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1. 发明公开

KR1020150116961A 글래스 적재용 카세트 有权
标题翻译：用于装载玻璃的CASSETTE
公开(公告)号：KR1020150116961A
公开(公告)日：2015-10-19
申请号：KR1020140041829
申请日：2014-04-08
申请人： 주식회사 지아이에프
发明人： 박수진
IPC分类号： B65G49/06 , C03B35/00
CPC分类号： Y02P40/57 , B65G49/062 , B65D85/48 , B65G49/069 , B65G2249/00 , C03B35/00
摘要： 글래스적재용카세트가개시된다. 본발명의일 실시예에따른글래스적재용카세트는, 서로이격된상태로지지되는한 쌍의사이드패널; 및상기한 쌍의사이드패널사이에조립되어글래스의측부혹은하부를지지하는글래스지지대를포함하되, 상기한 쌍의사이드패널에형성된위치조정부각각에상기글래스지지대의양 끝단이평상시에는걸림상태로유지되고외력에의해해제상태로전환되면슬라이딩이동하여위치조정이수행된후 상기외력이제거되면다시걸림상태로전환될수 있다.
摘要翻译：公开了一种用于装载玻璃的盒。根据本发明的实施例，用于装载玻璃的盒包括：一对侧板，彼此间隔开地支撑; 以及组装在侧板之间以支撑玻璃的侧部或下部的玻璃支撑件。在形成在侧板上的每个位置调整单元上，玻璃支架的两个末端通常都悬挂在一起。当通过外力转换为释放时，尖端滑动并移动以调整到位。当去除外力时，尖端可以转换成再次挂起。

2. 发明公开

KR1020080062327A 기판 이송 장치 无效
标题翻译：用于输送玻璃基板的装置
公开(公告)号：KR1020080062327A
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：KR1020060137974
申请日：2006-12-29
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 유재현 , 소병렬
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/063 , B65G2249/00
摘要： An apparatus for conveying a glass substrate is provided to prevent damage of a driving belt, and a process delay due to the driving belt by configuring the short driving belt. A plurality of spur gears(240) comprise a first spur gear. A plurality of idle gears(250) are interconnected with the spur gears alternately. A rotation driving unit(260) rotates the first spur gear. A plurality of transfer shaft transfer substrates. A plurality of passive magnets are connected with the plural transfer shafts respectively, and faced to the one side of a process chamber(100). A plurality of driving magnets are formed at the outside of the process chamber, and corresponded with the plural passive magnets. The spur gear rotates the driving magnets by connecting to the driving magnets.
摘要翻译：提供一种用于输送玻璃基板的装置，以防止驱动带的损坏，以及通过配置短驱动带由于驱动带而引起的处理延迟。多个正齿轮（240）包括第一正齿轮。多个空转齿轮（250）交替地与正齿轮互连。旋转驱动单元（260）旋转第一正齿轮。多个传送轴传送基板。多个被动磁体分别与多个传送轴连接，并且面向处理室（100）的一侧。多个驱动磁体形成在处理室的外部，并且与多个被动磁体相对应。正齿轮通过连接到驱动磁体来旋转驱动磁体。

3. 发明公开

KR1020080062282A 진자 센서 시스템 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 无效
标题翻译： PENDULUM传感器系统和包含该传感器系统的玻璃基板载体
公开(公告)号：KR1020080062282A
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：KR1020060137867
申请日：2006-12-29
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 박기홍 , 현재일
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67259 , B65G49/063 , B65G2249/00 , H01L21/67706
摘要： A pendulum sensor system and a substrate transfer apparatus comprising the same are provided to check up the substrate transfer status clearly, and improve accuracy of sensing operations by installing multiple magnetic cores and sensors. A pendulum sensor system comprises a vertical member(210) which is installed, and rotated around a horizontal shaft, a roller(222) which is installed at the upper end of the vertical member, a plurality of magnetic cores(224a,224b) which are installed at the lower end of the vertical member, and a plurality of magnetic sensors(230a,230b) which are installed on each magnetic core, and separated from the vertical member.
摘要翻译：提供摆锤传感器系统和包括该摆锤传感器系统的基片传送装置以清楚地检查基片传送状态，并通过安装多个磁芯和传感器来提高传感操作的精度。摆式传感器系统包括垂直构件（210），其安装并围绕水平轴旋转，安装在垂直构件的上端的辊（222），多个磁芯（224a，224b），其中安装在垂直构件的下端，以及安装在每个磁芯上并与垂直构件分离的多个磁传感器（230a，230b）。

