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1. 发明公开

KR1020160137426A 열압착 본더, 열압착 본더의 작동 방법, 및 열압착 본딩에서 측방향 힘 측정을 사용하는 수평 교정 모션 审中-实审
标题翻译：热变形接合器使用热转移接合中的横向力测量来操作热变形接头和水平校正运动的方法
公开(公告)号：KR1020160137426A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：KR1020160062093
申请日：2016-05-20
申请人： 쿨리케 앤드 소파 인더스트리즈, 인코포레이티드
发明人： 콜로시모토마스제이.주니어 , 슈미트-랑에마이클피. , 클라우버그호스트 , 와세르만매튜비.
IPC分类号： H01L23/00 , H01L21/603 , H01L21/52
CPC分类号： B23K20/023 , B23K1/0016 , B23K3/00 , H01L2224/11
摘要： 열압착본딩시스템작동방법이제공된다. 이방법은 (a) 반도체소자의제1 전도성구조체가열압착본딩작업과관련하여기판의제2 전도성구조체와접촉하는동안반도체소자에제1 수준의접착력을가하는단계; (b) (ⅰ) 제1 전도성구조체들중 하나와 (ⅱ) 대응하는제2 전도성구조체들중 하나사이의접촉과관련된측방향힘을측정하는단계; (c) (b) 단계에서측정된측방향힘에기초하여적용될교정모션을결정하는단계; 및 (d) (c) 단계에서결정된교정모션을적용하는단계를포함한다.
摘要翻译：提供一种操作热压接系统的方法。该方法包括以下步骤：（a）在与热压接操作相关联的半导体元件的第一导电结构与衬底的第二导电结构接触的同时，向半导体元件施加第一级接合力; （b）测量与（i）第一导电结构中的一个和（ii）相应的第二导电结构之间的接触相关的横向力; （c）基于步骤（b）中测量的侧向力确定要施加的校正运动; 和（d）应用在步骤（c）中确定的校正动作。

2. 发明授权

KR101658749B1 세라믹스 플레이트와 금속제 원통 부재의 접합 구조 有权
标题翻译：陶瓷板与金属圆柱构件的结合结构
公开(公告)号：KR101658749B1
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020157036810
申请日：2015-03-10
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 가타이기다카시 , 다니무라다카시
IPC分类号： C04B37/02 , B23K1/19 , H01L21/687 , B23K103/00
CPC分类号： H01L21/6833 , B23K1/0008 , B23K1/19 , B23K3/00 , B23K2203/18 , B23K2203/52 , C04B37/02 , C04B37/026 , C04B2237/121 , C04B2237/124 , C04B2237/125 , C04B2237/127 , C04B2237/366 , C04B2237/405 , C04B2237/406 , C04B2237/80 , H01L21/68785
摘要： 반도체제조장치용부재는, AlN제의세라믹스플레이트인서셉터(10)와, 서셉터(10)에접합된가스도입파이프(20)를구비하고있다. 서셉터(10) 중가스도입파이프(20)의플랜지(22)와대향하는위치에는, 환형의파이프접합용뱅크(14)가형성되어있다. 또한, 플랜지(22)와파이프접합용뱅크(14) 사이에는, 파이프납땜부(24)가형성되어있다. 플랜지(22)는, 폭이 3 ㎜이상, 두께가 0.5 ㎜이상 2 ㎜이하이다. 파이프접합용뱅크(14)는, 높이가 0.5 ㎜이상인것이바람직하고, 플랜지(22)의외측가장자리에대향하는모서리의모따기가 C 모따기인경우에는 C0.3 이상, R 모따기인경우에는 R0.3 이상인것이바람직하다.
摘要翻译：半导体制造装置用部件具备由AlN构成的陶瓷板插入器10和与基座10接合的气体导入管20。在与基座10的气体导入管20的凸缘22相对的位置形成有环状的管连接堤14。管道焊接部分24形成在凸缘22和堤岸14之间用于结合管道。凸缘22具有3mm或更大的宽度以及0.5mm或更大并且2mm或更小的厚度。管接合部14的高度优选为0.5mm以上，在与凸缘22的外缘相反的角部的倒角为C倒角的情况下，C0.3以上，R倒角为R3 或更多。

