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1. 发明公开

KR20180021046A 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-公开
标题翻译：基板处理装置和基板处理方法
公开(公告)号：KR20180021046A
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR20180019502
申请日：2018-02-19
申请人： TOKYO ELECTRON LTD
发明人： TERAMOTO AKIHIRO , HAYASHI TOKUTAROU
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/16 , H01L21/687
CPC分类号： G05B19/4189 , B25J9/1612 , G05B2219/39479 , G05B2219/39508
摘要： 본발명은유지부재상의기판의어긋남량을취득하는것에의해, 어긋남량이허용범위에드는상태에서다른모듈에기판을전달하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 하나의모듈(가열모듈)로부터포크(3A)가웨이퍼(W)를수취했을때에, 포크(3A) 상의기준위치로부터의어긋남량을구하고, 이어긋남량이허용범위에들 때에는, 반송아암(A3)에의해웨이퍼(W)를다른모듈(온도조절모듈)에반송하며, 검출값이허용범위로부터벗어나있을때에는, 임시배치모듈(71)에반송한다. 임시배치모듈(71)에서는, 상기어긋남량이허용범위에들도록, 반송아암(A3)이상기웨이퍼(W)를전달하고, 이어서수취하고있기때문에, 어긋남량이허용범위에드는상태에서온도조절모듈에기판을전달할수 있다.
摘要翻译：当将基板从一个模块传送到另一个模块时，检测基板在保持构件上的位移并且将基板传送到位移在可接受范围内的另一模块的技术。当叉从一个模块接收晶片并且当位移在可接受的范围内时，通过传送臂将晶片传送到另一个模块，确定传送臂的叉上的晶片从参考位置的位移。当位移超出可接受范围时，晶圆通过传送臂传送到晶圆载物台模块，然后传送臂从晶圆载物台模块接收晶圆，使得位移落在可接受的范围内。晶圆因此可以在位移在可接受范围内的情况下被转移到另一模块。

2. 发明授权

KR101741844B1 파지 판별 장치 및 파지 판별 방법 有权
标题翻译：手指判断装置及手指判断方法
公开(公告)号：KR101741844B1
公开(公告)日：2017-05-30
申请号：KR1020110023187
申请日：2011-03-16
申请人： 소니 주식회사
发明人： 나가사까겐이찌로 , 쯔보이도시미쯔 , 미야모또아쯔시 , 가와나미야스노리 , 후꾸시마데쯔하루 , 가와모또겐따
IPC分类号： B25J9/16
CPC分类号： B25J9/1612
摘要： 파지대상인물체를파지부에의해파지한상태에서상기파지부를이동시키는목표궤도를생성하는계획부와, 상기목표궤도에기초하여구동되는상기파지부의움직임을계측하는관측부와, 상기목표궤도로부터도출되는상기파지부의목표값및 상기관측부에의해계측되는실측값에기초하여, 파지대상인물체가파지가능한것인지여부를판별하는파지상태판별부와, 상기파지상태판별부에의한판별결과에기초하여, 상기파지부가파지하는물체의파지상태를변경하는파지상태변경부를포함하는, 파지판별장치를제공한다.
摘要翻译：和规划单元，其生成用于通过所述抓持对象物体移动在把持hansangtae握持部在夹纱器的目标轨道，以及测量运动基于所述目标轨道驱动的所述夹取单元的观察单元中，从所述目标轨道得到的由所述把持部的目标值和观测单元测量，通过基于由所述把手和抓地状态的判定结果的夹取目标对象的实际测量值的基础上，以确定是否确定单元是否可能，夹持状态判断部，其特征在于改变握持部分，以改变由把持它提供了一种包括一个确定一个夹紧装置夹着的物体的夹取状态。

3. 发明授权

KR101687626B1 로봇 및 그 제어방법 有权
标题翻译：机器人及其控制方法
公开(公告)号：KR101687626B1
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020100000938
申请日：2010-01-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김지영 , 노경식 , 최종도 , 이광규 , 문경원
IPC分类号： B25J9/16 , B25J15/00 , B25J15/02
CPC分类号： B25J9/1612 , G05B2219/40202
摘要： 사람과물체을주고받을수 있는로봇에있어서, 사람의의사변경에유연하게대처할수 있는로봇및 그제어방법을개시한다. 이를위해로봇은로봇핸드에미는힘이감지되면물체를파지하여당김으로써사람에게물건을전달받을준비가되었음을알린후 로봇핸드에미는힘 또는당기는힘이감지되는지에따라물건을전달받거나사람에게전달한다. 또한로봇은로봇핸드에당기는힘이감지되면물체를내밈으로써사람에게물건을전달할준비가되었음을알린후 로봇핸드에미는힘 또는당기는힘이감지되는지에따라물건을전달받거나사람에게전달한다.
摘要翻译：机器人将文章转移到外部对象，并从人类受试者接收物品，并灵活应对人类意图的变化。如果感测到施加到机器人手的推力，则机器人手抓住并拉动物品以通知外部对象，机器人手准备从外部主体接收物品，并将物品转移到外部物体根据是否感测到施加到机器人手的推力或拉力，来自外部被摄体的物品。如果感测到施加到机器人手的拉力，则机器人推动物品以通知外部对象，机器人手准备将物品转移到外部物体，并将物品转移到外部物体或将物品从根据是否感测到施加到机器人手的推力或拉力，外部被检体。