4. 发明公开

KR1020050111860A 반도체 제조장치용 이송장치 有权
标题翻译：用于半导体制造装置的传送装置
公开(公告)号：KR1020050111860A
公开(公告)日：2005-11-29
申请号：KR1020040036774
申请日：2004-05-24
申请人： 이부락
发明人： 이부락
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/063 , B65G2249/00 , H01L21/67034 , H01L21/67051
摘要： 본 발명은 웨이퍼(wafer), 에프피디(FPD:Flayer Panel Displayer), 피디피(PDP:Plasma Display Pannel), 액정디스플레이(LCD:Liquid Crystal Display)등의 반도체 부품을 제조함에 있어, 각각의 공정으로 부품을 부상·이송하기 위한 것으로, 특히, 소정 압력으로 분사되는 공기, 물, 약액에 의해 제조되는 부품을 부상·이송시킬 수 있도록 한 반도체 제조장치용 이송장치에 관한 것이다.
본 발명은 일면이 개방되고 내부에 소정크기의 공간을 갖도록 이루어진 고정체와, 세라믹이나 엔지니어링 플라스틱(Engineering Plastics) 재질로 이루어지며 다기공, 다구멍형태의 다공체와, 상기 고정체의 일측면에 결합된 주입구와, 상기 주입구를 통해 소정의 압력을 갖는 공기, 물, 세정수를 공급·분사되도록 결합되는 공급관으로 이루어진 상·하부 부상수단에 의해 반도체 부품이 부상된 상태로 이송·공급되도록 함에 따라, 이송과정에서, 접촉으로 인한 불량율을 최대한 억제할 수 있으며, 부상된 상태로 이송·공급됨과 동시에, 공기, 물, 또는 약액에 의해 세척, 세정 및 건조공정이 동시에 이루어지록 한 것이다.

5. 发明公开

KR1020140142394A 유리 기판 카세트 지지 유닛 有权
标题翻译：用于支撑玻璃基板的单元
公开(公告)号：KR1020140142394A
公开(公告)日：2014-12-12
申请号：KR1020130063232
申请日：2013-06-03
申请人： 주식회사 피디티
发明人： 박준호 , 이재민
IPC分类号： B65G49/06 , C03B35/20
CPC分类号： B65G49/062 , B65G49/063 , B65G2249/00 , C03B35/00
摘要： 유리 기판 카세트 지지유닛은 프레임부와 유리 기판의 크기에 따라 프레임부에 지지되어 전후 방향으로 이동과 고정이 가능하며 유리 기판의 측면을 지지하는 적어도 한 쌍의 지지부들로 이루어지는 카세트를 지지하는 스테이지와, 스테이지의 네 모서리 부위에 배치되며, 스테이지에 지지된 카세트의 프레임부를 고정하기 위한 고정 블록 및 스테이지의 상부면에 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 유리 기판의 크기 및 지지부들의 개수에 따라 기 설정된 위치로 이동하여 지지부들의 고정 위치를 안내하는 포지션 블록들을 포함한다. 따라서, 유리 기판 카세트 지지 유닛을 이용하여 카세트가 유리 기판들을 안정적으로 지지할 수 있도록 한다.
摘要翻译：支撑玻璃基板盒的单元包括支撑盒的台，该盒包括框架单元和根据玻璃基板由框架单元尺寸支撑的一对或多对支撑单元，能够来回移动并固定，并支撑玻璃基板的一侧; 固定块，布置在平台的四个边缘上，以固定由台架支撑的盒的框架单元; 以及设置在台架的上表面上以能够沿着台的上表面的前后方向移动的位置块，并且根据玻璃基板的尺寸和数量移动到预定位置支撑单元以引导支撑单元的固定位置。因此，提供支撑玻璃基板盒的单元以允许盒稳定地支撑玻璃基板。