3. 发明公开

KR1020160009074A 세라믹스 플레이트와 금속제 원통 부재의 접합 구조 有权
标题翻译：陶瓷板和金属圆柱体之间的接合结构
公开(公告)号：KR1020160009074A
公开(公告)日：2016-01-25
申请号：KR1020157036810
申请日：2015-03-10
申请人： 엔지케이 인슐레이터 엘티디
发明人： 가타이기다카시 , 다니무라다카시
IPC分类号： C04B37/02 , B23K1/19 , H01L21/687 , B23K103/00
CPC分类号： H01L21/6833 , B23K1/0008 , B23K1/19 , B23K3/00 , B23K2203/18 , B23K2203/52 , C04B37/02 , C04B37/026 , C04B2237/121 , C04B2237/124 , C04B2237/125 , C04B2237/127 , C04B2237/366 , C04B2237/405 , C04B2237/406 , C04B2237/80 , H01L21/68785
摘要： 반도체제조장치용부재는, AlN제의세라믹스플레이트인서셉터(10)와, 서셉터(10)에접합된가스도입파이프(20)를구비하고있다. 서셉터(10) 중가스도입파이프(20)의플랜지(22)와대향하는위치에는, 환형의파이프접합용뱅크(14)가형성되어있다. 또한, 플랜지(22)와파이프접합용뱅크(14) 사이에는, 파이프납땜부(24)가형성되어있다. 플랜지(22)는, 폭이 3 ㎜이상, 두께가 0.5 ㎜이상 2 ㎜이하이다. 파이프접합용뱅크(14)는, 높이가 0.5 ㎜이상인것이바람직하고, 플랜지(22)의외측가장자리에대향하는모서리의모따기가 C 모따기인경우에는 C0.3 이상, R 모따기인경우에는 R0.3 이상인것이바람직하다.

4. 发明授权

KR101859869B1 자동화 방식 제품 솔더링 장치 및 방법 有权
标题翻译：自动化产品焊接设备和方法
公开(公告)号：KR101859869B1
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：KR1020170040468
申请日：2017-03-30
申请人： 곽태승
发明人： 곽태승
IPC分类号： B23K3/00 , B23K31/02 , B23K31/12 , B23K37/00 , G06Q50/04
CPC分类号： Y02P90/30 , B23K3/00 , B23K31/02 , B23K31/125 , B23K37/00 , G06Q50/04
摘要： 본발명의일 실시예에따르는자동화방식제품솔더링장치는, 솔더링대상이되는다수의제품을준비된지그에안착시켜공급하는제품공급부와, 상기제품공급부로부터공급된상기지그와상기다수의제품에구비된바코드를리딩하는바코드리딩부와, 상기바코드리딩부에서의바코드리딩이완료된상기다수의제품에대해다수의솔더링유닛을이용하여솔더링하는솔더링작업부와, 상기솔더링작업부에서솔더링이완료된상기다수의제품각각에대해솔더링여부를확인하고솔더링량을검사하는솔더링검사부와, 상기솔더링검사부를통과한상기다수의제품각각에대해전원을공급하여통전을검사하는동작검사부와, 상기동작검사부를통과한상기다수의제품각각에대해평탄도를검사하는평탄도검사부와, 상기평탄도검사부를통과한상기다수의제품을배출하는제품배출부를포함한다.

