , C04B2235/428 , C04B2235/5436 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , F28F21/086 , H01L21/6833 , Y10T428/249969
摘要： 반도체 제조 장치용 부재(10)는, 알루미나제의 정전 척(20)과, 냉각판(30)과, 냉각판-척 접합층(40)을 구비한다. 냉각판(30)은, 제1∼제3 기판(31∼33)과, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이에 형성된 제1 금속 접합층(34)과, 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 형성된 제2 금속 접합층(35)과, 냉매 통로(36)를 구비한다. 제1∼제3 기판(31∼33)은, 탄화규소를 가장 많이 함유하고, 규화티탄, 티탄실리콘카바이드 및 탄화티탄을 포함하는 치밀질 복합 재료로 형성되어 있다. 금속 접합층(34, 35)은, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이와, 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 Al-Si-Mg계 또는 Al-Mg계의 금속 접합재를 끼운 상태로 각 기판(31∼33)을 열 압축 접합함으로써 형성된 것이다.
摘要翻译：半导体制造装置用部件10具有由氧化铝构成的静电卡盘20，冷却板30以及冷却板卡盘接合层40。冷却板30包括第一至第三基板31至33以及形成在第一和第二基板31和32之间的第一金属接合层34，形成在基板32和33之间的第二金属结合层35以及冷却剂通道36。第一至第三衬底31至33由含有最多碳化硅并含有硅化钛，碳化钛和碳化钛的致密复合材料形成。金属结合层34和35由第一和第二基板31和32之间以及第二和第三基板32和33之间的Al-Si-Mg基或Al-Mg基合金形成并且，在夹持第一基板31〜第二基板33的金属接合材料的状态下，各基板31〜33被热压接。

6. 发明公开

KR1020140140112A 냉각판, 그 제조방법 및 반도체 제조 장치용 부재 有权
公开(公告)号：KR1020140140112A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：KR1020147030457
申请日：2014-03-05
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 진도아스미 , 이노우에가츠히로 , 가츠다유지 , 가타이기다카시 , 아마노신고 , 스기모토히로야
IPC分类号： H01L21/683 , C04B35/565
CPC分类号： F28F3/12 , B23K1/0008 , B23K1/19 , C04B35/5611 , C04B35/5615 , C04B35/565 , C04B35/58092 , C04B35/645 , C04B37/006 , C04B2235/3839 , C04B2235/3843 , C04B2235/3891 , C04B2235/404 , C04B2235/428 , C04B2235/5436 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , F28F21/086 , H01L21/6833 , Y10T428/249969
摘要： 반도체 제조 장치용 부재(10)는, 알루미나제의 정전 척(20)과, 냉각판(30)과, 냉각판-척 접합층(40)을 구비한다. 냉각판(30)은, 제1∼제3 기판(31∼33)과, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이에 형성된 제1 금속 접합층(34)과, 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 형성된 제2 금속 접합층(35)과, 냉매 통로(36)를 구비한다. 제1∼제3 기판(31∼33)은, 탄화규소를 가장 많이 함유하고, 규화티탄, 티탄실리콘카바이드 및 탄화티탄을 포함하는 치밀질 복합 재료로 형성되어 있다. 금속 접합층(34, 35)은, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이와, 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 Al-Si-Mg계 또는 Al-Mg계의 금속 접합재를 끼운 상태로 각 기판(31∼33)을 열 압축 접합함으로써 형성된 것이다.

7. 发明公开

KR1020140116817A 치밀질 복합 재료, 그 제법, 접합체 및 반도체 제조 장치용 부재 审中-实审
标题翻译： DENSE复合材料，其制造方法，接合体和用于半导体制造装置的部件
公开(公告)号：KR1020140116817A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：KR1020140033510
申请日：2014-03-21
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 진도아스미 , 이노우에가츠히로 , 가츠다유지
IPC分类号： C04B35/565
CPC分类号： H01L21/67109 , B21D53/02 , B32B9/005 , B32B37/10 , B32B38/0012 , B32B2311/00 , B32B2311/24 , B32B2315/02 , C04B35/5615 , C04B35/575 , C04B35/62635 , C04B37/006 , C04B2235/3826 , C04B2235/3843 , C04B2235/3891 , C04B2235/5436 , C04B2235/5472 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/365 , C04B2237/366 , C04B2237/402 , C04B2237/708 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H01L21/68757 , Y10T29/4935
摘要： Provided is a composite material having extremely little difference in coefficient of linear thermal expansion with aluminum nitrate, and having sufficient high thermal conductivity, density, and strength. The dense composite material of the present invention contains silicon carbide, titanium silicon carbide, and titanium carbide which are contained in highest contents in order of content, contains 51-68 wt% of silicon carbide, does not contain titanium silicide, and has open pore ratio of 1% or less. The properties of the dense composite material, for example, has average coefficient of linear thermal expansion at 40-570°C of 5.4-6.0 ppm/K, thermal conductivity of 100 W/m·K or more, and four-point bending strength of 300 MPa or more.
摘要翻译：本发明提供一种复合材料，其与硝酸铝的线性热膨胀系数差异极小，具有足够的导热性，密度和强度。本发明的致密复合材料包含含量最高的碳化硅，碳化钛和碳化钛，含有51-68重量％的碳化硅，不含硅化钛，并具有开孔比例在1％以下。例如，致密复合材料的性质在40-570℃下的平均线性热膨胀系数为5.4-6.0ppm / K，热导率为100W / m·K以上，四点弯曲强度为300MPa以上。