6. 发明公开

KR1020100059237A 기판 이송 유닛 및 이를 갖는 베이크 장치 无效
标题翻译：用于转移基板的装置和用于烘烤具有单元的基板的装置
公开(公告)号：KR1020100059237A
公开(公告)日：2010-06-04
申请号：KR1020080117934
申请日：2008-11-26
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 김성희
IPC分类号： H01L21/68 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/063 , B65G2249/00 , H01L21/67103 , H01L21/6838
摘要： PURPOSE: A substrate transferring unit and a bake apparatus including the same are provided to prevent the slide of a substrate by vacuum-absorbing the substrate in process of a transferring process. CONSTITUTION: A plurality of rotary shafts(110) is arranged to a horizontal direction. A plurality of rollers(120) is installed on the rotary shafts. The rollers transfer a substrate by rotating the rotary shafts. The rollers include a plurality of vacuum holes(120a) for absorbing the substrate. A vacuum supplying unit(140) supplies vacuum. A driving unit rotates the rotary shafts.
摘要翻译：目的：提供一种基板转印单元和包括该基板转印单元的烘焙设备，以防止在转印过程中真空吸收基板而滑动基板。构成：沿水平方向布置多个旋转轴（110）。多个辊（120）安装在旋转轴上。滚筒通过转动旋转轴传送基板。辊包括用于吸收基板的多个真空孔（120a）。真空供给单元（140）提供真空。驱动单元使旋转轴旋转。

7. 发明公开

KR20100041063A Apparatus for transferring substrate 审中-公开
标题翻译：用于传送基板的装置
公开(公告)号：KR20100041063A
公开(公告)日：2010-04-22
申请号：KR20080100053
申请日：2008-10-13
申请人： SHBAURA MECHATRONICS KOREA CO
发明人： JUNG SUNG TAE , NAGAYAMA YUKIO
IPC分类号： H01L21/68 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/063 , B65G2249/00
摘要： PURPOSE: An apparatus for transferring a substrate is provided to simplify the structure of the apparatus by installing one upper roller on one shaft in order to prevent the increase of the length of the shaft. CONSTITUTION: An arm(300) is ratably combined to a first shaft(310) which is fixed to a stand(200). An upper roller(400) is located on the upper side of a transfer roller(100). A gap adjustment unit is contacted to the other upper side of the arm. The gap adjustment unit adjusts the gap between the upper roller and the transfer roller. A load adjustment unit(600) adjusts a load which is applied to a substrate(S). The load adjustment unit includes a guide beam(610) and a main body(620). The guide beam is expanded to a horizontal direction. The main body of the load adjustment unit is horizontally transferred with the guide beam.
摘要翻译：目的：为了通过在一个轴上安装一个上辊来简化装置的结构，以防止轴的长度的增加。构成：臂（300）可选地组合到固定到支架（200）的第一轴（310）上。上辊（400）位于转印辊（100）的上侧。间隙调整单元与臂的另一个上侧接触。间隙调整单元调节上辊和转印辊之间的间隙。负载调整单元（600）调整施加到基板（S）的负载。负载调整单元包括导向梁（610）和主体（620）。引导梁向水平方向扩展。负载调节单元的主体与导向梁水平传递。

8. 发明授权

KR100821964B1 기판 이송 장치 有权
标题翻译：装载基板的装置
公开(公告)号：KR100821964B1
公开(公告)日：2008-04-15
申请号：KR1020070016383
申请日：2007-02-16
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 함승원
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/063 , B65G2249/00
摘要： An apparatus for transferring a substrate is provided to suppress damage to a driving axis and a bearing by mounting a magnetic plate on one end of the driving axis and by disposing a support member like the bearing for supporting the driving axis at the other end of the driving axis. A substrate is transferred by a rotation axis(200). A driving axis(300) is installed in a position separated from the rotation axis. A driving pulley(310) is mounted on the end of the driving axis confronting the rotation axis, transferring rotation force from a driving source(500) to the driving axis. A magnetic force generating part(400) generates magnetic force between the driving axis and the rotation axis wherein the rotation force is transferred from the driving axis to the rotation axis by the magnetic force. The magnetic force generating part includes a first magnetic plate(410) mounted on the end of the driving axis and a second magnetic plate(420) confronting the first magnetic plate wherein the second magnetic plate is mounted on the end of the rotation axis confronting the driving axis. The driving pulley and the first magnetic plate are incorporated. The driving pulley can be disposed near the opposite surface to one surface of the first magnetic plate confronting the second magnetic plate. The driving pulley can be connected to the driving source by a timing belt(320).
摘要翻译：提供了一种用于传送基板的装置，以通过将磁性板安装在驱动轴的一端上并且通过在支撑驱动轴的另一端处设置支撑驱动轴的轴承来支撑驱动轴和轴承的损坏驱动轴。基板通过旋转轴线（200）传递。驱动轴（300）安装在与旋转轴线分离的位置。驱动滑轮（310）安装在面向旋转轴线的驱动轴线的端部，将驱动源（500）的旋转力传递到驱动轴。磁力产生部件（400）在驱动轴与旋转轴之间产生磁力，其中旋转力通过磁力从驱动轴向旋转轴转移。磁力产生部分包括安装在驱动轴线的端部的第一磁性板（410）和面对第一磁性板的第二磁性板（420），其中第二磁性板安装在面对着旋转轴线的旋转轴线的端部驱动轴。并入驱动滑轮和第一磁性板。驱动带轮可以布置在面对第二磁性板的与第一磁性板的一个表面相对的表面附近。驱动滑轮可以通过同步皮带（320）连接到驱动源。