5. 发明公开

KR1020180003621A 솔더링 장치 및 플럭스 도포 장치 有权
标题翻译：焊接装置和焊剂施加装置
公开(公告)号：KR1020180003621A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：KR1020177036713
申请日：2016-02-17
申请人： 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤
发明人： 스기하라다카시 , 다구치히로시 , 히야마츠토무
IPC分类号： H05K3/34 , B23K1/00 , B23K1/20
CPC分类号： B23K37/0408 , B23K1/00 , B23K1/008 , B23K3/00 , H05K3/34 , B23K1/0016 , B23K1/203
摘要： 솔더링장치또는플럭스도포장치에설치되고, 각장치를장기사용하였을때에발생하는부착물이고착되어도, 종래와비교하여용이하게너트의고정위치를변경할수 있도록한 너트를사용한솔더링장치및 플럭스도포장치를제공한다. 너트(10)는, 소정의길이를갖는나사축(5)에나사결합된다. 너트(10)는, 그진행방향과평행하게나사축(5)과맞물리지않는 1개이상의비맞물림부(11)를갖는다. 비맞물림부(11)는, 너트(10)의선단으로부터후단에이르는전체길이에걸쳐설치된다. 이구조에의해, 너트(10)를나사축(5)에대해진퇴시킴으로써, 비맞물림부(11)가고착물(6)을제1 배출구(12a) 또는제2 배출구(12b)로부터절삭제거하도록작용한다.
摘要翻译：焊接装置或焊剂提供的应用程序的设备上，即使使用每个设备的长期固定时所产生的沉积物，便于，相比于传统的焊接装置中，用一个螺母的焊剂，以允许改变螺母的固定位置还提供了一个值包的。螺母（10）与具有预定长度的螺杆轴（5）接合。螺母（10）具有一个或多个非啮合部分（11），所述一个或多个非啮合部分不与螺旋轴（5）沿其行进方向平行地啮合。非接合部分11设置在从螺母10的端部到后端的整个长度上。通过该接合，通过使螺母10相对于螺杆轴5前后移动，非接合部11起到从第一出口12a或第二出口12b切下复合材料6的作用。

6. 实用新型

KR2020110009465U 전기용접용 보안경 失效
标题翻译：电焊枪
公开(公告)号：KR2020110009465U
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR2020100003282
申请日：2010-03-30
申请人： 김근섭
发明人： 김근섭
IPC分类号： A61F9/06 , F16P1/06 , B23K3/00
CPC分类号： A61F9/06 , A61F9/02 , A61F9/064 , B23K3/00 , F16P1/06
摘要： 본 고안은 전기용접 작업 시 강한 불꽃에 대하여 눈을 보호하도록 짙은 색상으로 되어 있는 하부의 착색부분과, 사물을 식별할 수 있을 정도의 투시도를 갖는 상부의 투시부분으로 되어 있는 안경알을 이용함으로써 용접작업 중에는 하부의 착색부분을 통하여 용접부위를 살피고 용접 작업 전후에 용접부위를 살필 때에는 상부의 투시부분으로 바라볼 수 있도록 하여 편리하고 간편하게 전기용접작업을 할 수 있도록 하는 전기용접용 보안경에 관한 것이다.
본 고안의 전기용접용 보안경은 안경알(10)이 전기용접시 발생하는 강한 불꽃에 대하여 눈을 보호할 수 있을 정도의 짙은 색상으로 되어 있는 하부의 착색부분(11)과, 상기 착색부분(11)의 상부에 구성되어 있으며 사물을 식별할 수 있을 정도의 투시도를 갖는 상부의 투시부분(12)으로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR1019900004972B1 자동납땜 방법 및 그 장치 失效
标题翻译：自动焊接方法及其装置
公开(公告)号：KR1019900004972B1
公开(公告)日：1990-07-16
申请号：KR1019850700383
申请日：1985-02-25
申请人： 가와구찌세이지
发明人： 가와구찌세이지
IPC分类号： B23K1/002
CPC分类号： B23K3/00 , B23K3/0615
摘要： 내용 없음.

8. 发明授权

KR101855642B1 솔더링 장치 및 플럭스 도포 장치 有权
标题翻译：焊接装置和焊剂施加装置
公开(公告)号：KR101855642B1
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR1020177036713
申请日：2016-02-17
申请人： 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤
发明人： 스기하라다카시 , 다구치히로시 , 히야마츠토무
IPC分类号： H05K3/34 , B23K1/00 , B23K1/20
CPC分类号： B23K37/0408 , B23K1/00 , B23K1/008 , B23K3/00 , H05K3/34
摘要： 솔더링장치또는플럭스도포장치에설치되고, 각장치를장기사용하였을때에발생하는부착물이고착되어도, 종래와비교하여용이하게너트의고정위치를변경할수 있도록한 너트를사용한솔더링장치및 플럭스도포장치를제공한다. 너트(10)는, 소정의길이를갖는나사축(5)에나사결합된다. 너트(10)는, 그진행방향과평행하게나사축(5)과맞물리지않는 1개이상의비맞물림부(11)를갖는다. 비맞물림부(11)는, 너트(10)의선단으로부터후단에이르는전체길이에걸쳐설치된다. 이구조에의해, 너트(10)를나사축(5)에대해진퇴시킴으로써, 비맞물림부(11)가고착물(6)을제1 배출구(12a) 또는제2 배출구(12b)로부터절삭제거하도록작용한다.