4. 发明授权

KR101495962B1 로봇 시스템 有权
标题翻译：机器人系统
公开(公告)号：KR101495962B1
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：KR1020120125130
申请日：2012-11-07
申请人： 가부시키가이샤 야스카와덴키
发明人： 기무라요시키
IPC分类号： B25J13/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： B25J9/1612 , B25J19/02 , G05B2219/37002 , G05B2219/39476 , Y10S901/46
摘要： 박판 형상의 워크피스를 유지하는 핸드 및 해당 핸드를 이동시키는 아암을 구비하는 로봇과, 상기 로봇을 제어하는 로봇 제어 장치를 구비하는 로봇 시스템이 개시된다. 상기 로봇 제어 장치는, 상기 로봇을 제어해서 소정의 워크피스 전달 위치에서의 상기 워크피스의 교환을 상기 로봇에 대하여 행하게 할 경우에, 상기 핸드가 상기 워크피스 전달 위치에 도달한 후, 상기 핸드를 연직 방향으로 이동시키면서 수평 방향으로도 이동시킨다.

5. 发明公开

KR1020140102646A 자동 이동 장치 및 그 수동 조작 방법 审中-实审
标题翻译：自动移动装置及其手动操作方法
公开(公告)号：KR1020140102646A
公开(公告)日：2014-08-22
申请号：KR1020147012430
申请日：2011-12-08
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 오석병 , 황지운 , 최권열 , 박형신
IPC分类号： B25J13/08 , G05D1/02
CPC分类号： B25J9/1697 , A47L2201/04 , B25J9/0003 , B25J9/1612 , B25J9/1689 , G05D1/0016 , G05D1/0033 , G05D1/0038 , G05D1/0276 , G05D2201/0203
摘要： Embodiments disclosed in the present specification relate to an automatic moving apparatus that improves convenience and utility at the same time by providing various interfaces for a direct manual operation of the automatic moving apparatus by a user. The automatic moving apparatus according to an embodiment disclosed in the present specification includes a storage unit that stores a traveling method; an image detection unit that acquires a captured image; a driving unit that has one or more wheels and drives the wheels according to a driving signal; and a control unit that extracts a traveling direction from the traveling method stored in the storage unit in a first mode, extracts a traveling direction directed by a detection object from the captured image acquired by the image detection unit in a second mode, and generates the driving signal so that the automatic moving apparatus is moved in the extracted traveling direction.
摘要翻译：本说明书中公开的实施例涉及通过提供用于用户对自动移动装置的直接手动操作的各种界面同时提高便利性和实用性的自动移动装置。根据本说明书中公开的实施例的自动移动装置包括存储单元，存储行进方法; 图像检测单元，其获取拍摄图像; 驱动单元，其具有一个或多个车轮并根据驾驶信号驱动车轮; 以及第一模式中从存储在存储单元中的行进方法中提取行进方向的控制单元，以第二模式从由图像检测单元获取的拍摄图像中提取由检测对象指向的行进方向，并且生成驱动信号，使得自动移动装置在提取的行进方向上移动。