8. 发明公开

KR1020140105290A 섬유강화 세라믹 복합소재 허니컴 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：纤维增强陶瓷复合材料蜂窝及其制备方法
公开(公告)号：KR1020140105290A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：KR1020130019358
申请日：2013-02-22
申请人： 한국에너지기술연구원
发明人： 김세영 , 우상국 , 한인섭 , 서두원 , 유지행 , 김선동 , 주종훈
IPC分类号： C04B35/76 , C04B35/64 , B01D53/86 , F01N3/28
CPC分类号： C04B35/76 , B32B38/0036 , B32B38/08 , C04B35/521 , C04B35/56 , C04B35/5611 , C04B35/5615 , C04B35/5618 , C04B35/565 , C04B35/573 , C04B35/80 , C04B37/001 , C04B38/0032 , C04B38/0083 , C04B2235/40 , C04B2235/402 , C04B2235/404 , C04B2235/428 , C04B2235/48 , C04B2235/5248 , C04B2235/5256 , C04B2235/6028 , C04B2237/363 , C04B2237/385 , Y10T428/24149 , C04B2111/00793
摘要： The present invention relate to a fiber reinforced ceramic composite material honeycomb and to a method for manufacturing the same and, more specifically, to a fiber reinforced ceramic composite material honeycomb which comprises multiple internal tubes made of a fiber reinforced ceramic composite material and an external shell made of a fiber reinforced ceramic composite material surrounding the multiple internal tubes, and to a method for manufacturing the same.
摘要翻译：纤维增强陶瓷复合材料蜂窝体及其制造方法技术领域本发明涉及纤维增强陶瓷复合材料蜂窝体及其制造方法，更具体地，涉及一种纤维增强陶瓷复合材料蜂窝体，其包含由纤维增强陶瓷复合材料制成的多个内管和外壳由围绕多个内管的纤维增强陶瓷复合材料制成，以及其制造方法。

9. 发明公开

KR1020140137016A 냉각판, 그 제조방법 및 반도체 제조 장치용 부재 有权
标题翻译：冷却板，其制造方法和半导体制造装置的部件
公开(公告)号：KR1020140137016A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020147030617
申请日：2014-03-06
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 진도아스미 , 이노우에가츠히로 , 가츠다유지 , 가타이기다카시 , 아마노신고 , 스기모토히로야
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/48 , H01L21/4763
CPC分类号： H01L21/67109 , B21D53/02 , B32B9/005 , B32B37/10 , B32B38/0012 , B32B2311/00 , B32B2311/24 , B32B2315/02 , C04B35/5615 , C04B35/575 , C04B35/62635 , C04B37/006 , C04B2235/3826 , C04B2235/3843 , C04B2235/3891 , C04B2235/5436 , C04B2235/5472 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C04B2237/365 , C04B2237/366 , C04B2237/402 , C04B2237/708 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H01L21/68757 , Y10T29/4935
摘要： 반도체 제조 장치용 부재(10)는, AlN제의 정전 척(20)과, 냉각판(30)과, 냉각판-척 접합층(40)을 구비한다. 냉각판(30)은, 제1∼제3 기판(31∼33)과, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이에 형성된 제1 금속 접합층(34)과, 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 형성된 제2 금속 접합층(35)과, 냉매 통로(36)를 구비한다. 제1∼제3 기판(31∼33)은, SiC, Ti
3 SiC
2 및 TiC의 순으로 함유량이 많은 치밀질 복합 재료로 형성되어 있다. 금속 접합층(34, 35)은, 제1 및 제2 기판(31, 32)의 사이와 제2 및 제3 기판(32, 33)의 사이에 Al-Si-Mg계 접합재를 끼운 상태로 각 기판(31∼33)을 열 압축 접합함으로써 형성된 것이다.

10. 发明公开

KR1020110056417A 높은 열전도도를 갖는 핵연료 피복관 및 이의 제조방법 无效
标题翻译：具有高热导率的核燃料管和制造它的方法
公开(公告)号：KR1020110056417A
公开(公告)日：2011-05-27
申请号：KR1020117008696
申请日：2009-09-18
申请人： 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈
发明人： 카브레로,줄리앙 , 파일러,레네 , 아우두베르트,파비안느
IPC分类号： G21C3/07 , G21C3/20
CPC分类号： G21C3/07 , C04B35/5611 , C04B35/5615 , C04B35/5622 , C04B35/6286 , C04B35/62873 , C04B35/62884 , C04B35/62894 , C04B35/62897 , C04B35/6325 , C04B35/806 , C04B2235/3232 , C04B2235/3244 , C04B2235/3418 , C04B2235/3813 , C04B2235/3826 , C04B2235/444 , C04B2235/5244 , C04B2235/5252 , C04B2235/614 , C04B2235/77 , G21C3/20 , G21C21/02 , Y02E30/40
摘要： 본 발명은 매트릭스 강화재로서 실리콘 카바이드(SiC) 섬유를 함유한 세라믹 매트릭스 및 상기 매트릭스와 상기 섬유 사이에 제공되는 계면층을 갖는 복합체 물질로 전체적으로 또는 부분적으로 제조되고 상기 매트릭스가 티타늄 카바이드 (TiC), 지르코늄 카바이드 (ZrC), 또는 삼원 티타늄 실리콘 카바이드 (Ti
3 SiC
2 )로부터 선택되는 적어도 하나의 카바이드를 포함하는 핵연료 피복관에 관한 것이다. 조사시에 및 800℃ 내지 1200℃의 온도에서, 상기 피복관은 냉각재 쪽으로의 최적의 열-에너지 전달을 가능하게 하면서 피복관 내에 핵연료를 기계적으로 유지시킬 수 있다. 본 발명은 또한 핵연료 피복관을 제조하는 방법에 관한 것이다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式