9. 发明公开

KR1020070012031A 기판 이송용 핸드 有权
标题翻译：用于移动玻璃面板的运输机
公开(公告)号：KR1020070012031A
公开(公告)日：2007-01-25
申请号：KR1020050066820
申请日：2005-07-22
申请人： 주식회사 디엠에스
发明人： 최만수 , 이재일
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/68707 , B65G49/063 , B65G2249/00 , H01L21/67742
摘要： A hand unit for transferring a glass panel is provided to quickly stabilize vibration of the glass panel by alleviating the vibration, which is generated at a hand portion, using a resin layer. A hand unit for transferring a glass panel includes a pair of hand portions, which are coupled with an arm of a robot or a transfer unit. The hand portions deliver or convey the glass panel. The hand portion includes a bracket(5), a support mount(7), and a vibration absorption member. The bracket is coupled with the arm. The support mount is coupled with the bracket and has a predetermined length. The support mount is arranged in a horizontal direction. The vibration absorption member is coupled with an outer periphery of the support mount. The vibration absorption member includes a resin layer(9). The vibration absorption member is arranged at a portion of the support mount.
摘要翻译：提供了用于传送玻璃面板的手单元，以通过减轻使用树脂层在手部产生的振动来快速地稳定玻璃面板的振动。用于传送玻璃面板的手单元包括与机器人或传送单元的臂联接的一对手部。手部传送或传送玻璃面板。手部包括托架（5），支撑架（7）和振动吸收构件。支架与手臂连接。支撑架与支架联接并具有预定的长度。支撑架沿水平方向排列。振动吸收构件与支撑座的外周连接。振动吸收构件包括树脂层（9）。振动吸收构件设置在支撑座的一部分。

10. 发明公开

KR1020160041178A 이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 审中-实审
标题翻译：用于引导运输的装置和用于传送基板的装置
公开(公告)号：KR1020160041178A
公开(公告)日：2016-04-18
申请号：KR1020140134599
申请日：2014-10-06
申请人： 현대로보틱스주식회사
发明人： 김태현 , 김종욱 , 김상현
IPC分类号： B65G49/05 , B25J5/00
CPC分类号： B65G49/061 , B65G2207/48 , B65G2249/00
摘要： 본발명은대상물을이동시키기위한주행방향을따라설치되는주행프레임; 상기대상물의주행방향을가이드하기위한제 1 주행가이드부재및 상기제 1 주행가이드부재에연결되는제 2 주행가이드부재를포함하며, 상기주행프레임에결합되는주행가이드부, 및상기주행가이드부를따라이동하도록상기주행가이드부에이동가능하게결합되는주행가이드블록을포함하고, 상기제 1 주행가이드부재는상기제 2 주행가이드부재를향할수록크기가감소되게형성되는제 1 경사부를포함하는것을특징으로하는기판이송장치용가이드장치및 이를포함하는기판이송장치에관한것이다. 본발명에따르면, 주행베이스가제 1 주행가이드부재와제 2 주행가이드부재사이에단차가형성된위치를지나갈경우, 진동등의외력에의해기판이이송암으로부터이탈되는것을방지함으로써, 기판이파손되는것을방지할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于引导传送的装置和用于传送基板的装置，包括：沿着驱动方向安装的用于传送物体的驱动框架; 驱动引导单元，其组合到所述驱动框架，所述驱动框架包括用于引导所述物体的驱动方向的第一驱动引导构件和连接到所述第一驱动引导构件的第二驱动引导构件; 以及驱动引导块，其可移动地组合到所述驱动引导单元以沿着所述驱动引导单元移动，其中所述第一驱动引导构件包括第一倾斜部，所述第一倾斜部的尺寸随着从所述第一驱动朝向所述第二驱动引导构件而减小导游会员本发明具有通过在驱动基座经过形成有第一台阶的台阶的位置时，通过防止由于来自外部的力而导致的运送臂从基板的释放而引起的对基板的损坏的影响，例如振动驱动引导构件和第二驱动引导构件。

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