6. 发明授权

KR101374802B1 농업용 로봇시스템 有权
标题翻译：农业机器人系统
公开(公告)号：KR101374802B1
公开(公告)日：2014-03-13
申请号：KR1020130034049
申请日：2013-03-29
申请人： 이철희
发明人： 이철희
IPC分类号： A01D46/30 , A01D46/24 , B25J9/00
CPC分类号： A01G3/00 , A01D46/30 , A01G2003/005 , B25J5/007 , B25J9/023 , B25J9/1612 , B25J9/1697 , B25J11/00 , B25J15/0019 , B25J19/021 , G06K9/00691 , G06K9/2018 , G06K9/46 , G06K9/4652 , G06K2009/4666 , G06T7/0004 , G06T2207/30188 , H04N7/18 , Y10S901/16 , Y10S901/41
摘要： The present invention relates to an agricultural robot system that can quickly perform operation by cutting gynophores of a fruit or thinning flower by a laser beam, prevent damage of products and infection of viruses and germs by contactless working, and reduce manpower. The system includes a laser beam generator generating the laser beam; a Galvano scanner cutting gynophores and thinning blossom by scanning the laser beam outputted from the laser beam generator; a camera installed opposite to a scanning surface of the Galvano scanner to take a picture of the fruit or flower; an imaging unit taking a picture of an image including the fruit or flower from the camera; an image recognizing unit recognizing the fruit, the gynophores and the flower from the image taken by the imaging unit; and a target region detecting unit detecting a target region of the gynophores to be cut or the blossom to be thinned from image recognized information of the image recognizing unit. Based on the target region information detected from the target region detecting unit, the Galvano scanner scans the target region by the laser beam to cut the gynophores and thin the blossom.
摘要翻译：本发明涉及一种农业机器人系统，其可以通过用激光束切割水果或变薄的花的轮状体来快速地进行操作，通过非接触式加工来防止产品的损坏和病毒和细菌的感染，并减少人力。该系统包括产生激光束的激光束发生器; Galvano扫描仪通过扫描从激光束发生器输出的激光束切割gynophores和变薄的开花; 相机安装在Galvano扫描仪的扫描面对面拍摄水果或花朵; 成像单元拍摄包括来自相机的水果或花朵的图像的图像; 图像识别单元，从由所述摄像单元拍摄的图像识别所述水果，所述水res res和花; 以及目标区域检测单元，从所述图像识别单元的图像识别信息检测要切割的所述待剪切的目标区域或要变薄的花朵。基于从目标区域检测单元检测到的目标区域信息，Galvano扫描仪通过激光束扫描目标区域以切割轮状体并使花朵变薄。

7. 发明公开

KR1020130059990A 로봇 및 그 제어방법 审中-实审
标题翻译：机器人及其控制方法
公开(公告)号：KR1020130059990A
公开(公告)日：2013-06-07
申请号：KR1020110126257
申请日：2011-11-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 장준원 , 노경식
IPC分类号： B25J9/16 , B25J13/08 , B25J15/08
CPC分类号： B25J9/1612 , G05B2219/39486 , G05B2219/39497 , G05B2219/39531 , G05B2219/39536
摘要： PURPOSE: A robot and a control method thereof are provided to correctly detect whether or not the robot grips an object without using a tactile sensor using a sorting machine where the shape of torque and a hand generated from a joint of the hand is used for a feature data. CONSTITUTION: A robot(100) comprises a state sensing unit(110), a feature vector generating unit(120), a data sorter(130), and a control unit(140). The state sensing unit senses the state of the robot. The state sensing unit senses torque generated in a joint equipped on a hand of the robot or the position of a finger member equipped on the hand of the robot. The feature vector generating unit extracts a feature data from the state sensing unit. The feature vector generating unit generates feature vector using the feature data. The data sorter determines movement state of the robot using the feature vector. The control unit controls the robot according to the result by the data sorter. [Reference numerals] (110) State sensing unit; (120) Feature vector generating unit; (130) Data sorter; (140) Control unit
摘要翻译：目的：提供一种机器人及其控制方法，以正确地检测机器人是否使用使用分拣机的手触摸传感器来握持物体，其中扭矩形状和从手的关节产生的手用于特征数据。构成：机器人（100）包括状态检测单元（110），特征向量生成单元（120），数据分类器（130）和控制单元（140）。状态感测单元感测机器人的状态。状态感测单元感测在机器人的手上配备的关节中产生的扭矩或者设置在机器人手上的手指部件的位置。特征矢量生成单元从状态感测单元提取特征数据。特征向量生成单元使用特征数据生成特征向量。数据分类器使用特征向量来确定机器人的运动状态。控制单元根据数据分类器的结果控制机器人。（附图标记）（110）状态感测单元; （120）特征向量生成单元; （130）数据分类器（140）控制单元