9. 发明公开

KR1020170061684A 장착 장치 审中-实审
标题翻译：安装装置
公开(公告)号：KR1020170061684A
公开(公告)日：2017-06-05
申请号：KR1020177008657
申请日：2014-09-29
申请人： 가부시키가이샤 요로즈
发明人： 이카라시,미사오 , 모모세,히데노리 , 사토,쥰이치
IPC分类号： B23P19/04 , B23P19/06 , B23P21/00
CPC分类号： B23P19/04 , B23K3/00 , B23K11/30 , B23P19/06 , B23P21/00
摘要： 공기실린더를이용하지않고너트등의부품을용접하는부위까지반송가능한장착장치를제공한다. 본발명은너트(240)를브래킷(230)에장착하는장착장치(100)이며, 너트를저장하는부품공급부(10)와전극(41, 42)에의해너트를브라켓으로용접하는용접부(40)와부품공급부에저장된너트를브라켓과의장착위치로송출하는반송부 (20)와전극(41,42) 사이에일시적으로위치하고, 반송부로부터보내져온 너트를한 쌍의전극중 하부전극에배치하는공급헤드(30)를가진다.
摘要翻译：高达例如螺母提供承载装置可附接的是不使用空气气缸焊接部分的位置。用于通过一个螺母240，托架230，安装装置100，以及存储供应螺母附连到10和电极41和42的部分焊接一螺母，以将支架的本发明的焊接区40 和定位存储在传送部20和电极41和42之间暂时的零件供给装置的螺母以发送到托架的安装位置，以将螺母上从转印部发送到所述一对电极的下部电极和供应头30。

10. 发明授权

KR101455772B1 리플로우 처리 유닛 및 기판 처리 장치 有权
标题翻译：回流处理单元和底板处理设备
公开(公告)号：KR101455772B1
公开(公告)日：2014-11-04
申请号：KR1020140029664
申请日：2014-03-13
申请人： 피에스케이 주식회사 , 세미기어, 인코포레이션
发明人： 장,지안
IPC分类号： H01L21/60 , H01L23/48
CPC分类号： H05K3/3494 , B23K1/0016 , B23K1/008 , B23K3/00 , B23K3/04 , B23K3/08 , B23K37/04 , B23K2201/40 , H01L21/6719
摘要： 본 발명은 반도체 기판 제조 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼에 리플로우 공정 처리를 수행하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의한 기판 처리 장치는 기판을 수납하는 캐리어가 안착되는 로드 포트, 상기 기판에 리플로우 공정을 처리하는 하나 또는 복수개의 리플로우 처리 유닛을 포함하는 기판 처리 모듈, 상기 기판을 상기 로드 포트, 상기 기판 처리 모듈 간에 반송하는 반송 로봇을 가지고, 상기 로드 포트와 상기 기판 처리 모듈 사이에 위치하는 기판 반송 모듈을 포함하되, 상기 리플로우 처리 유닛은 내부에 처리 공간을 가지는 공정 챔버 및 상기 공정 챔버를 배기시키는 배기 부재를 포함하되, 상기 배기 부재는 복수개의 상기 공정 챔버 각각을 연결하는 복수개의 개별 배기 라인 및 상기 복수개의 개별 배기 라인과 연결되어, 상기 기판 처리 모듈 외부로 배기하는 공통 배기 라인을 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及衬底制造装置和衬底处理方法，更具体地说，涉及在半导体晶片上进行回流处理的装置和方法。根据本发明的实施例的基板处理装置包括：负载端口，其上放置有用于接收基板的载体; 具有一个或多个回流处理单元的衬底处理模块，用于在所述衬底上进行回流处理; 以及位于负载端口和基板处理模块之间的基板返回模块，并且具有在负载端口和基板处理模块之间发送基板的返回机器人。回流处理单元包括具有内部处理空间的处理室和排气构件排出处理构件。排气构件连接到将多个处理室彼此连接的多个单独的排气管线; 以及与各个排气管连接并将基板处理模块排出到外部的公共排气管。

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