8. 发明授权

KR101003579B1 로봇 시스템 失效
标题翻译：机器人系统
公开(公告)号：KR101003579B1
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：KR1020087010469
申请日：2007-01-19
申请人： 가부시키가이샤 야스카와덴키
发明人： 나카모토젠타 , 마츠쿠마켄지 , 한다히로유키
IPC分类号： B25J13/08 , B25J15/08 , B25J5/00
CPC分类号： B25J9/1612 , B25J5/00 , B25J13/084 , B25J13/085 , B25J15/0009 , G05B2219/39523 , G05B2219/40564 , G05B2219/40607
摘要： 최적인 파지 방법 및 파지력에 의해, 안전하고 안정한 물체 파지를 할 수가 있는 로봇 시스템을 제공한다. 로봇 제어부(7)는 화상 처리부(8)로부터의 화상 정보에 기초하여 파지 물체의 크기 및 형상을 산출하는 파지 물체 정보 산출부(21)와, 산출한 파지 물체 정보에 기초하여 파지 물체를 파지하는 방법을 결정하는 파지 방법 결정부(22)와, 결정된 파지 방법으로 파지 물체의 들어올림을 실행하는 파지 실행부(23)와, 실행시의 각 센서 정보를 하나 이상의 조합으로 처리하고 파지력을 제어하는 센서 정보 처리부(24)와, 센서 정보 처리 결과에 기초하여 파지 물체를 파지하는 방법을 수정하는 파지 방법 수정부(25)를 구비하였다.
파지, 로봇, 제어, 화상 정보, 물체 정보

9. 发明授权

KR100418455B1 로봇에의한제작품의처리방법 失效
公开(公告)号：KR100418455B1
公开(公告)日：2004-07-05
申请号：KR1019970706680
申请日：1996-03-08
申请人： 도요 고한 가부시키가이샤
发明人： 다까하시도시유끼 , 나까지마아쯔시 , 시오미찌유끼마사
IPC分类号： B25J13/00
CPC分类号： B25J9/1612 , G05B2219/39105 , G05B2219/39474 , G05B2219/43152 , G05B2219/43155 , Y02P90/087
摘要： PCT No. PCT/JP96/00566 Sec. 371 Date Feb. 11, 1998 Sec. 102(e) Date Feb. 11, 1998 PCT Filed Mar. 8, 1996 PCT Pub. No. WO96/30169 PCT Pub. Date Oct. 3, 1996A method of handling a robot, comprising a work search step of allowing an arm to approach a stack base at high speed and then at low speed until a work is detected; a step of stopping the arm when the work is detected, storing the position of the work as the work height, and gripping the work; a step of allowing the arm at high speed to approach a deceleration starting position defined by adding a predetermined value to the stored work height when the arm again approaches the stack base, allowing the arm to approach the work to the stored work height at low speed, detecting the work, and allowing the arm to grip the work; and a step of correcting value of the work height when the work is not detected and again allowing the arm to approach the work at low speed. Since the range in which the arm moves at low speed is reduced, the cycle time is shortened.
摘要翻译： PCT No.PCT / JP96 / 00566 Sec。 371日期1998年2月11日 102（e）日期为1998年2月11日PCT申请日1996年3月8日PCT Pub。 WO96 / 30169 PCT Pub。日期1996年10月3日一种处理机器人的方法，包括一个工作搜索步骤，该步骤允许一个臂以高速接近堆叠底座，然后低速直到检测到工件; 当检测到工件时使臂停止的步骤，将工件的位置存储为工作高度并夹持工件; 当臂再次接近堆叠底座时，使臂以高速接近通过将预定值添加到所存储的工作高度而限定的减速开始位置的步骤，从而允许臂以低速接近工件至所存储的工作高度，检测工作，并让手臂抓住工作; 以及在未检测到工件时校正工作高度的值并再次使臂以低速接近工件的步骤。由于手臂低速移动的范围减小，因此缩短了周期时间。

10. 发明授权

KR101882490B1 로봇 및 그 제어방법 有权
公开(公告)号：KR101882490B1
公开(公告)日：2018-07-30
申请号：KR1020110126257
申请日：2011-11-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 장준원 , 노경식
IPC分类号： B25J9/16 , B25J13/08 , B25J15/08
CPC分类号： B25J9/1612 , G05B2219/39486 , G05B2219/39497 , G05B2219/39531 , G05B2219/39536
摘要： 본발명의일 실시예에따른로봇및 그제어방법은핸드의관절에서발생되는토크및 핸드의모양을특징데이터로하는분류기를사용하여촉각센서를쓰지않고도로봇이물체를파지했는지여부를정확하게검출할수 있는로봇및 그제어방법을제공한다.이를위해본 발명의일 측면에따른핸드를구비하는로봇은상기로봇의상태를감지하는상태감지부; 상기상태감지부로부터특징데이터를추출하고상기특징데이터를이용하여특징벡터를생성하는특징벡터생성부; 및상기특징벡터생성부에서생성한특징벡터를이용하여상기로봇의동작상태를판단하고, 상기판단결과를출력하는학습기반의데이터분류기를포함한다.

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